一种用于光刻版清洗的工装夹具制造技术

本发明专利技术公开了一种用于光刻版清洗的工装夹具,包括顶部卡槽板、一号矩形槽、腔体、一号凹槽和容纳槽，所述一号支撑板的外壁安装有滚轮，所述二号支撑板的外壁安装有一号电机，所述一号电机的输出端安装有转轮，所述二号矩形槽的内壁安装有一号压力传感器，所述一号压力传感器的外壁安装有一号气缸。本发明专利技术通过安装有滚轮、转轮和一号电机，感应器检测到光刻版时，一号气缸带动转轮移动，使得光刻版被挤压在滚轮和转轮之间，夹持力度合适时，此时一号电机旋转带动转轮旋转，转轮旋转带动光刻版缓缓向下移动，此结构完成了光刻版的自动装料，不再需要人工装入，既省力又避免了人工装入使得光刻版与该夹具产生磕碰而造成损害。得光刻版与该夹具产生磕碰而造成损害。得光刻版与该夹具产生磕碰而造成损害。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光刻版清洗的工装夹具


[0001]本专利技术涉及工装夹具
，具体为一种用于光刻版清洗的工装夹具。

技术介绍

[0002]光刻版是半导体芯片制造过程中必不可少的工具，接触式曝光方式使得光刻版在使用中被残胶、油污等污染，污染后不仅会影响曝光质量，还会减少光刻版使用寿命。所以受污染的光刻版需要使用化学试剂进行清洗，目前清洗方法是将一块光刻版放置在片架中，片架静置于硫酸槽中清洗，这种方法清洗效率低，片架在酸槽中拿取不方便，且有安全隐患。
[0003]现有的工装夹具存在的缺陷是：
[0004]1、专利文件CN215659944U公开了一种工装夹具，“该工装夹具包括底座、驱动件、活动件、和面板，面板设于底座上，驱动件设于底座上方，活动件与驱动件连接，且活动件位于底座与面板之间，面板上方设有至少一个固定孔，至少一个固定孔用于放置待紧固件；其中，驱动件可在第一状态和第二状态之间切换，在驱动件处于第一状态时，活动件处于第一位置，活动件与待紧固件不接触；在驱动件处于第二状态时，活动件处于第二位置，活动件与待紧固件抵接。本技术提供的技术方案解决了现有的装配方式较为繁琐，导致生产效率低下的问题”，但是其工装夹具无自动装料结构，使得光刻版手动装入易磕碰损坏；
[0005]2、专利文件CN214922454U公开了一种工装夹具，“包括装夹台，用于放置工件，装夹台上表面开设有收纳槽，装夹台一侧设有固定块；夹具臂，活动连接于装夹台上，夹具臂能与固定块配合以夹紧工件，夹具臂与收纳槽相匹配；移动驱动件，与夹具臂相连，用于驱动夹具臂在装夹台上移动。根据本技术提供的工装夹具，夹具臂可以收进装夹台，避免碰撞，结构简单，省时省力”，但是其工装夹具无自动夹持结构，使得光刻版在清洗时易晃动，影响清理效果；
[0006]3、专利文件CN214558584U公开了一种工装夹具，“包括夹具主体和提升装置，所述夹具主体包括底板、压紧机构和磁吸装置，所述磁吸装置和所述压紧机构设置在所述底板上，所述压紧机构用于压紧工件，所述磁吸装置用于顶托在所述工件底部；所述提升装置包括上压板和转动提升机构，所述上压板用于盖设在所述工件顶部并与所述磁吸装置吸附，所述上压板与所述转动提升机构可脱卸连接，所述转动提升机构用于带动所述上压板移动。本技术的工装夹具，通过磁吸装置透过工件吸住上压板，能够有效保障工件在被焊接的过程中保持平整不变形”，但是其工装夹具无自动伸展结构，需人为控制该工装夹具浸入速度，使得硫酸易溅起，有一定的危险性；
[0007]4、专利文件CN213289917U公开了一种工装夹具，“包括底座，底座的上侧壁面固定连接有夹持机构，夹持机构包括主轴，主轴的外侧壁面固定连接有传动柱，传动柱的外侧壁面固定连接有齿轮带和蜗轮带，蜗轮带的外侧壁面啮合连接有蜗杆，蜗杆转动连接于底座的内侧壁面，主轴的上侧壁面固定连接有行动盘，行动盘的内侧壁面啮合连接有卡爪，卡爪滑动连接于滑动盘的内侧壁面，底座的内侧壁面卡接有传动机构，本夹具不仅可以进行两
个夹持机构的单独夹持工作，还可通过传动机构，调整为使用传动机构对两个夹持机构进行同步夹持操作，用以解决在进行多个工件加工时，需逐个进行操作的问题，可提高工作效率”，但是其工装夹具无收集结构，使得清理后未溶解的颗粒易对后续的清洗造成影响。

