一种过滤装置制造方法及图纸

本申请公开了一种过滤装置，该过滤装置采用互为并行备用的至少两个过滤水箱对生产工艺机台产生的废液进行过滤，使得正在工作的过滤水箱需要清理或维修时，可以由其他过滤水箱继续进行工作，从而对废液中颗粒杂质以及油污的过滤是持续性地，不停歇地，并且，每个过滤水箱中设置两级过滤单元，第一级过滤单元过滤废液中的颗粒杂质，第二级过滤单元中依次交替间隔排布的第一挡板和第二挡板形成高低起伏的流道，使得废液中油水分离，过滤废液中的浮油，即设置两级过滤单元对废液中的颗粒杂质和油污充分过滤，从而大大减小因管道堵塞造成生产工艺机台停产的概率，提高生产工艺机台的产能。能。能。

A filtering device

【技术实现步骤摘要】
一种过滤装置


[0001]本申请涉及半导体制造
，尤其涉及一种过滤装置。

技术介绍

[0002]现有的芯片生产工艺机台(如铜抛机台)在研磨抛光过程中会加入含油性抛光液，研磨抛光后的研磨颗粒与抛光液以及纯水的混合物一起排入废水管道，最终经过调节池处理通过巴歇尔槽排入市政管网。然而，研磨抛光后的混合物中的油性物质在管道内流通的时候会在管壁上残留，且研磨污泥也会附着管壁，对管道进行堵塞。当管道因混合物中的油性物质和研磨污泥堵塞时，生产工艺机台就不得不停产，从而影响生产工艺机台的产能。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本申请实施例提供了一种过滤装置，以对生产工艺机台排出的混合物进行过滤，减少因管道堵塞造成生产工艺机台停产的概率，提升生产工艺机台的产能。
[0004]为实现上述目的，本申请实施例提供了如下技术方案：
[0005]一种过滤装置，包括：互为并行备用的至少两个过滤水箱，每个所述过滤水箱的主进液口连接一主进液管道，主排液口连接一主排液管道，使得废液从所述主进液管道进入所述过滤水箱内，在所述过滤水箱内进行过滤后，从所述主排液管道排出，且每个所述过滤水箱对应的主进液管道上设置有第一控制阀门，以控制所述主进液管道的打开和关闭；
[0006]所述过滤水箱包括壳体，所述壳体腔内设置有沿废液流向依次排布的两级过滤单元，其中，
[0007]第一级过滤单元包括活动不锈钢钢丝网，用于过滤废液中的颗粒杂质；
[0008]第二级过滤单元包括沿废液流向依次交替间隔排布的第一挡板和第二挡板，所述第一挡板与所述壳体顶部内壁相连接，所述壳体与废液流向平行的至少一个侧壁上对应每个所述第一挡板上部的位置设置有溢油口，所述第二挡板与所述壳体底部内壁相连接，且所述第二挡板的顶部高于所述第一挡板的底部，所述第一挡板的高度大于所述第二挡板的高度，所述第二级过滤单元用于形成高低起伏的流道，对废液进行油水分离，使得分离出的浮油经所述溢油口排出。
[0009]可选的，每个所述溢油口对应连接一个子排油管道，每个所述过滤水箱对应一个主排油管道，且每个所述过滤水箱上的各个所述溢油口流出的浮油经对应的所述子排油管道流入该过滤水箱对应的主排油管道后排出；
[0010]所述主排油管道靠近其排出口的部分设置有第二控制阀门，以控制所述主排油管道的打开和关闭。
[0011]可选的，所述至少两个过滤水箱包括第一过滤水箱和第二过滤水箱，所述第一过滤水箱和所述第二过滤水箱共用一个侧壁，所述第一过滤水箱和所述第二过滤水箱上的溢油口设置在该两个过滤水箱没有共用的侧壁上。
[0012]可选的，所述至少两个过滤水箱包括第一过滤水箱和第二过滤水箱，所述第一过滤水箱和/或所述第二过滤水箱上的溢油口设置在该两个过滤水箱相邻的侧壁上；
[0013]所述第一过滤水箱和所述第二过滤水箱之间具有间隙，以用于设置所述第一过滤水箱和/或所述第二过滤水箱对应的子排油管道和主排油管道。
[0014]可选的，每个所述过滤水箱的壳体对应第一级过滤单元的区域还设置有子排液口和子进液口，所述子排液口连接一子排液管道，所述子进液口连接一子进液管道，所述子排液管道和所述子进液管道之间通过循环泵连接，使得所述过滤水箱中经过第一级过滤单元过滤后的废液被所述循环泵抽至第一级过滤单元中进行多次过滤。
[0015]可选的，每个所述过滤水箱对应的子进液管道上设置有第三控制阀门，以控制所述子进液管道的打开和关闭；
[0016]和/或，
[0017]每个所述过滤水箱对应的子排液管道上设置有第四控制阀门，以控制所述子排液管道的打开和关闭。
[0018]可选的，所述至少两个过滤水箱包括第一过滤水箱和第二过滤水箱，所述第一过滤水箱和所述第二过滤水箱共用一个循环泵，该两个过滤水箱对应的子排液管道共同连接第一循环管道，该两个过滤水箱对应的子进液管道共同连接第二循环管道，所述第一循环管道和所述第二循环管道之间通过该两个过滤水箱共用的循环泵连接。
