晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及检测系统技术方案

一种晶圆盒内晶圆摆放状态检测方法及检测系统，该检测方法包括：提供一晶圆盒，晶圆盒包括多个并排排列的存储位，每一存储位用于存储晶圆；朝向晶圆盒发射光线，使光线穿过存储位和晶圆之间的间隙；采集光线穿过间隙后形成的光信号并获得图像；对图像进行特征信息提取；将特征信息与预设模型的特征信息进行比对，并根据比对结果判断图像与预设模型是否一致，进而确定晶圆盒内晶圆的摆放状态是否合格。本发明专利技术的检测方法能自动快速检测晶圆盒内晶圆的摆放状态。另，本发明专利技术还提供一种用于执行上述晶圆盒内晶圆摆放状态检测方法的检测系统。系统。系统。

【技术实现步骤摘要】
晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及检测系统


[0001]本专利技术涉及晶圆检测设备
，尤其涉及一种晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及检测系统。

技术介绍

[0002]晶圆封测厂内，传统的晶圆状态检测方法是，晶圆由机械手臂放置于晶圆盒内，上盖后需由检测人员目检晶圆盒内摆放的晶圆数量和位置是否符合规定，同时检测晶圆是否有破片、叠片的情况发生。
[0003]但，上述人工检测的方法检测效率低，容易出现漏检、错检的情况；尤其是针对一些半透明的晶圆盒，需要将光线强度增大，才可能看清晶圆盒里晶圆的摆放状态，而长期在强光下进行检测可能对人眼造成视觉损害；另外，针对不透明的晶圆盒无法实现人工检测。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，有必要提供一种能够快速有效检测晶圆盒内晶圆的摆放状态是否符合要求的检测方法。
[0005]另，本专利技术还提供一种用于执行上述晶圆盒内晶圆摆放状态检测方法的检测系统。
[0006]本专利技术提供一种晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法，包括以下步骤：
[0007]提供一晶圆盒，所述晶圆盒包括多个并排排列的存储位，每一所述存储位用于存储晶圆；
[0008]朝向所述晶圆盒发射光线，使所述光线穿过所述存储位和所述晶圆之间的间隙；
[0009]采集所述光线穿过所述间隙后形成的光信号并获得图像；
[0010]对所述图像进行特征信息提取；以及
[0011]将所述特征信息与预设模型的特征信息进行比对，并根据比对结果判断所述图像与所述预设模型是否一致，进而确定所述晶圆盒内晶圆的摆放状态是否合格。
[0012]进一步，所述特征信息包括每一存储位内晶圆的数量。
[0013]进一步，所述预设模型通过计算机视觉模型训练或AI深度学习模型训练得到。
[0014]本专利技术还提供一种晶圆盒内晶圆摆放状态的检测系统，包括：
[0015]晶圆盒，包括多个并排排列的存储位，每一所述存储位用于存储晶圆；
[0016]光源模块，设置于所述存储位的一端，所述光源模块用于朝向所述晶圆盒发出光线，使所述光线穿过所述存储位与所述晶圆之间的间隙；
[0017]图像采集模块，设置于所述存储位远离所述光源模块的一侧，所述图像采集模块用于采集所述光线穿过所述间隙后形成的光信号并获得图像；
[0018]识别模块，用于接收所述图像，并对所述图像进行特征信息提取；
[0019]判断模块，用于将所述特征信息与预设模型的特征信息进行比对，并根据比对结果判断所述图像与所述预设模型是否一致，进而确定所述晶圆盒内晶圆的摆放状态是否合
格。
[0020]进一步，所述特征信息包括每一存储位内晶圆的数量。
[0021]进一步，所述预设模型通过计算机视觉模型训练或AI深度学习模型训练得到。
[0022]进一步，所述晶圆盒包括外壳、设置于所述外壳内的多个平行设置的隔板及设置于所述外壳一端的盒盖，相邻两所述隔板之间构成一个所述存储位。
[0023]进一步，所述外壳为部分透明材质或不透明材质，所述盒盖为部分透明材质或不透明材质。
[0024]进一步，所述图像采集模块包括至少一图像采集器。
[0025]进一步，所述光源模块包括至少一光源，所有所述光源发出的所述光线覆盖所有所述存储位。
[0026]相较于现有技术，本专利技术提供的晶圆盒内晶圆摆放状态检测方法能够实现自动晶圆摆放状态的检测，检测简单，便于操作，检测过程方便快捷；避免人工错检、漏检以及人工无法检测等现象，提升产品良率；避免光线对人眼造成伤害，同时降低人工成本；尤其是针对不透明的晶圆盒能够实现有效的检测。
