用于CVD加热板氦气检漏的连接工装制造技术

本实用新型专利技术公开了用于CVD加热板氦气检漏的连接工装，包括套筒和与套筒可拆卸连接的连接头、固定法兰。套接在待测物上，套筒为下端开口的筒状结构，套待测物从下端开口处进入套筒内部。连接头，用于与外部氦气检漏仪连接，连接头包括与套筒的顶板可拆卸连接的导柱，导柱沿其轴向开设有与套筒内腔连通的进气通道，导柱通过第一密封组件密封其与套筒的连接处。固定法兰，能套接在待测物外，固定法兰与套筒的下端开口可拆卸连接，且固定法兰和套筒之间设置有密封两者连接处的第一密封圈，第一密封圈还能与待测物的外壁抵接。能快速固定在待测物上，并与氦气检漏仪连接，在待测物形成与氦气检漏仪连通的密封腔体，能对待测物进行快速检漏。漏。漏。

Connecting tooling for helium leak detection of CVD heating plate

【技术实现步骤摘要】
用于CVD加热板氦气检漏的连接工装


[0001]本技术涉及半导体设备加工
，尤其涉及用于CVD加热板氦气检漏的连接工装。

技术介绍

[0002]化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术。化学气相沉积装置的生产要求较高，为了为化学气相沉积装置内的气体进行加热，通常需要设置加热板，加热板由形成温感放置区域的中心柱与加热丝焊接形成，加热丝和中心柱的焊接部分的密封性，决定着化学气相沉积装置的质量。提前对加热板进行检漏，能提高产品的良率并减少不必要的作业。检漏通常采用氦气检漏仪，将待测物体放置在密封环境中，氦气检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。如何将具有焊缝的中心柱与氦气检漏仪连接，以方便对中心柱进行检漏，成为有待解决的问题。

