表面形状测定机及表面形状测定方法技术

本发明专利技术提供能够抑制在旋转工作台设置分度工作台来测定工件的表面形状时的测定精度的降低的表面形状测定机及表面形状测定方法。表面形状测定机具备：旋转工作台，其载置工件，并以旋转中心为中心旋转自如；以及检测器，其具有与载置于旋转工作台的工件接触的测头，并检测测头的位移，旋转工作台具有用于调节工件的中心与旋转中心的定心机构，表面形状测定机具备装卸自如地设置于旋转工作台之上的分度工作台，分度工作台构成为能够沿着与旋转中心正交的第一轴以及第二轴进行分度进给，表面形状测定机具备将伴随着分度工作台的分度进给产生的偏心载荷抵消的偏心载荷抵消单元。产生的偏心载荷抵消的偏心载荷抵消单元。产生的偏心载荷抵消的偏心载荷抵消单元。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】表面形状测定机及表面形状测定方法


[0001]本专利技术涉及表面形状测定机及表面形状测定方法，并涉及利用装卸自如的分度工作台的技术。

技术介绍

[0002]作为表面形状测定机，已知有测定工件的圆度的圆度测定机。例如，专利文献1的圆度测定机具备安装于旋转驱动机构的倾斜式十字工作台(tilt cross table)。载置于倾斜式十字工作台的工件被倾斜式十字工作台实施对心与倾斜(tilting)，使工件的中心与旋转驱动机构的旋转中心一致(也称为定心操作)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2001
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343228号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的课题
[0007]然而，通常倾斜式十字工作台的可动范围相对于旋转中心窄至几毫米程度，因此在载置工件时，需要对位在旋转中心附近。因此，在可动范围内载置多个工件并连续地定心并不容易。
[0008]于是，作为使可动范围扩展的方案，考虑在倾斜式十字工作台之上追加分度工作台(ind本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种表面形状测定机，其具备：旋转工作台，其载置工件，并以旋转中心为中心旋转自如；以及检测器，其具有与载置于所述旋转工作台的工件接触的测头，并检测所述测头的位移，其中，所述旋转工作台具有用于调节所述工件的中心和所述旋转中心的定心机构，所述表面形状测定机具备装卸自如地设置于所述旋转工作台之上的分度工作台，所述分度工作台构成为能够沿着与所述旋转中心正交的第一轴以及第二轴进行分度进给，所述表面形状测定机具备偏心载荷抵消单元，该偏心载荷抵消单元抵消伴随着所述分度工作台的所述分度进给产生的偏心载荷。2.根据权利要求1所述的表面形状测定机，其中，所述表面形状测定机具备通过检知所述旋转中心的倾倒量而取得所述偏心载荷的传感器。3.根据权利要求1或2所述的表面形状测定机，其中，所述表面形状测定机具备：共用的驱动电路，其驱动所述旋转工作台和所述分度工作台；切换电路，其在所述旋转工作台与所述分度工作台之间切换所述驱动电路；以及装卸机构，其将所述切换...

【专利技术属性】
技术研发人员：关本伦裕，
申请(专利权)人：株式会社东京精密，
类型：发明
国别省市：