声表面波元件制造技术

在本发明专利技术揭示一种声表面波元件，以铝或铝－铜合金为Ｍ、以钒为Ｖ、用组成式ＭｘＶｙ（Ｘ和Ｙ的和为１００重量％、Ｙ为大于０．１０重量％小于０．２重量％）表示的电极材料来形成电极。由此，得到对于施加的电功率耐久性优越、并且内阻小的声表面波元件。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在压电体底板上形成使声表面波激振用电极的声表面波元件。
技术介绍
以往，手机等通信设备用声表面波元件作谐振滤波器、信号处理用延迟线的电路元件。例如图8所示声表面波元件中，在压电体底板(51)的表面上垂帘状配置着多个电极(52a)，形成一对梳形电极(52)(52)之同时，在其两侧形成格栅状的反射器(53)(53)。梳形电极(52)(52)分别与一对输入用焊接片(54)(54)、及一对输出用焊接片连接。近些年，随着通信设备通信频率的提高，声表面波元件的动作频率也提高，同时，要求大功率输出。由于动作频率的提高，各电极(52a)的宽度就要做得更窄，例如动作频率的中心频率为1GHZ时，电极(52a)的宽度为1μm。若将较高的电压加在由宽度这样窄的电极形成的声表面波元件上，则由于压电体底板(51)表面产生相当大的声表面波，从而较大的应力作用在电极(52a)上。该应力一旦超过电极(52a)的材料固有临界应力，构成电极(52a)的原子晶界移动，在电极(52a)上形成空隙、凸起。由此，电极(52a)发生损坏。因此，众所周知，有在电极材料Al中作为添加物添加铜、钛、或镍等，提高电极强度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种声表面波元件，其特征在于，在压电体底板上形成由金属薄膜构成的电极，该电极用以铝或铝－铜合金为Ｍ、以钒为Ｖ、用组成式ＭｘＶｙ（Ｘ和Ｙ的和为１００重量％、Ｙ为大于０．１０重量％小于０．２重量％）表示的电极材料来形成。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：田沼俊雄，吉岡功一，臼杵辰朗，田中直樹，伊藤秀樹，
申请(专利权)人：三洋电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]