一种用于直写光刻的LED光源制造技术

本申请提供了一种用于直写光刻的LED光源，包括：散热件，开设有用于收容冷却流体的冷却腔，散热件具有散热面，散热面上设有多个凹伸至冷却腔内的容置部，其中，容置部凹伸至冷却腔内的面为弧形面；多个发光件，分别设于多个容置部内；多个导热件，每一导热件分别罩设于一个发光件上，且导热件朝向发光件的端部伸入所述容置部内，并连接所述弧形面；其中，每一导热件凸伸出散热件的部分全覆盖有一层荧光粉层，以将发光件在所述荧光粉层产生的热量经所述导热件传递至所述弧形面。本申请通过导热件将发光件在荧光粉层产生的热量传递至弧面上，并通过向冷却腔内通入冷却流体带走弧面上的热量，从而实现LED光源的全面散热。从而实现LED光源的全面散热。从而实现LED光源的全面散热。

An LED light source for direct writing lithography

【技术实现步骤摘要】
一种用于直写光刻的LED光源


[0001]本申请涉及光刻
，尤其涉及一种用于直写光刻的LED光源。

技术介绍

[0002]光刻技术是用于在衬底表面上印刷具有特征构图的技术，这样的衬底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的基片，经常使用的基片为半导体晶片或玻璃基片；在光刻过程中，基片放置在基片台上，通过处在光刻设备内的曝光装置，将特征构图投射到基片表面。而光源是光刻技术中必不可少的部件，光刻机是半导体产业中最关键的设备，它决定着芯片的性能、大小等最核心的地方。而光刻机最重要的部件之一曝光光源影响着光刻机的整体性能。光刻机一般选用半导体激光器作为曝光光源，但其因为成本高、寿命短、波段单一等原因无法大批量应用于数字光刻机上，特别是防焊数字光刻机，因此，现有技术中常常使用LED光源来取代半导体激光器。
[0003]在LED光源长时间的使用后，会在光刻机内产生大量的热量，从而影响光刻机的整体性能，而现有对光刻机散热的做法通常都是在LED灯板端面连接一水冷的散热腔体，通过水的流动从而带动灯板内热量的散发。但由于LED灯的发散性，LED灯在光刻机内产生的热量并非集中在一点，而通过水冷装置连接LED灯板的设置只能带动LED灯板局部区域热量的流动，然后由LED灯发出的热量大部分遗留在光刻机内，从而造成散热不彻底的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，有必要提供一种散热彻底的LED光源，以解决上述问题。r/>[0005]本申请的实施例提供一种用于直写光刻的LED光源，包括：
[0006]散热件，开设有用于收容冷却流体的冷却腔，所述散热件具有散热面，所述散热面上设有多个凹伸至所述冷却腔内的容置部，其中，所述容置部凹伸至所述冷却腔内的面为弧形面；
[0007]多个发光件，分别设于多个所述容置部内；
[0008]多个导热件，每一所述导热件分别罩设于一个所述发光件上，且所述导热件朝向所述发光件的端部伸入所述容置部内，并连接所述弧形面；
[0009]其中，每一所述导热件凸伸出所述散热件的部分全覆盖有一层荧光粉层，以将所述发光件在所述荧光粉层产生的热量经所述导热件传递至所述弧形面。
[0010]在本申请的至少一个实施例中，所述散热件还包括与所述冷却腔连通的第一管和第二管；
[0011]所述散热件还具有设于外侧并与所述散热面背对设置的承载面；
[0012]所述第一管和所述第二管设于所述承载面上，用于向所述冷却腔内输入和输出冷却流体。
[0013]在本申请的至少一个实施例中，所述散热件还具有设于所述冷却腔内并与所述承
载面背对设置的导流面；
[0014]其中，沿所述第一管至所述第二管的方向，所述导流面到所述承载面的距离逐渐减小。
[0015]在本申请的至少一个实施例中，所述LED光源还包括可拆卸设置的第一壳体和第二壳体；
[0016]所述第一壳体开设有第一孔和第二孔；
[0017]所述第一管伸出所述第一孔设置，所述第二管伸出所述第二孔设置。
[0018]在本申请的至少一个实施例中，所述散热件还包括弹性密封件；
[0019]所述弹性密封件环绕设于所述第一管和所述第二管外壁；
[0020]其中，所述弹性密封件的直径大于所述第一孔和所述第二孔的直径，以在所述第一管伸出所述第一孔及所述第二管伸出所述第二孔时，所述弹性密封件封堵于所述第一孔和所述第二孔位置处。
[0021]在本申请的至少一个实施例中，所述弹性密封件具有面向所述第一壳体的第一面和环绕于所述弹性密封件圆周的第二面；
[0022]所述第一面和所述第二面上涂覆有胶凝层，以在所述第一管和/或所述第二管外壁渗水时，所述胶凝层凝固以封堵所述第一孔和所述第二孔。
[0023]在本申请的至少一个实施例中，所述LED光源还包括环绕设置于所述弹性密封件外壁的定位件，所述第一壳体朝向所述定位件的内壁开设有定位槽；