[0019]可选的，所述至少两个过滤水箱包括第一过滤水箱和第二过滤水箱，所述第一过滤水箱和所述第二过滤水箱各自对应一个循环泵。
[0020]可选的，每个所述过滤水箱对应的主排液管道上设置有第五控制阀门，以控制所述主排液管道的打开和关闭。
[0021]可选的，所述过滤装置还包括：主连接管道和至少一个子连接管道；
[0022]所述主连接管道的第一端与各所述过滤水箱对应的主进液管道相连接，所述主连接管道的第二端通过所述子连接管道与工艺机台的废液排出口相连接，所述子连接管道与所述工艺机台一一对应连接，且每一所述子连接管道中设置有第六控制阀门，以控制所述子连接管道的打开和关闭。
[0023]与现有技术相比，上述技术方案具有以下优点：
[0024]本申请实施例所提供的过滤装置，采用互为并行备用的至少两个过滤水箱对生产工艺机台产生的废液进行过滤，使得正在工作的过滤水箱需要清理或维修时，可以由其他过滤水箱继续进行工作，从而对废液中颗粒杂质以及油污的过滤是持续性地，不停歇地，从而大大减小因管道堵塞造成生产工艺机台停产的概率，提高生产工艺机台的产能。并且，每个过滤水箱中设置两级过滤单元，第一级过滤单元过滤废液中的颗粒杂质，第二级过滤单元中依次交替间隔排布的第一挡板和第二挡板形成高低起伏的流道，使得废液中油水分离，过滤废液中的浮油，即设置两级过滤单元对废液中的颗粒杂质和油污充分过滤，进一步减小因管道堵塞造成生产工艺机台停产的概率，提高生产工艺机台的产能。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本
申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为本申请一个实施例所提供的过滤装置的结构示意图；
[0027]图2为本申请实施例所提供的过滤装置中，一种过滤水箱的结构示意图；
[0028]图3为本申请实施例所提供的过滤装置中，另一种过滤水箱的结构示意图；
[0029]图4为本申请另一个实施例所提供的过滤装置的结构示意图；
[0030]图5为本申请又一个实施例所提供的过滤装置的结构示意图；
[0031]图6为本申请再一个实施例所提供的过滤装置的结构示意图；
[0032]图7为本申请又一个实施例所提供的过滤装置的结构示意图；
[0033]图8为本申请再一个实施例所提供的过滤装置的结构示意图。
具体实施方式
[0034]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种过滤装置，其特征在于，包括：互为并行备用的至少两个过滤水箱，每个所述过滤水箱的主进液口连接一主进液管道，主排液口连接一主排液管道，使得废液从所述主进液管道进入所述过滤水箱内，在所述过滤水箱内进行过滤后，从所述主排液管道排出，且每个所述过滤水箱对应的主进液管道上设置有第一控制阀门，以控制所述主进液管道的打开和关闭；所述过滤水箱包括壳体，所述壳体腔内设置有沿废液流向依次排布的两级过滤单元，其中，第一级过滤单元包括活动不锈钢钢丝网，用于过滤废液中的颗粒杂质；第二级过滤单元包括沿废液流向依次交替间隔排布的第一挡板和第二挡板，所述第一挡板与所述壳体顶部内壁相连接，所述壳体与废液流向平行的至少一个侧壁上对应每个所述第一挡板上部的位置设置有溢油口，所述第二挡板与所述壳体底部内壁相连接，且所述第二挡板的顶部高于所述第一挡板的底部，所述第一挡板的高度大于所述第二挡板的高度，所述第二级过滤单元用于形成高低起伏的流道，对废液进行油水分离，使得分离出的浮油经所述溢油口排出。2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，每个所述溢油口对应连接一个子排油管道，每个所述过滤水箱对应一个主排油管道，且每个所述过滤水箱上的各个所述溢油口流出的浮油经对应的所述子排油管道流入该过滤水箱对应的主排油管道后排出；所述主排油管道靠近其排出口的部分设置有第二控制阀门，以控制所述主排油管道的打开和关闭。3.根据权利要求2所述的过滤装置，其特征在于，所述至少两个过滤水箱包括第一过滤水箱和第二过滤水箱，所述第一过滤水箱和所述第二过滤水箱共用一个侧壁，所述第一过滤水箱和所述第二过滤水箱上的溢油口设置在该两个过滤水箱没有共用的侧壁上。4.根据权利要求2所述的过滤装置，其特征在于，所述至少两个过滤水箱包括第一过滤水箱和第二过滤水箱，所述第一过滤水箱和/或所述第二过滤水箱上的溢油口设置在该两个过滤水箱相邻的侧壁上；所述第一过滤水箱和所述第二过滤水箱之间具有间隙，以用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张静，吴广博，赖约汉，周瑜，刘兆，
申请(专利权)人：江西乾照光电有限公司，
类型：新型
国别省市：