【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种半导体微机电可变电抗器,包括:具有可移动梁的第一衬底,所述可移动梁至少在所述可移动梁的一端锚定于所述第一衬底,所述可移动梁具有在与所述第一衬底相反的方向上从其突出的分立的鳍;以及耦合到所述第一衬底的具有固定电极的第二衬底 ,每个所述固定电极分别面对所述分立的鳍之一,所述分立的鳍被突出的鳍和所述固定电极之间的电压所激励。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:阿尼尔K钦萨金迪,罗伯特A格罗夫斯,肯尼思J斯坦,塞沙德里萨班纳,理查德P沃兰特,
申请(专利权)人:国际商业机器公司,
类型:发明
国别省市:US[美国]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。