一种吸附机构及输送装置制造方法及图纸

技术编号:34064029 阅读:57 留言:0更新日期:2022-07-06 20:36
本实用新型专利技术提供一种吸附机构及输送装置,该吸附机构包括可转动的驱动轴;以及沿驱动轴轴向方向X方向排列的至少两组吸附单元;每组吸附单元包括有沿X方向排列的两个连接件;所述连接件的一端部连接于驱动轴上,另一端部上包括有吸附件;同一吸附单元的两个连接件可在所述驱动轴的转动驱动力下相互靠近或相互远离;相邻两组吸附单元可在驱动轴的转动驱动力下相互靠近或相互远离。该吸附机构结构简单,空间占用小,有利于设备的小型化和集中化。有利于设备的小型化和集中化。有利于设备的小型化和集中化。

【技术实现步骤摘要】
一种吸附机构及输送装置


[0001]本技术涉及自动化
更具体地,涉及一种吸附机构及输送装置。

技术介绍

[0002]半导体芯片是通过在半导体片材上进行浸蚀、布线制成的能实现某种功能的半导体器件。随着半导体技术的发展,芯片复杂度也越来越高,为了保证出厂芯片的质量,需要在出厂前对芯片进行功能性测试以确保芯片功能的完整性,实现对芯片质量的把控,促进半导体行业的发展。在进行芯片检测前,一般需要通过上料机构将芯片输送至上料位置,再通过吸附机构将芯片从上料位置移动至检测位置,在检测完成后,再通过吸附机构从检测位置拾取芯片并移动至下料位置。
[0003]但是,现有的吸附机构在需要对吸嘴的间距进行调节时,需要对吸嘴设置专用的调节结构,通过控制调节结构来使吸嘴动作,这样会导致整个吸附机构的结构较为复杂,空间占用大,不利于设备的小型化和集中化。

