控制阀、基板处理装置及半导体器件的制造方法制造方法及图纸

控制阀具备：具有可动式的闸阀板的闸阀；和设于闸阀板、口径比由闸阀板开闭的阀开口小且能够全闭的蝶阀，该控制阀构成为能够相互独立地驱动闸阀的闸阀板和蝶阀。立地驱动闸阀的闸阀板和蝶阀。立地驱动闸阀的闸阀板和蝶阀。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】控制阀、基板处理装置及半导体器件的制造方法


[0001]本专利技术的技术涉及控制阀、基板处理装置及半导体器件的制造方法。

技术介绍

[0002]在制造半导体器件的薄膜形成工艺中，有时使两种以上的成膜气体一种种地交替流到基板上，与基板上的原子发生反应而一层层地使膜堆叠。此时成膜中的反应室压力在每次成膜气体供给事件中不同，这些压力调节主要通过排气主阀的流导调节功能(APC(Auto Pressure Control))进行调压。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2003
‑
183837号公报
[0006]专利文献2：日本特开2010
‑
67788号公报
[0007]专利文献3：日本特开2009
‑
259894号公报
[0008]专利文献4：日本特开平11
‑
300193号公报
[0009]专利文献5：国际公开第2017/022366号

技术实现思路

[0010本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种控制阀，具备：闸阀，其具有可动式的闸阀板；和能够全闭的蝶阀，其设于所述闸阀板，口径比由所述闸阀板开闭的阀开口小，所述控制阀构成为能够相互独立地驱动所述闸阀的所述闸阀板和所述蝶阀。2.根据权利要求1所述的控制阀，其中，所述控制阀在设定流导或流量大于规定值时将所述闸阀设为开状态，在所述设定流导或流量小于所述规定值时将所述闸阀设为闭状态，利用所述蝶阀调节流导或流量。3.根据权利要求1所述的控制阀，其中，所述闸阀具有：阀外壳，其具备闸阀座和在流路方向上相对配置的两个所述阀开口，在两个所述阀开口之间直线形成被控制流体的流路；以及所述闸阀板，其在打开位置与封闭位置之间移动，该打开位置是所述闸阀板向所述流路之外退避并且将所述阀开口打开的位置，该封闭位置是所述闸阀板向所述流路内突出并且与所述闸阀座接触而将所述阀开口密封的位置。4.根据权利要求3所述的控制阀，其中，所述闸阀具有：驱动部件，其配设于所述闸阀板，能够与所述闸阀板一起沿所述闸阀板的移动方向移动或伸缩；闸阀致动器，其将所述驱动部件沿所述闸阀板的移动方向驱动；具有弹性的闸阀密封环，其配置在所述闸阀座或所述闸阀板中的与所述闸阀座相对的相对面。5.根据权利要求4所述的控制阀，其中，所述蝶阀具有：蝶阀室，其以使两个所述阀开口连通的方式贯穿设于所述闸阀板，具有蝶阀座；蝶阀板，其具有与所述蝶阀座对应的形状，以能够将所述闸阀板的移动方向作为轴并绕该轴旋转的方式被轴支承；旋转轴，其与所述蝶阀板连接，沿所述闸阀板的移动方向延伸，能够绕所述轴旋转；以及蝶阀致动器，其将所述旋转轴绕所述轴旋转驱动。6.根据权利要求4所述的控制阀，其中，所述闸阀座设于所述闸阀板的上游侧，所述闸阀密封环设于该闸阀座或所述闸阀板中的与该闸阀座相对的相对面。7.根据权利要求5所述的控制阀，其中，所述蝶阀具有配置在所述蝶阀板的外周且与所述蝶阀座抵接的弹性的蝶阀密封环，能够利用所述蝶阀密封环将所述蝶阀座密封。8.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：大野干雄，谷山智志，
申请(专利权)人：株式会社国际电气，
类型：发明
国别省市：