本实用新型专利技术公开一种真空水气分离装置，包括真空箱体、抽真空接口、真空吸附接口和隔离板；抽真空接口设置在真空箱体侧壁上部，用于连接真空抽气管；真空吸附接口设置在真空箱体侧壁中部，用于连接带有吸附部件的真空管；所述隔离板设置在真空箱体内，所述隔离板上下间隔安装在抽真空接口与真空吸附接口之间的真空箱体侧壁上，所述隔离板一端为自由端；所述真空箱体和隔离板共同限定出连续“S”型气体通道；所述抽真空接口设置在远离最上方隔离板自由端的侧壁上；所述真空吸附接口设置在远离最下方隔离板自由端的侧壁上。本实用新型专利技术能够有效地防止在采用真空吸附硅片时，硅片表面的液体堵塞真空管，从而出现无法下片或掉片现象。从而出现无法下片或掉片现象。从而出现无法下片或掉片现象。
【技术实现步骤摘要】
真空水气分离装置
[0001]本技术涉及一种分离装置，具体是一种真空水气分离装置，属于水气分离
技术介绍
[0002]双面抛光设备在抛光制程结束后需要从上部砂轮盘（下抛光盘）表面的载具中把硅片取出并传送在至片盒内，目前有三种传送方式：
[0003]第一种是安装机械手臂，机械臂连接真空管，机械臂吸片后传送至指定的片盒槽位，这种方法需要真空、真空管、机械手臂和吸盘；
[0004]第二种是安装真空管，并在真空管末端连接真空吸笔，通过手动按/松真空吸笔上的真空开关（气阀）来吸附硅片，然后把硅片再传送至指定的片盒槽位，这种方法需要真空、真空管、吸笔和笔座。
[0005]第三种是通过机械式的吸笔，通过按压吸笔上的吸盘来形成真空吸力，从而吸附硅片，然后把硅片转送到指定的片盒槽位，这种方法只需要一个吸盘和带孔笔座即可。
[0006]其中，第一种和第二种是常用方法，这两种方法都需要用到真空来吸附硅片，但是制程结束时硅片表面会残留的很多液体，包括抛光液和水，机械臂或真空吸笔在真空吸附硅片时会把硅片表面的液体吸入到真空管中，而真空管为了便于在机械臂或真空吸笔中使用，通常采用6mm或8mm外径的PU管，由于真空管的管径较细，液体吸入过多时容易堵塞真空气管，出现无法下片或掉片的情况。
技术实现思路
[0007]针对上述现有技术存在的问题，本技术提供一种真空水气分离装置，能够有效地防止在采用真空吸附硅片时，硅片表面的液体堵塞真空管，从而出现无法下片或掉片现象。
[0008]为实现上述目的，本技术一种真空水气分离装置，包括真空箱体、真空抽气阀、真空快插接头和隔离板；所述真空箱体内部限定出真空箱体；所述抽真空接口设置在真空箱体侧壁上部，用于连接抽真空组件；所述真空吸附接口设置在真空箱体侧壁中部，用于连接真空吸附组件；所述隔离板至少设置有两块，位于真空箱体内，所述隔离板上下间隔安装在抽真空接口与真空吸附接口之间的真空箱体侧壁上，所述隔离板一端为自由端；所述真空箱体和隔离板共同限定出“S”型气体通道；所述抽真空接口设置在远离最上方隔离板自由端的侧壁上；所述吸附接口设置在远离最下方隔离板自由端的侧壁上。
[0009]工作时，真空抽气管连接真空泵，真空泵向真空箱体内抽真空（即不断的抽取真空箱体内的气体），而吸附部件通过真空管、真空吸附接口与真空箱体连通，真空箱体内的隔离板将吸附部件连接的真空管和抽真空接口连接的真空抽气管分隔开，在真空泵强大的吸力下，吸附部件与真空箱体连通后，吸附部件通过吸附面吸附硅片，在吸附硅片时，除了有气体进入到真空管内，同时也会将残留在硅片表面的液体吸入到真空管内，并通过真空管
进入到真空箱体内，液体由于重力原因落到真空箱体底部，而气体经过多层隔离板以后通过真空吸附接口被吸入至真空抽气管中，由于抽真空接口和真空吸附接口之间设置有交错的隔离板，在隔离板的阻挡下真空泵强大的吸力不会直接吸走由真空吸附接口进来的液体，因此，保护了真空泵。同时，在强大的吸力下可以将与吸附部件连接的真空管内的液体吸到真空箱体中，从而对该真空管起到了冲刷清洗的作用，有效地避免了该真空管堵塞，进而避免了无法下片或掉片现象的发生。
[0010]作为本技术的进一步改进，本技术真空吸附接口通过真空快插接头连接真空管，所述抽真空接口通过真空抽气阀连接真空抽气管；所述真空箱体上部连接有泄压阀，其底部安装有用于排放真空箱体内液体的排水阀。便于排放真空箱体内累积的液体（水和抛光液），实现真空箱体的重复利用，节省生产成本。
