一种PBN坩埚维修装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种PBN坩埚维修装置及方法。通过公开的PBN坩埚维修装置，能够根据不同直径的PBN坩埚调节支撑架的支撑直径大小，进而能够对不同直径的PBN坩埚的筒体部位的内壁进行修复，且在修复时，只需要使PBN坩埚套在PBN坩埚维修装置，并使PBN坩埚的筒体部位的内部与多个第一叶片的外侧贴合，然后固定PBN坩埚，使外部动力带动传动件转动，进而使贴于PBN坩埚维修装置的砂纸对PBN坩埚的筒体部位进行修复，本申请相较于现有人工修复方式，由于PBN坩埚维修装置转动时多个第一叶片同时PBN坩埚的筒体部位的内壁接触，因此，能够对整个PBN坩埚的筒体部位的内壁修复，因此，本发明专利技术通过PBN坩埚维修装置采用PBN坩埚维修方法的维修效率更高，且能有效提升修复质量。且能有效提升修复质量。且能有效提升修复质量。

【技术实现步骤摘要】
一种PBN坩埚维修装置及方法


[0001]本专利技术涉及坩埚修复
，具体为一种PBN坩埚维修装置及方法。

技术介绍

[0002]砷化镓(GaAs)是继Ge、Si之后的第二代半导体材料。目前工业上应用最为广泛的是VGF和VB法生长砷化镓单晶，采用PBN(热解氮化硼)坩埚作为载体生长成所需要的形状和尺寸。PBN坩埚和晶体之间通常采用一层液封剂来防止砷化镓与坩埚直接接触，液封剂同时起到防止表面砷离解的作用。当单晶生长冷却到常温后，会导致PBN坩埚和氧化硼粘结在一起，且在自然条件下无法让砷化镓晶体脱离PBN坩埚，因此需要用甲醇与氧化硼反应来脱模，而经甲醇腐蚀后的PBN坩埚表面会分层脱落，进而使坩埚内表面凹凸不平，而为了节省成本，通常需要对PBN坩埚修复。
[0003]但是，现有PBN坩埚修复时，是用简单的工具，如小刀和铲子对PBN坩埚进行人工修复，该修复方法效率低，且修复质量差、影响PBN坩埚使用寿命，因此，亟待一种效率高，修复质量好的PBN坩埚维修装置。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种PBN坩埚维修装置及方法，以解决现有人工对PBN坩埚修复效率低，以及修复质量差的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术实施例提供如下技术方案：
[0006]本专利技术第一方面公开了一种PBN坩埚维修装置，包括：底座、传动件、螺杆、旋转调节螺栓、支撑架和多个第一叶片；
[0007]螺杆竖直，且可转动安装于底座；
[0008]传动件固定于螺杆，传动件与螺柱同轴，传动件用于与外部动力组件传动连接；
[0009]旋转调节螺栓与螺杆螺纹配合；
[0010]支撑架固定于螺杆，且位于旋转调节螺栓上方，支撑架与旋转调节螺栓相连；
[0011]旋转调节螺栓沿螺杆转动，用于调节支撑架的支撑直径的大小；
[0012]多个第一叶片沿支撑架周向安装，第一叶片的外侧用于固定修复PBN坩埚筒体部位的内壁的砂纸。
[0013]优选的，支撑架包括：第一滑块、固定圆盘、多个支撑杆、多个第二滑块和多个滑轨；
[0014]第一滑块开设有用于螺杆穿过的通孔；
[0015]第一滑块设置于旋转调节螺栓上方，且第一滑块与旋转调节螺栓活动连接；
[0016]固定圆盘固定于第一滑块上方，且固定圆盘与转轴同轴；
[0017]固定圆盘开设有多个用于支撑杆穿过的滑动孔；
[0018]滑轨沿固定圆盘的径向设置，且滑轨位于滑动孔的一侧；
[0019]第二滑块滑动设置于滑轨，第二滑块用于第一叶片安装；
[0020]支撑杆的一端与第一滑块铰接，另一端与第二滑块铰接。
[0021]优选的，第一叶片卡接于第二滑块。
[0022]优选的，第二滑块设有第一卡接凸部，第一叶片的内侧开设有与第一卡接凸部配合的第一卡接凹槽。
[0023]优选的，第一叶片为弧形叶片。
[0024]优选的，还包括：锥部螺栓和多个第二叶片；
[0025]锥部螺栓与螺杆螺纹配合，其中，锥部螺栓位于旋转调节螺栓上方；
[0026]第二叶片的下端安装于第一叶片的上端，第一叶片的上端搭设于锥部螺栓，第二叶片的外侧用于固定修复PBN坩埚锥部的内壁的砂纸；
[0027]多个第二叶片与多个第一叶片对应安装，用于形成支撑PBN坩埚锥部的锥部支撑结构；
[0028]锥部螺栓沿螺杆转动，用于调节锥形支撑结构的锥度。
[0029]优选的，第一叶片的上端部设有第二卡接凹槽，第二叶片的下端部设有与第二卡接凹槽配合的第二卡接凸部。
[0030]优选的，还包括：籽晶螺旋杆；
[0031]籽晶螺旋杆的下端部开设有用于与螺杆配合的内螺纹；
[0032]籽晶螺旋杆用于绕设修复PBN坩埚的籽晶腔内壁的砂纸。
[0033]优选的，籽晶螺旋杆的两端设有用于固定砂纸的卡槽。
[0034]本专利技术第二方面公开了一种PBN坩埚维修方法，适用于本专利技术第一方面公开的PBN坩埚维修装置，包括：