[0024]所述定位件可卡设于所述定位槽内，且在所述定位件卡设于所述定位槽内时，所述弹性密封件的轴心与所述第一孔或所述第二孔的轴心重合。
[0025]在本申请的至少一个实施例中，所述LED光源还包括承载件和多个第一透镜组，其中，所述第一透镜组包括至少两个第一透镜组装而成；
[0026]所述承载件上开设有多个连接孔，每一所述第一透镜组设于一个所述连接孔内。
[0027]在本申请的至少一个实施例中，所述承载件在所述连接孔端部设置有垂直于所述连接孔内壁的第三面和平行于所述连接孔内壁的第四面；
[0028]所述第一透镜承载于所述第三面上，且所述第一透镜的圆周面与所述第四面接触。
[0029]在本申请的至少一个实施例中，所述LED光源还包括多个压力传感器和多个发声件；
[0030]每一所述第四面及每一所述第一透镜圆周壁上设有一所述压力传感器，且位于同一连接孔内的所述压力传感器和所述发声件电连接，以在所述第一透镜晃动时，位于同一所述连接孔内的发声件发声。
[0031]本申请至少具有以下有益效果：
[0032]1、通过在散热面上设置多个凹伸至冷却腔内的容置部，将凹伸至冷却腔内的面设置为弧面，并通过将多个发光件设置于容置部内，将导热件罩设于发光件上，并在导热件上全覆盖一层荧光粉层。以在发光件向四周发出白光时，白光中的蓝色在经荧光粉层折射后在荧光粉层出产生热量，导热件将热量传递至弧面上，并通过向冷却腔内通入冷却流体带走弧面上的热量，从而实现LED光源的全面散热。且弧面的设置增大了冷却腔内的散热面积，提高了散热效率。
[0033]2、通过设置与冷却腔连通的第一管和第二管，以通过第一管向冷却腔内注入冷却流体，并经第二管流出，从而通过冷却流体的流动带走冷却腔内的热量，从而实现散热的目的。进一步地，通过沿第一管向第二管方向，使得导流面到承载面的距离逐渐减小，以在冷却腔内形成一斜坡，以增加冷却流体流动的速度，从而增加散热的效率，并避免由于冷却腔内为平面而出现的残余冷却流体无法流出的问题，防止残余的高温流体滞留在冷却腔内而出现的影响光刻机散热的问题。
[0034]3、通过在第一管和第二管的外壁处环绕设置弹性密封件，并使弹性密封件的直径大于第一孔和第二孔的直径，以在第一管伸出第一孔或第二管伸出第二孔时，弹性密封件受到第一孔和第二孔的压力而变形以堵塞在第一管与第一孔和第二管与第二孔之间的缝隙处，从而将第一管与第一孔密封，将第二管与第二孔密封，从而防止冷却流体经第一管和/或第二管外壁渗入LED光源内部而影响发光件的正常使用的问题。进一步地，在弹性密封件的第一面及第二面上涂覆胶凝层，以在冷却流体经第一管和/或第二管外壁流入弹性密封件时，冷却流体先与胶凝层接触，胶凝层在接触冷却流体后变硬以封堵在第一管和第二孔之间的缝隙和/或封堵在第二管与第二孔之间的缝隙内，从而防止冷却流体经弹性密封件的空隙处渗入LED光源内的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于直写光刻的LED光源，其特征在于，包括：散热件，开设有用于收容冷却流体的冷却腔，所述散热件具有散热面，所述散热面上设有多个凹伸至所述冷却腔内的容置部，其中，所述容置部凹伸至所述冷却腔内的面为弧形面；多个发光件，分别设于多个所述容置部内；多个导热件，每一所述导热件分别罩设于一个所述发光件上，且所述导热件朝向所述发光件的端部伸入所述容置部内，并连接所述弧形面；其中，每一所述导热件凸伸出所述散热件的部分全覆盖有一层荧光粉层，以将所述发光件在所述荧光粉层产生的热量经所述导热件传递至所述弧形面。2.根据权利要求1所述的用于直写光刻的LED光源，其特征在于，所述散热件还包括与所述冷却腔连通的第一管和第二管；所述散热件还具有设于外侧并与所述散热面背对设置的承载面；所述第一管和所述第二管设于所述承载面上，用于向所述冷却腔内输入和输出冷却流体。3.根据权利要求2所述的用于直写光刻的LED光源，其特征在于，所述散热件还具有设于所述冷却腔内并与所述承载面背对设置的导流面；其中，沿所述第一管至所述第二管的方向，所述导流面到所述承载面的距离逐渐减小。4.根据权利要求2所述的用于直写光刻的LED光源，其特征在于，所述LED光源还包括可拆卸设置的第一壳体和第二壳体；所述第一壳体开设有第一孔和第二孔；所述第一管伸出所述第一孔设置，所述第二管伸出所述第二孔设置。5.根据权利要求4所述的用于直写光刻的LED光源，其特征在于，所述散热件还包括弹性密封件；所述弹性密封件环绕设于所述第一管和所述第二管外壁；其中，所述弹性密封件的直径大于所述第一孔和所述第二孔的直径，以在所述第一管伸出所述第一孔及所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王华，陈志特，吴中海，
申请(专利权)人：东莞锐视光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：