技术实现思路

[0008]本专利技术的目的在于提供一种用于光刻版清洗的工装夹具，以解决上述
技术介绍
中提出的无自动装料结构、无自动夹持结构、无自动伸展结构和无收集结构问题。
[0009]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于光刻版清洗的工装夹具，包括顶部卡槽板、一号矩形槽、腔体、一号凹槽和容纳槽，所述顶部卡槽板的内壁开设有一号矩形槽；
[0010]所述一号矩形槽的内壁安装有一号支撑板，所述一号支撑板的外壁安装有滚轮，所述顶部卡槽板的内壁开设有二号矩形槽，所述二号矩形槽的内壁安装有一号伸缩杆，所述一号伸缩杆的一端安装有二号支撑板，所述二号支撑板的外壁安装有一号电机，所述一号电机的输出端安装有转轮，所述二号矩形槽的内壁安装有一号压力传感器，所述一号压力传感器的外壁安装有一号气缸，且一号气缸的输出端与二号支撑板的外壁连接，所述顶部卡槽板的顶部安装有感应器；
[0011]所述顶部卡槽板的内壁开设有一号凹槽。
[0012]优选的，所述顶部卡槽板的底部安装有支柱，支柱的底部安装有底部卡槽板，顶部卡槽板的内壁安装有光刻版，顶部卡槽板的顶部安装有提手，提手的顶部安装有连接板，底部卡槽板的内壁安装有中间板。
[0013]优选的，所述中间板的内壁开设有腔体，腔体的内壁安装有一号弹簧，一号弹簧的一端安装有嵌入块，嵌入块的外壁安装有支撑杆，支撑杆的一端安装有夹板，夹板的外壁安装有软垫，夹板的底部安装有斜板。
[0014]优选的，所述中间板的内部底壁安装有按压杆，且按压杆的底部延伸进腔体的内部，按压杆的底部安装有底板，腔体的内壁安装有连杆，且连杆的一端与底板的外壁连接，连杆的一端安装有顶杆，腔体的内壁安装有扶持板，且顶杆的顶部延伸出扶持板的顶部，中间板的底部安装有复位杆。
[0015]优选的，所述一号凹槽的内壁安装有二号电机，二号电机的输出端安装有小齿轮，一号凹槽的内壁安装有连接轴，连接轴的外壁安装有传动齿，连接轴的外壁安装有大齿轮，且大齿轮与小齿轮啮合，提手的外壁开设有齿槽，且齿槽与传动齿啮合。
[0016]优选的，所述顶部卡槽板的内壁开设有二号凹槽，二号凹槽的内壁安装有电磁铁，二号凹槽的内壁安装有固定板，固定板的外壁安装有二号弹簧，二号弹簧的一端安装有扶紧板，扶紧板的外壁安装有横杆，且横杆的一端延伸出固定板的外壁，横杆的一端安装有铁板。
[0017]优选的，所述中间板的顶部开设有容纳槽，容纳槽的内部底壁安装有二号气缸，二号气缸的输出端安装有支撑块，容纳槽的内部底壁安装有二号伸缩杆，且二号伸缩杆的顶部与支撑块的底部连接，支撑块的顶部安装有三号电机，三号电机的输出端安装有扇叶。
[0018]优选的，所述容纳槽的内壁安装有密封板，中间板的底部安装有底杆，底杆的底部安装有二号压力传感器，中间板的底部安装有滤网。
[0019]优选的，该工装夹具的工作步骤如下：
[0020]S1：将光刻版放入该工装夹具时，将光刻版沿着顶部卡槽板的卡槽嵌入，感应器检测到光刻版时，一号气缸带动二号支撑板移动，二号支撑板移动带动转轮移动，使得光刻版被挤压在滚轮和转轮之间，且一号压力传感器感知转轮对光刻版的夹持力度，夹持力度合适时，此时一号电机旋转带动转轮旋转，转轮旋转带动光刻版缓缓向下移动，此结构完成了光刻版的自动装料，不再需要人工装入，既省力又避免了人工装入使得光刻版与该夹具产生磕碰而造成损害；