[0035]S1、基于待修复PBN坩埚的尺寸，确定第一叶片和第二叶片；
[0036]S2、将预先选择的砂纸粘贴于第一叶片和第二叶片的外表面；
[0037]S3、将两片第一叶片固定于支撑架，并将两片第二叶片安装于第一叶片；
[0038]S4、将籽晶螺旋杆安装于转轴；
[0039]S5、将PBN坩埚套设于第一叶片和第二叶片，并调节支撑架的直径使第一叶片与PBN坩埚的筒体部位的内壁贴合，以及调节锥部螺栓的位置使第二叶片与PBN坩埚的锥部的内壁贴合；
[0040]S6、取出PBN坩埚，安装剩余的第一叶片和剩余的第二叶片；
[0041]S7、将砂纸绕设于籽晶螺旋杆，形成圆柱砂纸，并使圆柱砂纸与PBN坩埚的籽晶腔壁贴合；
[0042]S8、将PBN坩埚再次套设于第一叶片和第二叶片，并使PBN坩埚维修装置采用预设转速对PBN坩埚进行修复。
[0043]优选的，在执行步骤S8时，还包括：
[0044]向PBN坩埚的籽晶腔内喷水。
[0045]由上述内容可知，本专利技术公开了一种PBN坩埚维修装置及方法。将螺杆竖直，且可转动安装在底座；并传动件固定于螺杆，传动件与螺柱同轴；旋转调节螺栓与螺杆螺纹配合；支撑架固定在螺杆，且位于旋转调节螺栓上方，支撑架与旋转调节螺栓相连；使得旋转调节螺栓沿螺杆转动，能够调节支撑架的支撑直径的大小；以及将多个第一叶片沿支撑架周向安装，并在第一叶片的外侧固定用于修复PBN坩埚筒体部位的内壁的砂纸。通过上述公
开的PBN坩埚维修装置，能够根据不同直径的PBN坩埚调节支撑架的支撑直径大小，进而能够对不同直径的PBN坩埚的筒体部位的内壁进行修复，且在修复时，只需要使PBN坩埚套在PBN坩埚维修装置，并使PBN坩埚的筒体部位的内部与多个第一叶片的外侧贴合，然后固定PBN坩埚，使外部动力带动传动件转动，进而使贴于PBN坩埚维修装置的砂纸对PBN坩埚的筒体部位进行修复，本申请相较于现有人工修复方式，由于PBN坩埚维修装置转动时多个第一叶片同时PBN坩埚的筒体部位的内壁接触，因此，能够对整个PBN坩埚的筒体部位的内壁修复，因此，本专利技术通过PBN坩埚维修装置采用PBN坩埚维修方法的维修效率更高，且能有效提升修复质量。
附图说明
[0046]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0047]图1为本专利技术实施例提供的一种PBN坩埚维修装置的结构示意图；
[0048]图2为本专利技术实施例提供的第一叶片的结构示意图；
[0049]图3为本专利技术实施例提供的第二叶片的结构示意图；
[0050]图4为本专利技术实施例提供的第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PBN坩埚维修装置，其特征在于，包括：底座、传动件、螺杆、旋转调节螺栓、支撑架和多个第一叶片；所述螺杆竖直，且可转动安装于所述底座；所述传动件固定于所述螺杆，所述传动件与所述螺柱同轴，所述传动件用于与外部动力组件传动连接；所述旋转调节螺栓与所述螺杆螺纹配合；所述支撑架固定于所述螺杆，且位于所述旋转调节螺栓上方，所述支撑架与所述旋转调节螺栓相连；所述旋转调节螺栓沿所述螺杆转动，用于调节所述支撑架的支撑直径的大小；多个所述第一叶片沿所述支撑架周向安装，所述第一叶片的外侧用于固定修复PBN坩埚筒体部位的内壁的砂纸。2.根据权利要求1所述的PBN坩埚维修装置，其特征在于，所述支撑架包括：第一滑块、固定圆盘、多个支撑杆、多个第二滑块和多个滑轨；所述第一滑块开设有用于所述螺杆穿过的通孔；所述第一滑块设置于所述旋转调节螺栓上方，且所述第一滑块与所述旋转调节螺栓活动连接；所述固定圆盘固定于所述第一滑块上方，且所述固定圆盘与所述转轴同轴；所述固定圆盘开设有多个用于支撑杆穿过的滑动孔；所述滑轨沿所述固定圆盘的径向设置，且所述滑轨位于所述滑动孔的一侧；所述第二滑块滑动设置于所述滑轨，所述第二滑块用于所述第一叶片安装；所述支撑杆的一端与所述第一滑块铰接，另一端与所述第二滑块铰接。3.根据权利要求2所述的PBN坩埚维修装置，其特征在于，所述第一叶片卡接于所述第二滑块。4.根据权利要求3所述的PBN坩埚维修装置，其特征在于，所述第二滑块设有第一卡接凸部，所述第一叶片的内侧开设有与所述第一卡接凸部配合的第一卡接凹槽。5.根据权利要求1所述的PBN坩埚维修装置，其特征在于，所述第一叶片为弧形叶片。6.根据权利要求1所述的PBN坩埚维修装置，其特征在于，还包括：锥部螺栓和多个第二叶片；所述锥部螺栓与所述螺杆螺纹配合，其中，所述锥部螺栓位于所述旋转调节螺栓上方；所述第二叶片的下端安装于所述第一叶片的上端，所述第一叶片的上端搭设...

【专利技术属性】
技术研发人员：王金灵，刘火阳，周铁军，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：