导气环及反应炉视镜系统技术方案

技术编号:33668092 阅读:18 留言:0更新日期:2022-06-02 20:51
本发明专利技术公开了一种导气环及反应炉视镜系统,导气环包括:导气环本体、设置于导气环本体内的吹扫气通道,吹扫气通道入口端朝向视镜,吹扫气通道出口端朝向反应炉内,通过吹扫气通道入口端向吹扫气通道内通入吹扫气对视镜吹扫,吹扫气通道入口端垂直于其中心轴的截面积大于吹扫气通道出口端垂直于其中心轴的截面积。在反应炉的视镜装置处安装导气环,由于吹扫气通道入口端垂直于其中心轴的截面积大于吹扫气通道出口端垂直于其中心轴的截面积,所以吹扫气通道出口端的气体流速大于吹扫气通道入口端的气体流速,能提高对于视镜的吹扫效率,优化导气环的吹扫结构,优化吹扫过程,避免了反应炉连接的视镜表面硅粉沉积,清晰的观察视镜。视镜。视镜。

【技术实现步骤摘要】
导气环及反应炉视镜系统


[0001]本专利技术属于反应炉生产
,具体涉及一种导气环及反应炉视镜系统。

技术介绍

[0002]多晶硅还原炉在运行过程中应当维持还原反应的最佳温度,当低于此温度时,达不到反应最佳沉积效率;当高于此温度时,还原炉内部就会发生雾化现象。
[0003]多晶硅还原炉在运行过程中,由于雾化现象的发生,或者炉内局部温度过高,炉内会产生一定量的硅粉颗粒。硅粉颗粒会附着在多晶硅还原炉的视镜表面,随着硅粉颗粒的不断累积,观察视镜的视线就会被遮挡,影响工艺人员观察还原炉内的生产情况。

技术实现思路

[0004]本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足,提供一种导气环及反应炉视镜系统,能够避免硅粉沉积在视镜表面,减少操作人员清洗视镜的次数,降低工作强度。
[0005]解决本专利技术技术问题所采用的技术方案是提供一种导气环,视镜装置与反应炉的观测孔连接,视镜装置包括视镜筒体、设置于视镜筒体内的视镜,通过视镜对反应炉内进行观测,其特征在于,导气环包括:导气环本体、设置于导气环本体内的吹扫气通道,吹扫气通道入口端朝向视镜,吹扫气通道出口端朝向反应炉内,通过吹扫气通道入口端向吹扫气通道内通入吹扫气对视镜吹扫,吹扫气通道入口端垂直于其中心轴的截面积大于吹扫气通道出口端垂直于其中心轴的截面积。
[0006]优选的是,反应炉为多晶硅还原炉。
[0007]优选的是,吹扫气通道为缩径结构,从吹扫气通道入口端到吹扫气通道出口端,吹扫气通道的口径逐渐缩小。/>[0008]优选的是,通过吹扫气通道的中心轴的截面呈喇叭状或者“T”型。
[0009]优选的是,吹扫气通道包括依次连接的第一吹扫气通道、第二吹扫气通道,第一吹扫气通道靠近用于观测反应炉内状态的视镜,第二吹扫气通道靠近反应炉内,第一吹扫气通道与第二吹扫气通道联通,第一吹扫气通道的口径大于第二吹扫气通道的口径。
[0010]优选的是,导气环本体外部呈台阶状,导气环通过导气环本体外部的台阶与反应炉的观测孔配合连接。
[0011]优选的是,吹扫气通道通过螺栓与导气环本体连接。
[0012]优选的是,导气环本体包括依次连接的第一导气环本体、第二导气环本体,第一导气环本体为圆柱体,第二导气环本体为圆台体,第二导气环本体通过其圆台体的下底面与第一导气环本体的圆柱体的底面连接,且两个底面直径相同,第一导气环本体通过其柱外壁与反应炉的观测孔配合连接。
[0013]本专利技术还提供一种反应炉视镜系统,包括:上述的导气环、与导气环连接的视镜装置,视镜装置包括:视镜筒体、设置于视镜筒体内的视镜、设置于视镜筒体上的吹扫气入口,
吹扫气通道与视镜筒体联通,吹扫气入口位于导气环与视镜之间,吹扫气入口与吹扫气通道入口端联通,通过吹扫气入口向视镜筒体通入吹扫气对视镜进行吹扫,由导流环导流进入反应炉内。
[0014]优选的是,吹扫气入口与吹扫气通道出口端之间的安装距离为5~10mm。
[0015]优选的是,吹扫气通道的中心轴与视镜中心的中心轴同轴线,视镜为双视镜或单视镜。
[0016]优选的是,视镜装置还包括:冷却机构,冷却机构与视镜接触连接,冷却机构用于对视镜进行冷却。
[0017]本专利技术公布了一种导气环及反应炉视镜系统,在反应炉的视镜装置处安装导气环,由于吹扫气通道入口端垂直于其中心轴的截面积大于吹扫气通道出口端垂直于其中心轴的截面积,所以吹扫气通道出口端的气体流速大于吹扫气通道入口端的气体流速,能提高对于视镜的吹扫效率,优化导气环的吹扫结构,优化吹扫过程,避免了反应炉连接的视镜表面硅粉沉积,清晰的观察视镜,能让现场的操作人员,及时观察反应炉内的运行情况,提高了生产效率。保持清晰的视镜,可以减少检修人员清洗视镜的次数,降低了相关人员的工作强度。降低视镜的拆卸次数能够延长反应炉的使用寿命。
附图说明
[0018]图1是本专利技术实施例2中的导气环的结构示意图;
[0019]图2是本专利技术实施例3中的导气环的结构示意图;
[0020]图3是本专利技术实施例2中的反应炉视镜系统的结构示意图。
[0021]图中:1

