【技术实现步骤摘要】
导气环及反应炉视镜系统
[0001]本专利技术属于反应炉生产
,具体涉及一种导气环及反应炉视镜系统。
技术介绍
[0002]多晶硅还原炉在运行过程中应当维持还原反应的最佳温度,当低于此温度时,达不到反应最佳沉积效率;当高于此温度时,还原炉内部就会发生雾化现象。
[0003]多晶硅还原炉在运行过程中,由于雾化现象的发生,或者炉内局部温度过高,炉内会产生一定量的硅粉颗粒。硅粉颗粒会附着在多晶硅还原炉的视镜表面,随着硅粉颗粒的不断累积,观察视镜的视线就会被遮挡,影响工艺人员观察还原炉内的生产情况。
技术实现思路
[0004]本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足,提供一种导气环及反应炉视镜系统,能够避免硅粉沉积在视镜表面,减少操作人员清洗视镜的次数,降低工作强度。
[0005]解决本专利技术技术问题所采用的技术方案是提供一种导气环,视镜装置与反应炉的观测孔连接,视镜装置包括视镜筒体、设置于视镜筒体内的视镜,通过视镜对反应炉内进行观测,其特征在于,导气环包括:导气环本体、设置 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种导气环,视镜装置与反应炉的观测孔连接,视镜装置包括视镜筒体、设置于视镜筒体内的视镜,通过视镜对反应炉内进行观测,其特征在于,导气环包括:导气环本体、设置于导气环本体内的吹扫气通道,吹扫气通道入口端朝向视镜,吹扫气通道出口端朝向反应炉内,通过吹扫气通道入口端向吹扫气通道内通入吹扫气对视镜吹扫,吹扫气通道入口端垂直于其中心轴的截面积大于吹扫气通道出口端垂直于其中心轴的截面积。2.根据权利要求1所述的导气环,其特征在于,吹扫气通道为缩径结构,从吹扫气通道入口端到吹扫气通道出口端,吹扫气通道的口径逐渐缩小。3.根据权利要求1所述的导气环,其特征在于,通过吹扫气通道的中心轴的截面呈喇叭状或者“T”型。4.根据权利要求1所述的导气环,其特征在于,吹扫气通道包括依次连接的第一吹扫气通道、第二吹扫气通道,第一吹扫气通道靠近用于观测反应炉内状态的视镜,第二吹扫气通道靠近反应炉内,第一吹扫气通道与第二吹扫气通道联通,第一吹扫气通道的口径大于第二吹扫气通道的口径。5.根据权利要求1所述的导气环,其特征在于,导气环本体外部呈台阶状,导气环通过导气环本体外部的台阶与反应炉的观测孔配合连接。6.根据权利要求1~5任意一项所述的导气环,其特征在于,吹扫气通道通过螺...
【专利技术属性】
技术研发人员:张兆东,吴建宏,胡颖,
申请(专利权)人:新特能源股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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