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表面形状测定机及表面形状测定方法技术
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文档序号:34085572
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本发明提供能够抑制在旋转工作台设置分度工作台来测定工件的表面形状时的测定精度的降低的表面形状测定机及表面形状测定方法。表面形状测定机具备:旋转工作台,其载置工件,并以旋转中心为中心旋转自如;以及检测器,其具有与载置于旋转工作台的工件接触的测...
该专利属于株式会社东京精密所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东京精密授权不得商用。
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