技术实现思路

[0004]针对上述问题,本技术提供一种吸附机构,该吸附机构结构简单,空间占用小。
[0005]为实现上述目的,本技术采用下述技术方案:
[0006]本技术提供一种吸附机构,包括:可转动的驱动轴;以及
[0007]沿驱动轴轴向方向X方向排列的至少两组吸附单元;
[0008]每组吸附单元包括有沿X方向排列的两个连接件;所述连接件的一端部连接于驱动轴上,另一端部上包括有吸附件;
[0009]同一吸附单元的两个连接件可在所述驱动轴的转动驱动力下相互靠近或相互远离;
[0010]相邻两组吸附单元可在驱动轴的转动驱动力下相互靠近或相互远离。
[0011]此外,优选地方案是,当同一吸附单元的两个连接件呈相互靠近运动时,相邻两组吸附单元之间呈相互远离运动;
[0012]当同一吸附单元的两个连接件呈相互远离运动时,相邻两组吸附单元之间呈相互靠近运动。
[0013]此外,优选地方案是,所述驱动轴上形成有与吸附单元对应配合的螺旋槽;所述连接件的一端部安装于螺旋槽上;
[0014]所述螺旋槽包括螺旋方向相反的左旋螺段以及右旋螺段;同一吸附单元的两个连接件分别连接于左旋螺段上和右旋螺段上。
[0015]此外,优选地方案是,所述驱动轴上左旋螺段与右旋螺段交替间隔设置。
[0016]此外,优选地方案是,所述连接件包括与螺旋槽连接的平直部以及用以固定吸附件的竖直部;所述吸附件沿竖直方向设置;所述吸附件可随连接件一并在驱动轴的转动驱
动力下沿X方向运动。
[0017]此外,优选地方案是,所述吸附机构还包括有壳体,所述驱动轴穿设于壳体上,在所述壳体的一侧壁上包括有沿竖直方向排列的若干第一导轨机构,所述第一导轨机构沿X方向延伸;所述连接件连接于所述第一导轨机构上;
[0018]所述壳体上还包括有供连接件平直部移动的长条孔,所述长条孔沿X方向延伸。
[0019]此外,优选地方案是,所述吸附件包括主体以及吸嘴;所述主体上形成用以与抽真空设备连接的气体通道,所述吸嘴与气体通道连通;所述吸嘴与主体之间配置有弹簧。
[0020]此外,优选地方案是,所述吸附机构还包括有用以感应驱动轴的转动角度的传感器。
[0021]此外,优选地方案是,所述吸附机构还包括有用以对吸附件进行校准定位的相机,所述相机的镜头轴线沿Y向设置。
[0022]本技术还提供一种输送装置,该输送装置包括,基板;
[0023]如上所述的吸附机构;
[0024]用以驱动所述吸附机构沿X方向往复运动的移动机构;以及
[0025]设置在基板上用于跟随所述吸附机构移动的拖链结构。
[0026]本技术的有益效果为:
[0027]本技术通过移动机构驱动吸附机构,实现吸附机构在料盘和检测位置之间的移动,完成对芯片的输送,再通过驱动轴与吸附件的配合,利用驱动轴旋转进而带动吸附件相互靠近或相互远离调整相邻吸附件的间距,同时调整相邻两组吸附单元之间的间距,通过上述设置无需借助其他设备仅采用驱动轴转动即可实现全部吸附件间距的自由调整切换;且能够根据生产的实际需要实时进行间距变换,在减少了操作的繁琐工序的同时还大大提高了工作效率,该吸附机构结构简单,空间占用小,有利于设备的小型化和集中化。
附图说明
[0028]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明。
[0029]图1是本技术的输送装置的整体结构示意图。
[0030]图2是本技术的吸附机构的结构示意图。
[0031]图3是本技术的吸附机构的主视图。
[0032]图4是本技术的壳体与连接件的配合图。
[0033]图5是本技术的吸附件的剖面图。
[0034]图6是本技术的拖链结构的结构示意图。
[0035]图7是本技术的拖链结构的截面图。
具体实施方式
[0036]现在将参照附图来详细描述本技术的各种示例性实施例。应注意到:除非另外具体说明,否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本技术的范围。
[0037]以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的,决不作为对本技术及其应用或使用的任何限制。
[0038]对于相关领域普通技术人员已知的技术和设备可能不作详细讨论,但在适当情况下,所述技术和设备应当被视为说明书的一部分。
[0039]在这里示出和讨论的所有例子中,任何具体值应被解释为仅仅是示例性的,而不是作为限制。因此,示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
[0040]应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0041]为了解决现有的吸附机构的结构较为复杂,空间占用大的问题。本技术提供一种吸附机构,结合图1至图5所示,所述吸附机构20包括:可转动的驱动轴;以及沿驱动轴轴向方向X方向排列的至少两组吸附单元27;每组吸附单元27包括有沿X方向排列的两个连接件23;所述连接件23的一端部连接于驱动轴上,另一端部上包括有吸附件22;同一吸附单元27的两个连接件23可在所述驱动轴的转动驱动力下相互靠近或相互远离;相邻两组吸附单元27可在驱动轴的转动驱动力下相互靠近或相互远离,也就是说,当同一吸附单元27的两个连接件23呈相互靠近运动时,相邻两组吸附单元27之间呈相互远离运动;当同一吸附单元27的两个连接件23呈相互远离运动时,相邻两组吸附单元27之间呈相互靠近运动。
[0042]在上述实施方式中,利用驱动轴旋转进而带动吸附件22相互靠近或相互远离调整相邻吸附件22的间距,同时能够调整相邻两组吸附单元27之间的间距,参照图4所示,在本实施方式中,该吸附机构20包括两组有吸附单元27,通过上述设置无需借助其他设备仅采用驱动轴转动即可实现全部四个吸附件22间距的调整;可以理解的是,驱动轴是在驱动件的带动下绕驱动轴本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种吸附机构,其特征在于,包括:可转动的驱动轴;以及沿驱动轴轴向方向X方向排列的至少两组吸附单元;每组吸附单元包括有沿X方向排列的两个连接件;所述连接件的一端部连接于驱动轴上,另一端部上包括有吸附件;同一吸附单元的两个连接件可在所述驱动轴的转动驱动力下相互靠近或相互远离;相邻两组吸附单元可在驱动轴的转动驱动力下相互靠近或相互远离。2.根据权利要求1所述的吸附机构,其特征在于,当同一吸附单元的两个连接件呈相互靠近运动时,相邻两组吸附单元之间呈相互远离运动;当同一吸附单元的两个连接件呈相互远离运动时,相邻两组吸附单元之间呈相互靠近运动。3.根据权利要求1所述的吸附机构,其特征在于,所述驱动轴上形成有与吸附单元对应配合的螺旋槽;所述连接件的一端部安装于螺旋槽上;所述螺旋槽包括螺旋方向相反的左旋螺段以及右旋螺段;同一吸附单元的两个连接件分别连接于左旋螺段上和右旋螺段上。4.根据权利要求3所述的吸附机构,其特征在于,所述驱动轴上左旋螺段与右旋螺段交替间隔设置。5.根据权利要求3所述的吸附机构,其特征在于,所述连接件包括与螺旋槽连接的平直部以及用以固定吸附件的竖直部;所述吸附件沿竖直...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨胜利
申请(专利权)人:苏州华兴源创科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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