抛光槽及抛光设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种抛光槽及抛光设备，该抛光槽包括槽体、可移动横梁、阴极框架，槽体具有用于盛放抛光液的第一腔体；可移动横梁与槽体可滑动连接，可移动横梁沿槽体的两个相对的槽壁移动；阴极框架与可移动横梁可拆卸连接，阴极框架用于放置阴极板，且阴极框架具有暴露出阴极板的至少部分的窗口，使得阴极板与槽体中抛光液接触由此能够通过移动可移动横梁来实现电化学抛光过程中阴极板和阳极板之间的间距的自由调整，提高了抛光槽的通用性。进一步地，阴极框架上设有可拆卸的调节部件，能够实现电化学抛光过程中，调节暴露出阴极板的窗口的大小，进而调整影响抛光的重要参数，进一步提高抛光效果以及抛光槽的通用性。进一步提高抛光效果以及抛光槽的通用性。进一步提高抛光效果以及抛光槽的通用性。

Polishing groove and polishing equipment

【技术实现步骤摘要】
抛光槽及抛光设备


[0001]本技术涉及电化学抛光
，特别涉及一种抛光槽及抛光设备。

技术介绍

[0002]电化学抛光设备主要由三部分组成：抛光电源、抛光槽以及电极，并且根据具体的应用场合还可以增加加热、冷却等温控装置。
[0003]其中，抛光电源通常使用经过稳压整流后的直流电源，用以输出恒定的电压和电流。目前可以通过对抛光电源进行抛光时间、抛光输出电流等参数的设定，来实现抛光工艺的自动控制。
[0004]抛光槽则是用来放置电化学抛光液的，是电化学抛光工艺实施的主要平台。电极分为阴极、阳极，通常可以将需要进行抛光的工件作为阳极，而将其他不溶材料作为阴极，在工作时将阳极和阴极都浸入电化学抛光液中，接通直流电源，发生阳极溶解，进而实现了作为阳极的零部件的电解抛光。
[0005]然而，现有的电化学抛光设备，其抛光槽的通用性以及抛光效果均相对较差，无法满足更多产品的电化学抛光需求。

