一种用于直拉单晶硅炉的排气罩制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于直拉单晶硅炉的排气罩，包括罩体，所述罩体内底部两侧表面开设有通气孔，且罩体内通过安装架及螺栓安装电动液压推杆，所述电动液压推杆底部输出端通过安装架及螺丝安装推板，且推板底部通过螺丝安装顶针。本实用新型专利技术一种用于直拉单晶硅炉的排气罩，电动液压推杆的输出端能够带动推板下降，从而使得顶针插入通气孔内，进而对粘附于通气孔内的杂质进行清理，以防止通气孔被杂质堵塞，保证通气孔的排气性能，适合被广泛推广和使用。和使用。和使用。

An exhaust hood for Czochralski monocrystalline silicon furnace

【技术实现步骤摘要】
一种用于直拉单晶硅炉的排气罩


[0001]本技术涉及排气罩
，特别涉及一种用于直拉单晶硅炉的排气罩。

技术介绍

[0002]在直拉单晶硅生产工艺中，需要向直拉单晶硅炉中通入氩气进行冷却，并带走拉单晶过程中产生的废气，目前，直拉单晶硅炉大多采用炉底开放式直孔排气方式，这种排气方式具有简便、高效的优点。
[0003]常见的单晶硅炉排气罩存在以下不足：1、在长时间使用过程中，排气孔内会有大量杂质粘附，无法便捷的对其进行清洁，影响使用，2、在炉体升温过程中，无法便捷的将排气孔封堵，导致热量流失较大。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种用于直拉单晶硅炉的排气罩，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种用于直拉单晶硅炉的排气罩，包括罩体，所述罩体内底部两侧表面开设有通气孔，且罩体内通过安装架及螺栓安装电动液压推杆，所述电动液压推杆底部输出端通过安装架及螺丝安装推板，且推板底部通过螺丝安装顶针。
[0007]进一步地，所述罩体底本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于直拉单晶硅炉的排气罩，包括罩体(3)，其特征在于：所述罩体(3)内底部两侧表面开设有通气孔(11)，且罩体(3)内通过安装架及螺栓安装电动液压推杆(5)，所述电动液压推杆(5)底部输出端通过安装架及螺丝安装推板(10)，且推板(10)底部通过螺丝安装顶针(9)。2.根据权利要求1所述的一种用于直拉单晶硅炉的排气罩，其特征在于：所述罩体(3)底部表面开设有限位槽(7)，且限位槽(7)内转动连接有转动轴(8)，所述转动轴(8)底部通过螺丝...

【专利技术属性】
技术研发人员：惠宝锋，
申请(专利权)人：矽盛光电宁夏有限公司，
类型：新型
国别省市：