本实用新型专利技术公开了一种梯度沉积炉的辅助进气装置，涉及梯度沉积炉的辅助进气装置的技术领域，本实用新型专利技术旨在解决辅助进气的问题，本实用新型专利技术包括沉积炉，所述挡板的外壁开有第一通孔，所述沉积炉的底端装配有辅助进气装置，所述辅助进气装置包括装配于沉积炉外壁的颈筒、挡盖、压缩弹簧和锥形杆。该梯度沉积炉的辅助进气装置，通过在沉积炉的底端进行安装辅助进气装置，有效的起到对输送到沉积炉内的气体进行辅助进气，而且其内部设置的挡盖配合密封垫，和锥形杆一端直径大于颈筒的直径，可以起到在不使用辅助进气装置时，保证辅助进气装置的严密与密封性，通过在沉积炉的内侧壁进行安装挡板，可以起到对辅助进气装置进行保护。可以起到对辅助进气装置进行保护。可以起到对辅助进气装置进行保护。
An auxiliary air inlet device for gradient deposition furnace
【技术实现步骤摘要】
一种梯度沉积炉的辅助进气装置
[0001]本技术涉及梯度沉积炉的辅助进气装置的
，具体是一种梯度沉积炉的辅助进气装置。
技术介绍
[0002]沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分，为混气罐，由1只电动蝶阀、2只浮子流量计和4只不锈钢手动截止阀组成，负责氩气和丙烷的混气配比，以及向沉积炉内定量输送工作气体，现有沉积炉在使用的时候，无法满足对进气进行辅助，导致进气输入量不方便进行控制，而且其上安装的辅助进气装置密封性不佳，进而降低辅助进气装置的使用效率，也影响沉积炉的使用效果。
技术实现思路
[0003]为解决上述问题，即解决上述
技术介绍
提出的问题，本技术提出了一种梯度沉积炉的辅助进气装置，包括沉积炉，所述沉积炉的内侧壁装配有挡板，所述挡板的外壁开有第一通孔，所述沉积炉的底端装配有辅助进气装置，所述辅助进气装置包括装配于沉积炉外壁的颈筒、挡盖、压缩弹簧和锥形杆，所述锥形杆位于颈筒的内腔上下移动，且锥形杆通过压缩弹簧与颈筒相连，所述锥形杆的上方固接于挡盖，所述挡盖通过橡胶垫与颈筒紧密贴合。
[0004]优选的，所述锥形杆的上方直径大于颈筒的内直径。
[0005]优选的，所述颈筒的下方螺纹连接有冒盖，所述冒盖的底端固接于连管，且冒盖的内侧壁底端开有第二通孔。
[0006]优选的，所述冒盖的外侧壁开有卡槽，所述卡槽的内部卡接有搬杆。
[0007]本技术的有益技术效果为：该梯度沉积炉的辅助进气装置，通过在沉积炉的底端进行安装辅助进气装置，有效的起到对输送到沉积炉内的气体进行辅助进气，而且其内部设置的挡盖配合密封垫，和锥形杆一端直径大于颈筒的直径，可以起到在不使用辅助进气装置时，保证辅助进气装置的严密与密封性，通过在沉积炉的内侧壁进行安装挡板，可以起到对辅助进气装置进行保护，且辅助进气装置下方设置的冒盖，可以起到方便使连管与辅助进气装置进行连接，加大辅助进气装置的使用效率与沉积炉的使用效果。
附图说明
[0008]图1示出了梯度沉积炉的辅助进气装置的结构示意图。
[0009]图2示出了图1中辅助进气装置结构示意图。
[0010]附图标记1、沉积炉，2、辅助进气装置，21、颈筒，22、挡盖，23、橡胶垫，24、压缩弹簧，25、锥形杆，3、挡板，4、第一通孔，5、冒盖，6、第二通孔，7、连管，8、卡槽，9、搬杆。
具体实施方式
[0011]下面参照附图来描述本技术的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用于解释本技术的技术原理，并非旨在限制本技术的保护范围。
[0012]请参阅图1和图2所示，本技术提出了一种梯度沉积炉的辅助进气装置，包括沉积炉1，沉积炉1的内侧壁装配有挡板3，挡板3的外壁开有第一通孔4，沉积炉1的底端装配有辅助进气装置2，辅助进气装置2包括装配于沉积炉1外壁的颈筒21、挡盖22、压缩弹簧24和锥形杆25，锥形杆25位于颈筒 21的内腔上下移动，且锥形杆25通过压缩弹簧24与颈筒21相连，锥形杆25 的上方固接于挡盖22，挡盖22通过橡胶垫23与颈筒21紧密贴合，锥形杆25 的上方直径大于颈筒21的内直径；
[0013]颈筒21的下方螺纹连接有冒盖5，冒盖5的底端固接于连管7，且冒盖5 的内侧壁底端开有第二通孔6，冒盖5的外侧壁开有卡槽8，卡槽8的内部卡接有搬杆9。
[0014]工作原理：在使用沉积炉1上辅助进气装置时，且沉积炉1的内部底端装配有挡板3，可以对辅助进气装置2进行移动的保护，在对沉积炉1进行进气辅助时，首先将冒盖5螺纹连接在颈筒21上，并且向上顶动锥形杆25，颈筒21 内部的锥形杆25向上移动，使其上连接的压缩弹簧24进行拉伸，方便进行进气辅助；在不使用辅助进气装置时，将搬杆9插入冒盖5的卡槽8内部，将冒盖5从颈筒21上拆卸下来，然后通过压缩弹簧24的弹力，将锥形杆25拉回颈筒21的内部，配合挡盖22和其上安装的橡胶垫23，有效的增加辅助进气装置的密封效果。
[0015]虽然已经参考优选实施例对本技术进行了描述，但在不脱离本技术的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件，尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本技术并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
[0016]在本技术的描述中，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0017]此外，还需要说明的是，在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0018]术语“包括”或者任何其它类似用语旨在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、物品或者设备/装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其它要素，或者还包括这些过程、物品或者设备/装置所固有的要素。
[0019]至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本技术的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本技术的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本技术的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种梯度沉积炉的辅助进气装置，包括沉积炉(1)，其特征在于：所述沉积炉(1)的内侧壁装配有挡板(3)，所述挡板(3)的外壁开有第一通孔(4)，所述沉积炉(1)的底端装配有辅助进气装置(2)；所述辅助进气装置(2)包括装配于沉积炉(1)外壁的颈筒(21)、挡盖(22)、压缩弹簧(24)和锥形杆(25)，所述锥形杆(25)位于颈筒(21)的内腔上下移动，且锥形杆(25)通过压缩弹簧(24)与颈筒(21)相连，所述锥形杆(25)的上方固接于挡盖(22)，所述挡盖(22)通过橡胶垫(23)...
【专利技术属性】
技术研发人员：王冬，王一虓，
申请(专利权)人：沈阳三特真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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