[0011]作为本技术的优选方式，本技术真空箱体和隔离板均采用透明材料制作而成，便于观察真空箱体内的水位情况，从而判断是否需要排放真空箱体内的液体，避免了真空箱体内的液体通过真空抽气阀被吸入至真空管，从而导致真空管堵塞，进而出现无法下片或掉片现象。进一步，真空箱体和隔离板均采用软质PVC材料制作而成，由于PVC材料属于半透明的柔软材料，便于观察和清洗。
[0012]作为本技术的进一步改进，本技术还包括挂板，所述挂板连接在真空箱体上部后侧，其上开设有安装孔，便于将真空箱体安装在双面抛光机上。
[0013]作为本技术的进一步改进，本技术还包括水位感应器、报警器和微型控制器，其中，水位感应器安装在真空箱体内部，报警器和微型控制器安装在真空箱体外侧壁，所述水位感应器和报警器与微型控制器相连。由于操作人员有时会忘记观察真空箱体内的液体情况，有时会导致液体水位过高通过真空抽气阀被吸入至真空抽气管中，从而导致真空本进水损坏。而该方案可以有效地避免这种情况的发生。该方案通过水位感应器实时检测真空箱体内的水位信息，当水位信息达到微型控制器内部设定的水位上限时，微型控制器控制报警器报警，从而提醒操作人员及时排放真空箱体内的液体，无需操作人员定期观察真空箱体内的液体情况。
[0014]作为本技术的优选方式，本技术真空箱体底部为锥体结构，更有利于排空真空箱体内的液体。
[0015]作为本技术的进一步改进，本技术吸附部件为真空吸笔或机械臂，所述真空管为体弹簧气体压缩管，便于收纳管理以及操作时（吸附硅片以及将硅片传送至片盒中）拉伸作业，另外，真空泵强大的吸力会将弹簧气体压缩管内的液体吸入至真空箱体内，因此，有效地避免了弹簧气体压缩管被堵塞。
[0016]作为本技术的优选方式，所述真空吸笔为Y型真空吸笔，其吸附面黏贴有用于防止划伤硅片表面的软垫，有效地防止了真空压力太大或真空吸笔表面不平整而划伤硅片，同时避免了因为真空吸笔吸附表面磨损而产生漏气后出现掉片的现象。
附图说明
[0017]图1是本技术实施例结构示意图；
[0018]图2是本技术实施例结构示意图；
[0019]图3是本技术实施例结构示意图；
[0020]图4为本技术实施例结构示意图；
[0021]图5为本技术实施例结构示意图；
[0022]图6为本技术实施例结构示意图。
[0023]图中：10.真空箱体，101.抽真空接口，102.真空吸附接口，103.隔离板，104.水位感应器，105.报警器，106.微型控制器，20.真空抽气阀，30.挂板，301.安装孔，40.泄压阀，50.真空快插接头，60.排水阀，70.真空管，80.真空吸笔，90.真空抽气管，100.真空泵。
具体实施方式
[0024]下面结合附图对本技术作进一步说明。
[0025]参见图1，本实施例一种真空水气分离装置，包括真空箱体10、抽真空接口101、真空吸附接口102和隔离板103；
[0026]所述抽真空接口101设置在真空箱体10侧壁上部，用于连接真空抽气管90，真空抽气管90末端连接真空泵100，用于提供吸力，抽取真空箱体10内的气体；
[0027]所述真空吸附接口102设置在真空箱体10侧壁中部，用于连接带有吸附部件的真空管70；
[0028]所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空水气分离装置，其特征在于，包括真空箱体；抽真空接口，所述抽真空接口设置在真空箱体侧壁上部，用于连接真空抽气管；真空吸附接口，所述真空吸附接口设置在真空箱体侧壁中部，用于连接带有吸附部件的真空管；至少两块隔离板，所述隔离板设置在真空箱体内，所述隔离板上下间隔安装在抽真空接口与真空吸附接口之间的真空箱体侧壁上，所述隔离板一端为自由端；所述真空箱体和隔离板共同限定出“S”型气体通道；所述抽真空接口设置在远离最上方隔离板自由端的侧壁上；所述真空吸附接口设置在远离最下方隔离板自由端的侧壁上。2.根据权利要求1所述的一种真空水气分离装置，其特征在于，所述真空吸附接口通过真空快插接头连接真空管，所述抽真空接口通过真空抽气阀连接真空抽气管；所述真空箱体上部连接有泄压阀，其底部安装有用于排放真空箱体内液体的排水阀。3.根据权利要求2所述的一种真空水气...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈开鹰，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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