多功能组合式化学气相沉积装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了多功能组合式化学气相沉积装置，其技术方案要点是：包括工作台，所述工作台的顶面固定安装有反应箱，所述反应箱的一侧固定安装有蜂鸣警报器，所述工作台的顶面固定安装有PLC控制器，所述蜂鸣警报器与PLC控制器电性连接；保护组件，所述保护组件设置在所述反应箱的内部，用于保护沉积成品的品质，通过设置限位槽，限位槽可以限制定位块的移动方向，进而限制了活动柱的移动，使得活动柱无法随意旋转改变弹簧的位置，通过设置固定环，固定环可以在活动柱移动时为弹簧提供回复弹力的支点，通过设置移动环，移动环可以与连通柱的一端抵触，此时电动推杆的延伸杆延伸固定移动环的位置，温度传感器可以时时观察催化筒内部的温度。内部的温度。内部的温度。

【技术实现步骤摘要】
多功能组合式化学气相沉积装置


[0001]本技术涉及化学气相沉积
，具体涉及多功能组合式化学气相沉积装置。

技术介绍

[0002]气相沉积分为物理气相沉积与化学气相沉积两种，其中化学气相沉积过程中有化学反应，多种材料相互反应，生成新的材料，而物理气相沉积中没有化学反应，材料只是形态有改变。
[0003]例如公开号为CN211872084U的中国专利，其中提到了一种化学气相沉积装置，该专利通过感应线圈在电流的作用下产生变化的感应磁场通过置料板，使置料板产生感应电流发热，热量传递给衬底形成沉积所需要的温度，因为衬底处于感应磁场中，感应磁场吸引碳氢化合物裂解产生的自由基等粒子向衬底运动，增加了自由基等粒子与沉积表面的碰撞几率，从而使沉积速率得到了极大的提高，但是该专利在实际运用的过程中，由于长时间的高温与高压会导致成品的品质降低，为此我们提出了多功能组合式化学气相沉积装置。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了多功能组合式化学气相沉积装置，解决了由于长时间的高温与高压会导致成品的品质降低的问题。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.多功能组合式化学气相沉积装置，其特征在于，包括：工作台（1），所述工作台（1）的顶面固定安装有反应箱（2），所述反应箱（2）的一侧固定安装有蜂鸣警报器（4），所述工作台（1）的顶面固定安装有PLC控制器，所述蜂鸣警报器（4）与PLC控制器电性连接；保护组件，所述保护组件设置在所述反应箱（2）的内部，用于保护沉积成品的品质。2.根据权利要求1所述的多功能组合式化学气相沉积装置，其特征在于，所述保护组件包括：稳定槽（5），所述稳定槽（5）开设在所述反应箱（2）的一侧，所述稳定槽（5）的内部底面开设有连接槽（10），所述连接槽（10）的内部底面固定安装有两个连通柱（11），所述连接槽（10）的内圆壁面开设有两个安装槽（12），所述安装槽（12）的内部底面固定安装有电动推杆（13），所述连接槽（10）的内圆壁面活动套设有活动柱（14），所述稳定槽（5）的内圆壁面活动套设有催化筒（6）。3.根据权利要求2所述的多功能组合式化学气相沉积装置，其特征在于，所述保护组件还包括：两个限位槽（20），两个所述限位槽（20）均开设在所述连接槽（10）的内圆壁面，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：戎小军，
申请(专利权)人：南京科豪智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：