一种微发光二极管巨量转移装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种微发光二极管巨量转移装置。包括：柔性基板；以及设置在所述柔性基板一侧表面的镂空结构；其中，所述镂空结构用于吸附所述微发光二极管。在本申请中，微发光二极管巨量转移装置可用于将临时基板上的微发光二极管转移至目标基板，具体的，首先将镂空结构与临时基板上的微发光二极管对齐，通过按压柔性基板排出镂空结构内的空气从而吸附微发光二极管，实现微发光二极管从临时基板到镂空结构的转移；然后将吸附有微发光二极管的镂空结构移动至目标基板，使得微发光二极管与目标基板相键合；最后再施加外力使得柔性基板弯曲，从而空气进入镂空结构完成柔性基板与微发光二极管的分离，从而将微发光二极管转移到目标基板。目标基板。目标基板。

A micro led mass transfer device

【技术实现步骤摘要】
一种微发光二极管巨量转移装置


[0001]本技术涉及发光器件
，尤其涉及一种微发光二极管巨量转移装置。

技术介绍

[0002]Micro
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LED(微型发光二极管芯片)是将现有LED结构设计薄膜化、微小化与阵列化，尺寸仅约1～100μm等级。Micro
‑
LED目前在寿命、对比度、能耗、反应时间与可视角等指标方面均胜过LCD和OLED。因此Micro
‑
LED被认为是下一代的显示技术。
[0003]目前Micro
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LED巨量转移大多使用平面式转移装置，利用平面式转移装置的黏性来拾取Micro
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LED。然而随着使用次数的增加，平面式转移装置的黏性会逐渐降低，与Micro
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LED的结合力也会越来越小，影响Micro
‑
LED转移良率的同时利用率也低。
[0004]因此，如何提高平面式转移装置的转移良率和利用率是亟需解决的问题。

技术实现思路

[0005]鉴于上述现有技术的不足，本申请的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微发光二极管巨量转移装置，其特征在于，包括：柔性基板；所述柔性基板包括柔性基底，以及设置在所述柔性基底一侧的柔性凸起部；镂空结构，所述镂空结构设置在所述柔性凸起部背离所述柔性基底的一侧表面；其中，所述镂空结构包括多个阵列排布的凹槽，用于吸附所述微发光二极管。2.根据权利要求1所述的微发光二极管巨量转移装置，其特征在于，所述柔性基底和所述柔性凸起部一体成型设置。3.根据权利要求1所述的微发光二极管巨量转移装置，其特征在于，所述柔性基底的长度大于所述柔性凸起部的长度。4.根据权利要求1所述的微发光二极管巨量转移装置，其特征在于，所述柔性凸起部包括：多个间隔设置的柔性凸起单元，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王付雄，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：