[0021]S2：当光刻版被运输到底部卡槽板时，光刻版嵌入中间板内，一号弹簧使得夹板的软垫始终与光刻版保持贴合，且光刻版的底部按压按压杆，按压杆移动带动底板移动，底板移动带动连杆移动，连杆移动带动顶杆向上移动，顶杆移动挤压斜板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光刻版清洗的工装夹具，包括顶部卡槽板(1)、一号矩形槽(2)、腔体(3)、一号凹槽(5)和容纳槽(7)，其特征在于：所述顶部卡槽板(1)的内壁开设有一号矩形槽(2)；所述一号矩形槽(2)的内壁安装有一号支撑板(201)，所述一号支撑板(201)的外壁安装有滚轮(202)，所述顶部卡槽板(1)的内壁开设有二号矩形槽(203)，所述二号矩形槽(203)的内壁安装有一号伸缩杆(204)，所述一号伸缩杆(204)的一端安装有二号支撑板(205)，所述二号支撑板(205)的外壁安装有一号电机(206)，所述一号电机(206)的输出端安装有转轮(207)，所述二号矩形槽(203)的内壁安装有一号压力传感器(208)，所述一号压力传感器(208)的外壁安装有一号气缸(209)，且一号气缸(209)的输出端与二号支撑板(205)的外壁连接，所述顶部卡槽板(1)的顶部安装有感应器(210)；所述顶部卡槽板(1)的内壁开设有一号凹槽(5)。2.根据权利要求1所述的一种用于光刻版清洗的工装夹具，其特征在于：所述顶部卡槽板(1)的底部安装有支柱(101)，支柱(101)的底部安装有底部卡槽板(102)，顶部卡槽板(1)的内壁安装有光刻版(103)，顶部卡槽板(1)的顶部安装有提手(104)，提手(104)的顶部安装有连接板(105)，底部卡槽板(102)的内壁安装有中间板(106)。3.根据权利要求2所述的一种用于光刻版清洗的工装夹具，其特征在于：所述中间板(106)的内壁开设有腔体(3)，腔体(3)的内壁安装有一号弹簧(301)，一号弹簧(301)的一端安装有嵌入块(302)，嵌入块(302)的外壁安装有支撑杆(303)，支撑杆(303)的一端安装有夹板(304)，夹板(304)的外壁安装有软垫(305)，夹板(304)的底部安装有斜板(306)。4.根据权利要求2所述的一种用于光刻版清洗的工装夹具，其特征在于：所述中间板(106)的内部底壁安装有按压杆(4)，且按压杆(4)的底部延伸进腔体(3)的内部，按压杆(4)的底部安装有底板(401)，腔体(3)的内壁安装有连杆(402)，且连杆(402)的一端与底板(401)的外壁连接，连杆(402)的一端安装有顶杆(404)，腔体(3)的内壁安装有扶持板(403)，且顶杆(404)的顶部延伸出扶持板(403)的顶部，中间板(106)的底部安装有复位杆(405)。5.根据权利要求1所述的一种用于光刻版清洗的工装夹具，其特征在于：所述一号凹槽(5)的内壁安装有二号电机(501)，二号电机(501)的输出端安装有小齿轮(502)，一号凹槽(5)的内壁安装有连接轴(503)，连接轴(503)的外壁安装有传动齿(504)，连接轴(503)的外壁安装有大齿轮(505)，且大齿轮(505)与小齿轮(502)啮合，提手(104)的外壁开设有齿槽(506)，且齿槽(506)与传动齿(504)啮合。6.根据权利要求1所述的一种用于光刻版清洗的工装夹具，其特征在于：所述顶部卡槽板(1)的内壁开设有二号凹槽(6)，二号凹槽(6)的内壁安装有电磁铁(601)，二号凹槽(6)的内壁安装有固定板(602)，固定板(602)的外壁安装有二号弹簧(603)，二号弹簧(603)的一端安装有扶紧板(604)，扶紧板(604)的外壁安装有横杆(605)，且横杆(605)的一端延伸出固定板(602)的外壁，横杆(605)的一端安装有铁板(606)。7.根据权利要求2所述的一种用于光刻版清洗的工装夹具，其特征在于：所述中间板(106)的顶部开设有容纳槽(7)，容纳槽(7)的内部底壁安装有二号气缸(701)，二号气缸(701)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王黎明，
申请(专利权)人：江苏晟驰微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：