【技术实现步骤摘要】
一种用于装片工序的加热装置
[0001]本专利技术涉及一种用于装片工序的加热装置,属于传感器生产
技术介绍
[0002]传感器是一种检测装置,能感受到被测量的信息,并能将感受到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。传感器的特点包括:微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。传感器的存在和发展,让物体有了触觉、味觉和嗅觉等感官,让物体慢慢变得活了起来。通常根据其基本感知功能分为热敏元件、光敏元件、气敏元件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、放射线敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大类。
[0003]传感器在生产过程中,需要通过装片机将芯片贴装在基板上,贴装形式一般分为胶装和膜装,胶装是将芯片通过导电胶或不导电胶粘附在基板上,之后再通过烘烤使胶固化,膜装主要用于超薄芯片的贴装,可以防止爬胶而造成芯片报废,膜装是事先在芯片底部贴附加热膜,并通过加热板对基板进行加热,当芯片贴装在基板上时,加热膜受热软化产生粘性,则使芯片贴装在基板上。
[0004]现有的加热板在使用过程中,为了防止基板翘曲而影响装片效果,会在加热板上开设真空吸孔,通过真空吸孔吸附基板,使基板紧贴加热板,而加热板在长期使用后,吸孔内会产生较多的杂质,杂质不仅会影响基板吸附效果,还易堵塞吸孔,需要定期清理吸孔中的杂质,且因吸孔孔径较小,维护难度较大,因此,需要有一种用于装片工序的加热装置,实现杂质的自动清洁,并提高 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于装片工序的加热装置,其特征在于:包括水平设置的底板(1),所述底板(1)上设置有加热系统和通孔(2),所述通孔(2)平行于前后方向,所述通孔(2)的前端安装有接头(3),所述通孔(2)的后端密封设置有密封块(4),所述底板(1)的顶部设置有多个吸孔(5),多个吸孔(5)前后布置在密封块(4)和接头(3)之间,所述吸孔(5)的轴线竖向设置,所述吸孔(5)与通孔(2)连通,所述底板(1)上设置有清洁机构和疏通机构;所述清洁机构包括清洁刷(6)、吹气组件和两个平移组件,所述清洁刷(6)位于底板(1)的上方,所述清洁刷(6)的刷毛(7)与底板(1)的顶部抵靠,所述清洁刷(6)设置在吸孔(5)的后侧,两个平移组件分布设置在吸孔(5)的左右两侧,所述平移组件驱动清洁刷(6)前后移动,所述吹气组件设置在清洁刷(6)的后侧;所述吹气组件包括与底板(1)固定连接的清洁管(8),所述清洁管(8)的两端密封,所述清洁管(8)平行与左右方向,所述清洁管(8)位于底板(1)的上方,所述清洁管(8)的靠近清洁刷(6)的一侧设置有多个气孔(9),多个气孔(9)左右依次分布,所述气孔(9)与清洁管(8)连通,所述清洁管(8)的后侧设置有导管(10),所述导管(10)与通孔(2)平行,所述导管(10)与清洁管(8)连通,所述导管(10)内设置有移动盘(11),所述移动盘(11)与导管(10)滑动且密封连接,所述移动盘(11)的后侧设置有推动单元,所述推动单元驱动移动盘(11)沿导管(10)轴线方向移动;所述疏通机构包括传动杆(12)、固定板(13)和多个疏通组件,所述传动杆(12)与导管(10)平行,所述传动杆(12)活动且密封穿过密封块(4),所述传动杆(12)与移动盘(11)固定连接,所述固定板(13)水平设置在通孔(2)内,所述固定板(13)与通孔(2)的内壁固定连接,所述固定板(13)位于传动杆(12)的上方,所述疏通组件与吸孔(5)一一对应;所述疏通组件包括疏通杆(14)和传动块(15),所述疏通杆(14)与吸孔(5)同轴设置,所述疏通杆(14)活动穿过固定板(13),所述疏通杆(14)位于吸孔(5)的下方,所述疏通杆(14)的底端设置有半球块(16),所述半球块(16)的球心位于疏通杆(14)的轴线上,所述半球块(16)的球面朝下设置,所述半球块(16)和固定板(13)之间设置有弹簧(17),所述半球块(16)通过弹簧(17)与固定板(13)连接,所述传动块(15)固定设置在传动杆(12)的顶部,所述传动块(15)位于疏通杆(14)轴线的后侧,所述传动块(15)与半球块(16)的球面抵靠。2.根据权利要求1所述的一种用于装片工序的加热装置,其特征在于:所述传动块(15)的垂直于左右方向的截面形状为直角三角形,所述传动块(15)的直角三角形截面的其中一条直角边所在的面固定设置在传动杆(12)上,所述传动块(15)的直角三角形截面的另一条直角边所在的面朝后设置,所述传动块(15)的直角三角形截面的斜边所在的面与半球块(16)的球面抵靠。3.根据权利要求1所述的一种用于装片工序的加热装置,其特征在于:所述平移组件包括条形...
【专利技术属性】
技术研发人员:王昕,徐震鸣,吴凯,韦青,李巍巍,
申请(专利权)人:无锡红光微电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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