包括集成微机械式环形谐振器的时基制造技术

本文所描述的时基包括谐振器（４）和集成电子电路（３），集成电子电路（３）用于驱动谐振器发生振荡并随此振荡产生具有确定频率的信号。本谐振器是一集成微机械式环形谐振器（４），它支承在衬底（２）上方且适合环绕与衬底基本垂直的旋转轴（Ｏ）振荡。环形谐振器包括从衬底沿旋转轴伸出的中央立柱（５），和独立式振荡构件（６），该独立式振荡构件包括与旋转轴共轴的外环（６０）和许多环绕中央立柱对称布置且将外环连接到中央立柱的弹性元件（６２）。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及时基，即一种由谐振器和集成电子电路组成的器件，该集成电路可驱使谐振器发生振荡并随此振荡产生具有确定频率的信号。时基，或频率标准，是各种各样电子仪器所需的，从手表和其它时计到复杂的通信设备。这样的时基通常由一个包括石英谐振器的振荡器和一个驱动该谐振器发生振荡的电子电路组成。一个另外的除法电路可用于将振荡器所产生信号的频率分割，以获得较低频率。该电路的其它部分可用来调节频率，例如通过调节除法电路的标度比。电子电路的元件很好地集成在CMOS(互补型金属氧化物半导体)技术中单片的半导体衬底上。与频率处理没有直接关系的其它功能可集成在同一衬底上。石英谐振器的优点是其品质因数高，因此频率稳定性好，功率消耗低及温度稳定性好。但利用石英谐振器的典型时基的缺点在于这一事实，即需要两个部件，也就是石英谐振器和集成电子电路，才能提供高精度的频率。独立的石英谐振器需要电路板空间，在许多情况下该电路板空间是缺乏的。例如，手表中应用的标准石英谐振器需要的空间约为2×2×6mm3数量级。况且该两个元件的组装和连接带来了额外的成本。可是，空间和组装成本是大问题，尤其在日益增长的便携式电子装置领域本文档来自技高网...

【技术保护点】
时基包括一个谐振器（４）和一个用于驱动该谐振器（４）发生振荡以便随此振荡产生具有确定频率的信号的集成电子电路，其特征在于，所述谐振器是一集成微机械式环形谐振器（４），该谐振器（４）支承在衬底（２）的上方且适宜于按第一振荡模式绕与所述衬底（２）基本垂直的旋转轴（Ｏ）发生振荡，该环形谐振器（４）包括： 一中央立柱（５），由所述衬底（２）沿旋转轴（Ｏ）伸出； 一独立式振荡构件（６），连接中央立柱（５）且包括： 一外环（６０），与所述旋转轴（Ｏ）共轴；及 一些弹性元件（６２），对称地配置在中央立柱（５）的周围且将外环（６０）与中央立柱（５）连接起来；及 至少一对沿直径方向...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：M吉奥索夫，H屈克，R普拉茨，
申请(专利权)人：ETA草图制造公司，
类型：发明
国别省市：CH[瑞士]