内六角螺丝丝口;2

吹扫气通道入口端;3

缩径凸台;4

吹扫气通道出口端;5

缩径结构;6

外视镜片;7

循环水入口;8

循环水出口;9

内视镜片;10

吹扫气入口;11

内六角螺栓;12

导气环本体;13

视镜筒体;;14

反应炉炉腔;15

吹扫气通道;16

观测孔;17

第一导气环本体;18

第二导气环本体;19

第一吹扫气通道;20

第二吹扫气通道;21

循环水夹套层。
具体实施方式
[0022]为使本领域技术人员更好地理解本专利技术的技术方案,下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细描述。
[0023]下面详细描述本专利的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本专利,而不能理解为对本专利的限制。
[0024]实施例1
[0025]本实施例提供一种导气环,视镜装置与反应炉的观测孔连接,视镜装置包括镜筒、设置于镜筒内的视镜,通过视镜对反应炉内进行观测,导气环包括:导气环本体、设置于导气环本体内的吹扫气通道,吹扫气通道入口端朝向视镜,吹扫气通道出口端朝向反应炉内,通过吹扫气通道入口端向吹扫气通道内通入吹扫气对视镜吹扫,吹扫气通道入口端垂直于其中心轴的截面积大于吹扫气通道出口端垂直于其中心轴的截面积。
[0026]本实施例公布了一种反应炉视镜系统,包括:上述的导气环、与导气环连接的视镜
装置,视镜装置包括:视镜筒体、设置于视镜筒体内的视镜、设置于视镜筒体上的吹扫气入口,吹扫气通道与视镜筒体联通,吹扫气入口位于导气环与视镜之间,吹扫气入口与吹扫气通道入口端联通,通过吹扫气入口向视镜筒体通入吹扫气对视镜进行吹扫,由导流环导流进入反应炉内。
[0027]本实施例公布了一种导气环及反应炉视镜系统,在反应炉的视镜装置处安装导气环,由于吹扫气通道入口端垂直于其中心轴的截面积大于吹扫气通道出口端垂直于其中心轴的截面积,所以吹扫气通道出口端的气体流速大于吹扫气通道入口端的气体流速,能提高对于视镜的吹扫效率,优化导气环的吹扫结构,优化吹扫过程,避免了反应炉连接的视镜表面硅粉沉积,清晰的观察视镜,能让现场的操作人员,及时观察反应炉内的运行情况,提高了生产效率。视镜一旦沉积了硅粉,需要人工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导气环,视镜装置与反应炉的观测孔连接,视镜装置包括视镜筒体、设置于视镜筒体内的视镜,通过视镜对反应炉内进行观测,其特征在于,导气环包括:导气环本体、设置于导气环本体内的吹扫气通道,吹扫气通道入口端朝向视镜,吹扫气通道出口端朝向反应炉内,通过吹扫气通道入口端向吹扫气通道内通入吹扫气对视镜吹扫,吹扫气通道入口端垂直于其中心轴的截面积大于吹扫气通道出口端垂直于其中心轴的截面积。2.根据权利要求1所述的导气环,其特征在于,吹扫气通道为缩径结构,从吹扫气通道入口端到吹扫气通道出口端,吹扫气通道的口径逐渐缩小。3.根据权利要求1所述的导气环,其特征在于,通过吹扫气通道的中心轴的截面呈喇叭状或者“T”型。4.根据权利要求1所述的导气环,其特征在于,吹扫气通道包括依次连接的第一吹扫气通道、第二吹扫气通道,第一吹扫气通道靠近用于观测反应炉内状态的视镜,第二吹扫气通道靠近反应炉内,第一吹扫气通道与第二吹扫气通道联通,第一吹扫气通道的口径大于第二吹扫气通道的口径。5.根据权利要求1所述的导气环,其特征在于,导气环本体外部呈台阶状,导气环通过导气环本体外部的台阶与反应炉的观测孔配合连接。6.根据权利要求1~5任意一项所述的导气环,其特征在于,吹扫气通道通过螺...

【专利技术属性】
技术研发人员:张兆东吴建宏胡颖
申请(专利权)人:新特能源股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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