一种切割机切割腔渣水分离收集系统及划片机技术方案

本发明专利技术提供了一种切割机切割腔渣水分离收集系统及划片机，涉及切割技术领域，包括切割腔部分，切割腔部分包括：接料板上设有工作台；防水铠甲上游端与接料板的下游端连接，并能与接料板同步移动设置；水槽用于承接防水铠甲的下游端落下的切削屑液，且水槽的下游端与过滤腔部分的入口相通，防水铠甲可往返滑动地设置在水槽上；第一刷体，设置在防水铠甲的下游端，且处于水槽内，在防水铠甲的驱动下，用于将水槽的上游端的切削屑液扫至过滤腔部分的入口内，达到了能够及时彻底的将切削屑液导引至过滤腔部分进行过滤的技术效果。至过滤腔部分进行过滤的技术效果。至过滤腔部分进行过滤的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种切割机切割腔渣水分离收集系统及划片机


[0001]本专利技术涉及切割
，尤其是涉及一种切割机切割腔渣水分离收集系统及划片机。

技术介绍

[0002]在半导体器件加工工序中，在长方形或圆形的表面上，通过横竖垂直分布的网格(切割道)划分出多个部分，每个部分为一个IC（integrated circuit）或LSI（Large Scale Integration）器件，然后沿着切割道切割，将每个部分分离开，从而制成一个个芯片，这种划切加工的设备在国内也称为精密砂轮切割机，下文简称切割机。
[0003]切割机在切割的过程中不可避免的会产生许多废屑，如果不进行处理会对环境造成污染，因此需要对废屑进行过滤。
[0004]现有技术的划片机中，切削水和包含在切削液中的切削屑随着切削刀具的旋转而向加工进给方向下游侧飞散，落到移动板上，再经由固定设置的防水铠甲引导流向下游侧进行渣水分离收集。含有切削屑的切削液由移动板流向防水铠甲，再由防水铠甲流向渣水分离机构处，主要是依靠切削屑自身的重力以及切削液的冲击。而移动板在防水铠甲上往返移动的过程本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种切割机切割腔渣水分离收集系统，其特征在于，包括切割腔部分（1）以及用于将切削屑液过滤的过滤腔部分（2），其中所述切割腔部分（1）包括：接料板（7），其上设有工作台（5），所述接料板（7）用于承接切削过程中产生的切削屑液；防水铠甲（8），其上游端与所述接料板（7）的下游端连接，并能与所述接料板（7）同步移动设置，所述防水铠甲（8）用于将上游端承接的切削屑液引导汇聚至所述防水铠甲（8）的下游端的出口；水槽（11），用于承接所述防水铠甲（8）的下游端落下的切削屑液，且所述水槽（11）的下游端与所述过滤腔部分（2）的入口相通，所述防水铠甲（8）可往返滑动地设置在所述水槽（11）上；第一刷体（9），设置在所述防水铠甲（8）的下游端，且处于所述水槽（11）内，在所述防水铠甲（8）的驱动下，用于将所述水槽（11）的上游端的切削屑液扫至所述过滤腔部分（2）的入口内；防水结构（40），设置在所述水槽（11）内，将所述水槽（11）分隔成第一空间（41）、第二空间（42），所述第一刷体（9）在所述第一空间（41）内往返移动，所述工作台（5）下方的部件在所述第二空间（42）内往返移动。2.根据权利要求1所述的切割机切割腔渣水分离收集系统，其特征在于，所述过滤腔部分（2）包括：第一壳体（27），其上形成有所述入口、第一排水口（31）以及排渣口（4）；第一级过滤槽（16），设置在所述第一壳体（27）内，所述第一级过滤槽（16）包括设置在所述第一级过滤槽（16）的第一端的第一废料下落口（13），以及设置在所述第一级过滤槽（16）的第二端的第一过滤网（12），所述第一废料下落口（13）与所述排渣口（4）对准相通，所述入口位于所述第一级过滤槽（16）的上方，所述第一排水口（31）以及所述排渣口（4）位于所述第一级过滤槽（16）的下方；排刷装置，包括排刷部件（18），以及排刷驱动机构（14），所述排刷部件（18）设置在所述第一级过滤槽（16）的上方，在所述排刷驱动机构（14）的驱动下，能够在所述第一级过滤槽（16）的第一端与第二端之间做直线往返移动，通过所述排刷部件（18）将所述第一过滤网（12）上过滤的切削屑刮扫至所述第一废料下落口（13）内。3.根据权利要求2所述的切割机切割腔渣水分离收集系统，其特征在于，所述第一壳体（27）朝向所述水槽（11）的前侧壁上开设有所述入口，且所述第一级过滤槽（16）的沿第一端至第二端的长度方向与所述水槽（11）的长度方向垂直设置。4.根据权利要求2所述的切割机切割腔渣水分离收集系统，其特征在于，所述排刷装置还包括设置在所述排刷部件（18）移动方向的两端的第一阻挡部（20）、第二阻挡部（17）；所述排刷部件（18）包括：安装壳体（21）；排刷固定板（22），包括通过转轴（2107）可转动地安装在所述安装壳体（21）上的主体部、设置在所述主体部上的刷体安装部以及触碰件（2206）；第二刷体（24），安装在所述刷体安装部上；第一限位块（23）、第二限位块（26），分别设置在所述安装壳体（21）上，并处于所述排刷
固定板（22）的两侧；弹性件，其一端与所述安装壳体（21）连接，另一端与所述排刷固定板（22）连接；处于竖直状态的所述排刷部件（18）在所述排刷驱动机构（14）的驱动下由第二端移动至第一端时，所述触碰件（2206）与所述第一阻挡部（20）相撞，使所述排刷固定板（22）绕所述转轴（2107）转动至与所述第一限位块（23）抵触，并在所述弹性件的配合作用下，使所述排刷部件（18）保持倾斜抬起状态；处于倾斜抬起状态的所述排刷部件（18）在所述排刷驱动机构（14）的驱动下由第一端移动至第二端时，所述触碰件（2206）与所述第二阻挡部（17）相撞，使所述排刷固定板（22）绕所述转轴（2107）转动至与所述第二限位块（26）抵触，并在所述弹性件的配合作用下，使所述排刷部件（18）保持在竖直状态。5.根据权利要求4所述的切割机切割腔渣水分离收集系统，其特征在于，所述安装壳体（21）包括顶板（2101）、侧边以及第一连接部（2102），其中侧边连接在所述顶板（2101）上，且与所述顶板（2101）垂直设置，以所述第一废料下落口（13）所在一端为前方，所述侧边包括前侧边（2103）、后侧边（2104）、左侧边（2105），右侧边（2106），所述转轴（2107）安装在所述左侧边（2105）、右侧边（2106）上，所述后侧边（2104）上分别设有第一连接孔（2108）以及所述第二限位块（26），所述左侧边（2105）上连接有第一限位块（23）；所述第一连接部（2102）用于将所述顶板（2101）与所述排刷驱动机构（14）连接；所述主体部包...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁慧珠，张明明，
申请(专利权)人：苏州和研精密科技有限公司，
类型：发明
国别省市：