薄膜沉积技术用电极高度精密可调装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了薄膜沉积技术用电极高度精密可调装置，主要涉及气相沉积技术领域。包括步进电机、驱动齿轮、内从动轮和传动管；外护壳上设有销孔，所述电极连接管段靠近外螺纹管段一侧设有竖向限位导向条孔；所述销孔与竖向限位导向条孔相对应，且插有导向插销；导向插销与销孔位置固定；还包括激光测距仪，所述导向插销的插入端设有激光测距仪的激光瞄头；所述竖向限位导向条孔顶部平面设置与激光瞄头相对应的反射镜面。本实用新型专利技术的有益效果在于：整个测距装置的设置更加合理，采用激光测距的方式进行，而且测距位置在稳定性更好的传动管上，大大降低了测距误差，而且安装更加方便。便。便。

Electrode highly precise adjustable device for thin film deposition technology

【技术实现步骤摘要】
薄膜沉积技术用电极高度精密可调装置


[0001]本技术涉及气相沉积
，具体是薄膜沉积技术用电极高度精密可调装置。

技术介绍

[0002]无论是PEALD还是PECVD设备中，均需要在一定真空条件下完成薄膜沉积，电极间的间距成膜的质量至关重要，电极间距是影响成膜质量的重要工艺参数之一,因此若电极的高度的精密连续可调，对提高薄膜性能至关重要，有利于提高薄膜的性能。
[0003]专利技术人在申请号为CN201921576634.6的技术专利中采用的是在整个装置上方设置位移传感器的方式进行测距，采用传感器固定架进行支撑固定。但是在实际使用时，由于传感器固定架为薄板件，容易受到震动而增大测距误差，而且安装时要保持位移传感器的垂直安装，安装后需要测量垂直度，很繁琐。因此需要对电极高度调节机构进行高精度测距改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供薄膜沉积技术用电极高度精密可调装置，整个测距装置的设置更加合理，采用激光测距的方式进行，而且测距位置在稳定性更好的传动管上，大大降低了测距误差，而且安装更加方便。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.薄膜沉积技术用电极高度精密可调装置，包括步进电机(1)、驱动齿轮(2)、内从动轮(3)和传动管(4)；所述步进电机(1)带动驱动齿轮(2)转动，所述驱动齿轮(2)与内从动轮(3)啮合传动，所述传动管(4)顶部为外螺纹管段(5)，所述内从动轮(3)设有与外螺纹管段(5)螺纹传动的内螺纹，所述传动管(4)底部为电极连接管段(6)；所述内从动轮(3)外包括有外护壳(21)，所述外护壳(21)上设有销孔(7)，所述电极连接管段(6)靠近外螺纹管段(5)一侧设有竖向限位导向条孔(8)；所述销孔(7)与竖向限位导向条孔(8)相对应，且插有导向插销(9)；导向插销(9)与销孔(7)位置固定；其特征在于：还包括激光测距仪(10)，所述导向插销(9)的插入端设有激光测距仪(10)的激光瞄头(11)；所述竖向限位导向条孔(8)顶部平面设置与激光瞄头(11)相对应的反射镜面(12)。2.根据权利要求1所述薄膜沉积技术用电极高度精密可调装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨永亮，李娜，张泓筠，
申请(专利权)人：皖西学院，
类型：新型
国别省市：