包括集成微机械音叉谐振器的时基制造技术

描述了一种包括谐振器（４）和用于驱动谐振器振荡并响应于此振荡而产生预定频率的信号的集成电子电路（３）的时基。谐振器为支撑于衬底（２）之上的集成微机械音叉谐振器（４），其在基本上平行于衬底的平面内振荡。音叉谐振器包括从衬底中基本上垂直地延伸出来的基体件（５）、独立的基本上平行的叉齿（７，８）和设置在叉齿附近并与集成电子电路相连的电极结构（９）。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种时基，它包括谐振器（４）和用于驱动所述谐振器（４）振荡并响应于所述振荡而产生具有预定频率的信号的集成电子电路（３），其特征在于，所述谐振器为衬底（２）所支撑的集成微机械音叉谐振器（４），其可根据第一振荡模式在基本上平行于所述衬底（２）的平面内振荡，所述音叉谐振器（４）包括： 从所述衬底（２）中基本上垂直地延伸出来的基体件（５）； 与所述基体件（５）相连并包括处于所述平面内的至少第一对基本上平行的叉齿（７，８）的独立振荡结构（６）；和 设置在所述叉齿（７，８）附近并与所述集成电子电路（３）相连的电极结构（９）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：M吉欧索夫，H屈克，R普拉茨，
申请(专利权)人：伊塔瑞士钟表制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：CH[瑞士]