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本实用新型公开了多功能组合式化学气相沉积装置，其技术方案要点是：包括工作台，所述工作台的顶面固定安装有反应箱，所述反应箱的一侧固定安装有蜂鸣警报器，所述工作台的顶面固定安装有PLC控制器，所述蜂鸣警报器与PLC控制器电性连接；保护组件，所述...
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