技术实现思路

[0003]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供用于CVD加热板氦气检漏的连接工装，能快速固定在加热板的中心柱上，并与氦气检漏仪连接，在中心柱外形成一个与氦气检漏仪连通的密封腔体，便于对加热板的中心柱进行快速检漏。
[0004]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：用于CVD加热板氦气检漏的连接工装，其特征在于：包括
[0005]套筒，套接在待测物上，所述套筒为下端开口的筒状结构，所述待测物从下端开口处进入所述套筒内部；
[0006]连接头，用于与外部氦气检漏仪连接，所述连接头包括与所述套筒的顶板可拆卸连接的导柱，所述导柱沿其轴向开设有与套筒内腔连通的进气通道，所述导柱通过第一密封组件密封其与套筒的连接处；
[0007]固定法兰，能套接在所述待测物外，所述固定法兰与套筒的下端开口可拆卸连接，且所述固定法兰和套筒之间设置有密封两者连接处的第一密封圈，所述第一密封圈还能与待测物的外壁抵接。
[0008]本技术的有益效果在于：套筒套接在待测物后，通过连接头能与氦气检漏仪快速连接。同时通过固定法兰的设置，能将第一密封圈夹紧在套筒和固定法兰之间，第一密封圈在密封套筒和固定法兰连接处的同时，能密封套筒与待测物的连接处，同时结合第一密封组件，保证即保证套筒与待测物之间形成的腔体的密封性，方便氦气检漏仪进行检测，提高了检测效率。
[0009]进一步来说，所述套筒沿其下端面开设有第一半沟槽，所述第一半沟槽贯穿套筒的内壁；所述固定法兰的上端面开设有第二半沟槽，所述第二半沟槽贯穿固定法兰的内壁，
所述套筒和固定法兰连接时，所述第一半沟槽和第二半沟槽合并形成供第一密封圈嵌入的O型圈沟槽。第一半沟槽和第二半沟槽的配合才能形成O型圈沟槽，保证第一密封圈在嵌入O型圈沟槽时，既能密封套筒和固定法兰处，又能让第一密封圈端部突出套筒和固定法兰内壁与待测物抵接，密封套筒与待测物的连接处。
[0010]进一步来说，所述固定法兰的内壁和待测物之间还设置有第二密封圈，所述固定法兰的内壁开设有供第二密封圈嵌入的环形槽。第二密封圈用于密封固定法兰和待测物的连接处，进一步提高套筒与待测物之间形成的腔体的密封性。
[0011]进一步来说，所述第一密封组件包括套接在连接头外的压紧螺栓和压紧环，所述压紧螺栓与连接头螺纹连接，所述压紧环位于压紧螺栓下方并能在压紧螺栓推动下朝向套筒的顶板移动，所述压紧环的下端面嵌设有能与套筒的顶板抵接的第三密封圈。连接头固定在套筒上后，通过旋转压紧螺栓，向下推动压紧环，使第三密封圈产生形变，实现导柱的外壁和套筒顶板间的密封。
[0012]进一步来说，所述第三密封圈设置有两个，双密封结构，密封性好。
[0013]进一步来说，所述导柱上端焊接固定有真空法兰头，氦气检漏仪与真空法兰头连接。
[0014]进一步来说，所述套筒的顶板的中心处开设有螺纹孔，所述导柱插入所述螺纹孔内并与螺纹孔螺纹连接。
[0015]进一步来说，所述固定法兰与套筒通过锁紧螺栓固定连接，所述套筒的下端开口处沿外壁向外延伸有连接环，所述连接环上沿周向均匀开设有与锁紧螺栓匹配的螺孔。
附图说明
[0016]图1为本技术实施例的爆炸图；
[0017]图2为本技术实施例的剖视图；
[0018]图3为图2中A处放大图；
[0019]图4为图2中B处放大图；
[0020]图5为本技术实施例中套筒的结构示意图。
[0021]图中：
[0022]1、套筒；11、第一半沟槽；12、螺纹孔；13、连接环；131、螺孔；2、连接头；21、导柱；211、进气通道；22、压紧螺栓；23、压紧环；24、第三密封圈；25、真空法兰头；3、固定法兰；31、第二半沟槽；32、环形槽；4、第一密封圈；41、O型圈沟槽；5、第二密封圈；6、锁紧螺栓；7、待测物。
具体实施方式
[0023]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0024]实施例
[0025]参见附图1所示，本技术的用于CVD加热板氦气检漏的连接工装，包括套筒1和与套筒1可拆卸连接的连接头2、固定法兰3。
[0026]参照附图5所示，套筒1套接在待测物7上，套筒1为下端开口的筒状结构，待测物7从下端开口处进入套筒1内部。套筒1的内径大于待测物7的外径，套筒1与待测物7之间限定形成腔体，腔体在检测时，需要处于密封状态，因此要在套筒1和待测物7之间实现密封。
[0027]参见附图1和2所示，固定法兰3套接在待测物7外，固定法兰3与套筒1 的下端开口可拆卸连接。固定法兰3与套筒1通过锁紧螺栓6固定连接，套筒1 的下端开口处沿外壁向外延伸有连接环13，连接环13上沿周向均匀开设有与锁紧螺栓6匹配的螺孔131。固定法兰3上开设有与螺孔131对应的通孔，锁紧螺栓6穿过通孔与螺孔131螺纹连接。且固定法兰3和套筒1之间设置有密封两者连接处的第一密封圈4，第一密封圈4还能与待测物7的外壁抵接。一个第一密封圈4的设置，在密封套筒1和固定法兰3连接处的同时，能密封套筒1与待测物7的连接处。同时由于第一密封圈4与待测物7紧密配合，当固定法兰3 和套筒1夹紧第一密封圈4，并通过锁紧螺栓6固定时，固定法兰3和套筒1的位置相对固定，不会再沿着待测物7上下移动。
[0028]参见附图1所示，套筒1沿其下端面开设有第一半沟槽11，第一半沟槽11 贯穿套筒1的内壁。参见附图5所示，固定法兰3的上端面开设有第二半沟槽 31，第二半沟槽31贯穿固定法兰3的内壁，套筒1和固定法兰3连接时，参见附图3所示，第一半沟槽11和第二半沟槽31合并形成供第一密封圈4嵌入的O 型圈沟槽41。第一半沟槽11和第二半沟槽31的配合才能形成O型圈沟槽41，保证第一密封圈4在嵌入O型圈沟槽41时，既能密封套筒1和固定法兰3处，又能让第一密封圈4端部突出套筒1和固定法本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于CVD加热板氦气检漏的连接工装，其特征在于：包括套筒，套接在待测物上，所述套筒为下端开口的筒状结构，所述待测物从下端开口处进入所述套筒内部；连接头，用于与外部氦气检漏仪连接，所述连接头包括与所述套筒的顶板可拆卸连接的导柱，所述导柱沿其轴向开设有与套筒内腔连通的进气通道，所述导柱通过第一密封组件密封其与套筒的连接处；固定法兰，能套接在所述待测物外，所述固定法兰与套筒的下端开口可拆卸连接，且所述固定法兰和套筒之间设置有密封两者连接处的第一密封圈，所述第一密封圈还能与待测物的外壁抵接。2.根据权利要求1所述的用于CVD加热板氦气检漏的连接工装，其特征在于：所述套筒沿其下端面开设有第一半沟槽，所述第一半沟槽贯穿套筒的内壁；所述固定法兰的上端面开设有第二半沟槽，所述第二半沟槽贯穿固定法兰的内壁，所述套筒和固定法兰连接时，所述第一半沟槽和第二半沟槽合并形成供第一密封圈嵌入的O型圈沟槽。3.根据权利要求1所述的用于CVD加热板氦气检漏的连接工装，其特征在于：所述固定法兰的内壁和待测物之间还设置有第二密...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴京春，张龙浩，许昂，
申请(专利权)人：苏州外延世电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：