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本实用新型公开了薄膜沉积技术用电极高度精密可调装置，主要涉及气相沉积技术领域。包括步进电机、驱动齿轮、内从动轮和传动管；外护壳上设有销孔，所述电极连接管段靠近外螺纹管段一侧设有竖向限位导向条孔；所述销孔与竖向限位导向条孔相对应，且插有导向插...
该专利属于皖西学院所有，仅供学习研究参考，未经过皖西学院授权不得商用。

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