一种盘刹机构及晶圆载台制造技术

本发明专利技术提供了一种盘刹机构及晶圆载台，属于高精机台领域，盘刹机构包括交叠设置的底座刹车致动单元和载盘下接单元，底座刹车致动单元固定至底座上方，载盘下接单元从载盘的下方连接载盘；底座刹车致动单元用于致动吸合或分离载盘下接单元，以此实现载盘的刹车与否；晶圆载台包括载台主轴、载盘、载台底座、载台气浮地脚、载盘刹车组件、主轴弹性支撑组件和回正组件；盘刹机构设置在载台底座和载盘之间，用于载盘的被动刹车定位；通过本发明专利技术，对被动转动的载盘提供刹车定位功能，降低了成本，保证了载台的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。高精加工领域中推广应用。高精加工领域中推广应用。

【技术实现步骤摘要】
一种盘刹机构及晶圆载台


[0001]本专利技术属于高精机台领域，具体涉及一种盘刹机构及晶圆载台。

技术介绍

[0002]在检测、加工技术中，一般需要一个稳定的工作台，而工作台一般通过机架或地脚支撑于底面上，作为物料的承载件的载盘，在非主动驱动的情况下，需要采用辅助机构进行刹车定位。然而现有的载台中，未曾出现被动转动(无转动驱动轴)的情况，因此，面对被动转动的载盘，需要设置刹车定位的辅助机构。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种盘刹机构及晶圆载台，其能解决上述问题。
[0004]一种盘刹机构，所述盘刹机构包括交叠设置的底座刹车致动单元和载盘下接单元，所述底座刹车致动单元固定至底座上方，所述载盘下接单元从载盘的下方连接载盘；所述底座刹车致动单元用于致动吸合或分离所述载盘下接单元，以此实现载盘的刹车与否。
[0005]进一步的，所述底座刹车致动单元包括盘刹底座、盘刹簧片、簧片夹和盘刹致动件；其中，所述盘刹底座呈中间凹两端上凸状，盘刹簧片的外端固定至所述盘刹底座的两端，盘刹簧片通过所述簧片夹与所述盘刹致动件连接，以此将所述盘刹致动件弹性支撑在盘刹底座中部上方。
[0006]进一步的，所述载盘下接单元包括刹车片和刹车片转接件；所述刹车片的两端通过刹车片转接件与载盘固定连接。
[0007]进一步的，所述底座刹车致动单元还包括两个刹车限位块，在所述刹车限位块的一端设置限位凸缘，在所述簧片夹的侧面开设限位槽，刹车限位块的底面固定至盘刹底座的两端内侧，并使得限位凸缘嵌合至所述限位槽中。
[0008]进一步的，所述刹车片的板件侧边呈与载盘适配的弧形边。
[0009]本专利技术还提供了一种晶圆载台，晶圆载台包括载台主轴、载盘、载台底座、载台气浮地脚、载盘刹车组件、主轴弹性支撑组件和回正组件；其中，所述载台主轴采用升降轴；所述载台主轴竖直的设置在所述载台底座上开设的承载孔中；所述载台底座通过多个所述载台气浮地脚被浮动或滑动地支撑在机架上；所述载盘的底面中部固定至所述载台主轴的顶面，通过所述载台主轴驱动所述载盘的升降运动；多个所述载盘刹车组件布置在所述载台底座和载盘之间，用于载盘的制动刹车；所述主轴弹性支撑组件用于将载台主轴与所述载台底座弹性连接，以增强载台主轴的稳定性；所述载盘刹车组件采用前述的盘刹机构，所述盘刹机构设置在载台底座和所述载盘之间，用于载盘的被动刹车定位。
[0010]相比现有技术，本专利技术的有益效果在于：通过本专利技术的盘刹机构和晶圆载台，可以悬浮的柔性支撑晶圆、硅片等待检测或待加工件，并对被动转动的载盘提供刹车定位功能，降低了成本，保证了载台的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领
域中推广应用。
附图说明
[0011]图1为盘刹机构的装配示意图；
[0012]图2为图1的分解示意图；
[0013]图3为另一实施例的交叠方式示意图；
[0014]图4为晶圆载台一个实施例的示意图；
[0015]图5为晶圆载台另一实施例的示意图；
[0016]图中：
[0017]100、盘刹机构；
[0018]1、盘刹底座；
[0019]2、盘刹簧片；
[0020]3、簧片夹；31、限位槽；
[0021]4、盘刹致动件；41、气嘴；