技术实现思路

[0006]本技术的一目的在于提供一种抛光槽及抛光设备，能够提高抛光槽的通用性以及抛光效果，满足更多产品的电化学抛光需求。
[0007]为实现上述目的，本技术提供一种抛光槽，其包括：
[0008]槽体，具有用于盛放抛光液的第一腔体；
[0009]可移动横梁，所述可移动横梁与所述槽体可滑动连接，所述可移动横梁沿所述槽体的两个相对的槽壁移动；
[0010]阴极框架，所述阴极框架与所述可移动横梁可拆卸连接，所述阴极框架用于放置阴极板，且所述阴极框架具有暴露出阴极板的至少部分的窗口，使得所述阴极板与所述槽体中抛光液接触。
[0011]可选地，所述槽体包括外壳和具有所述第一腔体的内胆，所述外壳和所述内胆固定连接且所述外壳和内胆之间形成第二腔体，所述外壳上开设有连通所述第二腔体的进水口和出水口。
[0012]可选地，所述外壳的内表面、所述外壳的外表面、所述内胆的外表面和所述内胆的内表面中的至少一个表面上覆盖有防腐涂层。
[0013]可选地，所述可移动横梁包括第一可移动横梁和第二可移动横梁，所述第一可移动横梁和所述第二可移动横梁垂直设置。
[0014]可选地，所述第一可移动横梁和/或所述第二可移动横梁所对应的槽壁的外表面设有刻度标尺。
[0015]可选地，所述抛光槽还包括调节部件，所述调节部件与所述阴极框架可拆卸连接，
且所述调节部件用于调节所述窗口的大小。
[0016]可选地，所述阴极框架具有凹槽，所述凹槽的侧壁开设有所述窗口，所述调节部件插设于所述凹槽内。
[0017]可选地，所述抛光槽还包括控制装置，所述控制装置与所述可移动横梁和/ 或所述调节部件电连接，所述控制装置用于控制所述可移动横梁和/或所述调节部件移动。
[0018]可选地，所述抛光槽还包括连接件，所述连接件的一端与所述阴极框架固定连接，所述连接件的另一端与所述可移动横梁可拆卸连接。
[0019]可选地，所述槽体的底壁上设有通孔，抛光液通过第一管道从所述通孔流入或流出；
[0020]所述槽体包括外壳和具有所述第一腔体的内胆，第一管道贯通所述外壳和所述内胆，所述第一管道的一端位于所述第一腔体内。
[0021]可选地，所述抛光槽还包括分水器，所述分水器设于所述第一管道上。
[0022]可选地，沿着所述第一腔体的中心轴线自下往上的方向，所述第一腔体的横截面的面积逐渐增大。
[0023]基于同一技术构思，本技术还提供一种抛光设备，其包括：
[0024]原液槽、废液槽、阴极板、阳极板以及上述抛光槽；所述抛光槽与所述原液槽通过第二管道连接，所述抛光槽与所述废液槽通过第三管道连接；所述阴极板和所述阳极板均置于所述抛光槽中。
[0025]可选地，所述抛光设备还包括第四管道，第四管道与第三管道连接，第四管道的另一端连接所述抛光槽，通过阀控制抛光液进入废液槽或者抛光槽。
[0026]与现有技术相比，本技术的技术方案至少具有以下有益效果之一：
[0027]1、可移动横梁与槽体滑动连接，能沿槽体的两个相对的槽壁移动，而且阴极框架能可拆卸地安装在该可移动横梁上，由此能够通过移动可移动横梁来实现电化学抛光过程中阴极板和阳极板之间的间距的自由调整，提高了抛光槽的通用性。
[0028]2、阴极框架上设有可拆卸的调节部件，能够实现电化学抛光过程中，调节窗口的大小，从而调节阴极板与抛光液接触的面积(即调节阴极板的暴露面积)，进而调整影响抛光的重要参数(即阴极板与阳极板的面积比)，进一步提高抛光效果以及抛光槽的通用性。由于实现了阴极板与阳极板之间的间距和以及两者之间的面积比可调，因此可以兼容不同形状、尺寸的工件(即阳极板)的抛光，提高了抛光电源和抛光槽的适用范围，无需因需要抛光的阳极板工件的不同而频繁更换抛光电源和抛光槽的问题。
[0029]3、槽体的底壁上开设有通孔，第一管道穿设于该通孔，且第一管道上设有分水器，通过分水器的设置，可以将抛光液输送回抛光槽或者原液槽将抛光液输送至抛光槽，从而高效控制抛光液的流向，进而能够实现抛光液的循环搅拌及抛光液的快速更换。
[0030]4、抛光槽的槽体包括外壳和内胆，两者固定连接，使得槽体具有双层结构，外壳和内胆之间形成第二腔体，又外壳上开设有进水口和出水口，从而能够通过在外壳和内胆之间的第二腔体中流通冷却剂来实现抛光液的快速降温，进而可以通过提高抛光液降温效率来提高抛光效果，同时抛光液的快速降温还能避免因为使用玻璃、石英等材质因冷热冲击或外部机械膨胀导致的抛光槽破裂的问题。
[0031]5、槽体的内表面和/或外表面覆盖有防腐涂层，可以避免槽体受到抛光液或者气
体等的腐蚀，同时避免引入不必要的阴极板材料。
[0032]6、可移动横梁和/或调节部件与控制装置电连接，能够通过控制装置来调节可移动横梁和/或调节部件的移动，实现自动调节。
附图说明
[0033]图1至图3是本技术具体实施例的抛光槽的结构示意图；
[0034]图4是本技术具体实施例的抛光槽的槽体的结构示意图；
[0035]图5和图6是本技术具体实施例的抛光槽中放置的两个尺寸的阴极框架的结构示意图；
[0036]图7和图8是本技术具体实施例的两个尺寸的阴极框架上安装悬挂臂的结构示意图；
[0037]图9是本技术具体实施例的阴极框架上安装悬挂臂和调节部件的结构示意图；
[0038]图10是本技术具体实施例的调节部件的结构示意图；
[0039]图11是本技术具体实施例的抛光设备的系统架构示意图。
[0040]其中，各图中的附图标记具体如下：
[0041]1‑
第一可移动横梁，1a、1b、2a、2b、2c
‑
凹槽，2
‑
第二可移动横梁，3、4
‑
刻度标尺，5
‑
进水口、6
‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抛光槽，其特征在于，包括：槽体，具有用于盛放抛光液的第一腔体；可移动横梁，所述可移动横梁与所述槽体可滑动连接，所述可移动横梁沿所述槽体的两个相对的槽壁移动；阴极框架，所述阴极框架与所述可移动横梁可拆卸连接，所述阴极框架用于放置阴极板，且所述阴极框架具有暴露出阴极板的至少部分的窗口，使得所述阴极板与所述槽体中抛光液接触。2.如权利要求1所述的抛光槽，其特征在于，所述槽体包括外壳和具有所述第一腔体的内胆，所述外壳和所述内胆固定连接且所述外壳和内胆之间形成第二腔体，所述外壳上开设有连通所述第二腔体的进水口和出水口。3.如权利要求2所述的抛光槽，其特征在于，所述外壳的内表面、所述外壳的外表面、所述内胆的外表面和所述内胆的内表面中的至少一个表面上覆盖有防腐涂层。4.如权利要求1
‑
3中任一项所述的抛光槽，其特征在于，所述可移动横梁包括第一可移动横梁和第二可移动横梁，所述第一可移动横梁和所述第二可移动横梁垂直设置。5.如权利要求4所述的抛光槽，其特征在于，所述第一可移动横梁和/或所述第二可移动横梁所对应的槽壁的外表面设有刻度标尺。6.如权利要求1
‑
3中任一项所述的抛光槽，其特征在于，还包括调节部件，所述调节部件与所述阴极框架可拆卸连接，且所述调节部件用于调节所述窗口的大小。7.如权利要求6所述的抛光槽，其特征在于，所述阴极框架具有凹槽，所述凹槽的侧壁开设有所述窗口，所述调...

【专利技术属性】
技术研发人员：李涛，奚利峰，陈春晖，卞其波，
申请(专利权)人：上海微创心脉医疗科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：