附图说明
[0027]图1是本专利技术一实施方式提供的一种晶圆状态检测方法的流程图。
[0028]图2是本专利技术一实施方式提供的一种晶圆状态检测系统的功能框图。
[0029]图3是本专利技术一实施方式提供的一种晶圆状态检测系统的结构示意图。
[0030]图4是本专利技术另一实施方式提供的一种晶圆状态检测系统的结构示意图。
[0031]主要元件符号说明
[0032]晶圆盒内晶圆摆放状态的检测系统100晶圆盒1存储位11外壳12隔板13盒盖14开口15锁紧装置16卡榫17晶圆2光源模块3光源31图像采集模块4识别模块5判断模块6控制主机7光线a间隙b
[0033]如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本专利技术。
具体实施方式
[0034]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0035]需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0036]以下所描述的系统实施方式仅仅是示意性的，所述模块或电路的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式。此外，显然“包括”一词不排除其他单元或步骤，单数不排除复数。系统权利要求中陈述的多个单元或装置也可以由同一个单元或装置通过软件或者硬件来实现。第一，第二等词语用来表示名称，而并不表示任何特定的顺序。
[0037]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0038]请参阅图1，本专利技术实施例提供的一种晶圆盒内晶圆摆放状态检测方法，具体包括以下步骤：步骤S1，请一并参阅图2与图3，提供一晶圆盒1，所述晶圆盒1包括多个并排排列的存储位11，每一所述存储位11用于存储晶圆2。所述晶圆盒1包括外壳12、设置于所述外壳12内的多个平行设置的隔板13、设于所述外壳12一端的盒盖14。相邻两所述隔板13之间构成一个所述存储位11。所述盒盖14所在的平面垂直所述隔板13，所述存储位11朝向所述盒盖14的一侧设有一开口15，所述晶圆2由所述开口15放入所述存储位11内。
[0039]一实施方式中，所述盒盖14一侧边转动设置于所述外壳12的侧壁上，所述盒盖14与所述外壳12通过锁紧装置16实现锁定和解锁。
[0040]请参阅图4，一实施方式中，所述晶圆盒1还包括设于所述盒盖14内侧与所述隔板13一一对应的卡榫17，相邻两所述卡榫17之间的距离大致等于所述晶圆2的厚度，所述晶圆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一晶圆盒，所述晶圆盒包括多个并排排列的存储位，每一所述存储位用于存储晶圆；朝向所述晶圆盒发射光线，使所述光线穿过所述存储位和所述晶圆之间的间隙；采集所述光线穿过所述间隙后形成的光信号并获得图像；对所述图像进行特征信息提取；以及将所述特征信息与预设模型的特征信息进行比对，并根据比对结果判断所述图像与所述预设模型是否一致，进而确定所述晶圆盒内晶圆的摆放状态是否合格。2.如权利要求1所述的晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法，其特征在于，所述特征信息包括每一存储位内晶圆的数量。3.如权利要求1所述的晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法，其特征在于，所述预设模型通过计算机视觉模型训练或AI深度学习模型训练得到。4.一种晶圆盒内晶圆摆放状态的检测系统，其特征在于，包括：晶圆盒，包括多个并排排列的存储位，每一所述存储位用于存储晶圆；光源模块，设置于所述存储位的一端，所述光源模块用于朝向所述晶圆盒发出光线，使所述光线穿过所述存储位与所述晶圆之间的间隙；图像采集模块，设置于所述存储位远离所述光源模块的一侧，所述图像采集模块用于采集所述光线穿过所述间隙后形成的光信号并获得图像...

【专利技术属性】
技术研发人员：周毓婷，
申请(专利权)人：鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：