下载一种单晶炉石墨热场的拆炉装置的技术资料

文档序号:34671161

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本实用新型公开了一种单晶炉石墨热场的拆炉装置,属于单晶炉技术领域,包括:单晶炉外壳,所述单晶炉外壳的顶部安装有拆炉组件,所述单晶炉外壳的内侧安装有隔热组件;所述单晶炉外壳的内侧壁插接有石墨加热器,所述石墨加热器的内侧设置有石墨坩埚,所述拆炉...
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