一种单晶炉石墨热场的拆炉装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，属于单晶炉技术领域，包括：单晶炉外壳，所述单晶炉外壳的顶部安装有拆炉组件，所述单晶炉外壳的内侧安装有隔热组件；所述单晶炉外壳的内侧壁插接有石墨加热器，所述石墨加热器的内侧设置有石墨坩埚，所述拆炉组件包括安装在单晶炉外壳底部的电动推杆和安装在电动推杆输出端顶部的推板，且推板嵌套安装在石墨坩埚的底部，所述单晶炉外壳的顶部支撑有密封盖，所述密封盖的顶部一体成型有隔热筒，所述密封盖的底部外周焊接有密封圈，且密封圈通过螺纹连接在单晶炉外壳的外侧。该单晶炉石墨热场的拆炉装置，拆炉时更加稳定和安全，且装置的密封性更高使得加热更高效。置的密封性更高使得加热更高效。置的密封性更高使得加热更高效。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉石墨热场的拆炉装置


[0001]本技术属于单晶炉
，尤其是一种单晶炉石墨热场的拆炉装置。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中，通过石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化后用直拉法生长无错位单晶的设备，在直拉完成后需要拆炉对其取出，为了提高效率，就需要相应的拆炉装置。
[0003]例如中国技术申请号为CN201320642732.1的一种单晶炉热场的拆炉工具，包括支撑装置和拆取装置，拆取装置设置在支撑装置的下方，其特征在于：所述的支撑装置包括两个相对设置的人字形支撑架，在支撑架的顶部设有圆形的吊环且支撑架的底部设有活动孔，两支撑架的吊环通过固连起吊装置联接在一起，所述的拆取装置为四个竖弯钩形的抓取钩，抓取钩的顶端与支撑架底部的活动孔相铰接，所述的支撑装置和拆取装置整体呈爪形。本技术的有益效果是：由人工拆炉被机械所替代，有效降低工人劳动强度、降低事故发生的几率、延长石墨件的使用寿命，可以一次性将埚底料、石英埚和CFC坩埚一并提出，降低生产成本并提高效率。
[0004]但现有的装置存在着拆炉时不够平稳，导致拆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，包括：单晶炉外壳(1)，所述单晶炉外壳(1)的顶部安装有拆炉组件，所述单晶炉外壳(1)的内侧安装有隔热组件；其特征在于：所述单晶炉外壳(1)的内侧壁插接有石墨加热器(3)，所述石墨加热器(3)的内侧设置有石墨坩埚(4)，所述拆炉组件包括安装在单晶炉外壳(1)底部的电动推杆(5)和安装在电动推杆(5)输出端顶部的推板，且推板嵌套安装在石墨坩埚(4)的底部，所述单晶炉外壳(1)的顶部支撑有密封盖(6)，所述密封盖(6)的顶部一体成型有隔热筒(7)，所述密封盖(6)的底部外周焊接有密封圈(8)，且密封圈(8)通过螺纹连接在单晶炉外壳(1)的外侧，所述密封盖(6)对称的两侧均连接有连接杆(9)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨热场的拆炉装置，其特征在于：所述隔热组件包括连接在密封盖(6)底部的密封环(11)和导流筒(14)，且密封环(11)支撑在单晶炉外壳(1)的内侧，所述单晶炉外壳(1)的内侧壁下部嵌套安装有...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭正平，郜勇军，吴志军，郑春峰，
申请(专利权)人：矽盛光电宁夏有限公司，
类型：新型
国别省市：