[0022]5、刹车片；
[0023]6、刹车片转接件；
[0024]7、刹车限位块；71、限位凸缘；
[0025]10000、晶圆载台；
[0026]1000、载台主轴；
[0027]2000、载盘；
[0028]3000、载台底座；
[0029]4000、载台气浮地脚；
[0030]5000、载盘刹车组件；
[0031]6000、主轴弹性支撑组件；
[0032]7000、回正组件；
[0033]8000、载台外端组件；
[0034]9000、载台闭合板。
具体实施方式
[0035]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0036]盘刹机构
[0037]一种盘刹机构，参见图1和图3，盘刹机构100包括交叠设置的底座刹车致动单元和载盘下接单元，所述底座刹车致动单元固定至底座上方，所述载盘下接单元从载盘的下方连接载盘；所述底座刹车致动单元用于致动吸合或分离所述载盘下接单元，以此实现载盘的刹车与否。
[0038]其中，底座刹车致动单元包括盘刹底座1、盘刹簧片2、簧片夹3和盘刹致动件4。具
体连接关系如下。
[0039]盘刹底座1呈中间凹两端上凸状，盘刹簧片2的外端固定至所述盘刹底座1的两端，盘刹簧片2通过所述簧片夹3与所述盘刹致动件4连接，以此将所述盘刹致动件4弹性支撑在盘刹底座1中部上方。
[0040]其中，所述载盘下接单元包括刹车片5和刹车片转接件6；所述刹车片5的两端通过刹车片转接件6与载盘固定连接。
[0041]其中，所述盘刹底座1呈︺形，所述刹车片5和两端的刹车片转接件6构成︹形。
[0042]具体示例中，盘刹致动件4采用气动用刹车气浮垫，并通过气嘴41与真空源组件连接。
[0043]进一步的，底座刹车致动单元还包括两个刹车限位块7，在所述刹车限位块7的一端设置限位凸缘71，在所述簧片夹3的侧面开设限位槽31，刹车限位块7的底面固定至盘刹底座1的两端内侧，并使得限位凸缘71嵌合至所述限位槽31中。
[0044]进一步的，所述刹车片5的板件侧边呈与载盘适配的弧形边。
[0045]底座刹车致动单元和载盘下接单元的交叠方式
[0046]方式一：参见图1和图3，底座刹车致动单元包括两个盘刹簧片2、两个簧片夹3和一个盘刹致动件4，两个盘刹簧片2的外端固定至所述盘刹底座1的两端，两个盘刹簧片2的内端上表面通过所述簧片夹3与所述盘刹致动件4连接，所述刹车片5穿过所述盘刹致动件4底面与盘刹底座1中部顶面之间，形成盘刹致动件4从下方吸合刹车的空间布置。
[0047]方式二：参见图2，底座刹车致动单元包括一个盘刹簧片2、两个簧片夹3和一个盘刹致动件4；所述盘刹致动件4的顶面两端通过两个所述簧片夹3与所述盘刹簧片2的中部底面固定连接；所述刹车片5穿过所述盘刹簧片2中部下表面和所述盘刹致动件4的顶面之间，形成盘刹致动件4从上方吸合刹车的空间布置。
[0048]晶圆载台
[0049]参见图4和图5，晶圆载台10000包括载台主轴1000、载盘2000、载台底座3000、载台气浮地脚4000、载盘刹车组件5000、主轴弹性支撑组件6000和回正组件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种盘刹机构，其特征在于：所述盘刹机构(100)包括交叠设置的底座刹车致动单元和载盘下接单元，所述底座刹车致动单元固定至底座上方，所述载盘下接单元从载盘的下方连接载盘；所述底座刹车致动单元用于致动吸合或分离所述载盘下接单元，以此实现载盘的刹车与否。2.根据权利要求1所述的盘刹机构，其特征在于：所述底座刹车致动单元包括盘刹底座(1)、盘刹簧片(2)、簧片夹(3)和盘刹致动件(4)；其中，所述盘刹底座(1)呈中间凹两端上凸状，盘刹簧片(2)的外端固定至所述盘刹底座(1)的两端，盘刹簧片(2)通过所述簧片夹(3)与所述盘刹致动件(4)连接，以此将所述盘刹致动件(4)弹性支撑在盘刹底座(1)中部上方。3.根据权利要求2所述的盘刹机构，其特征在于：所述载盘下接单元包括刹车片(5)和刹车片转接件(6)；所述刹车片(5)的两端通过刹车片转接件(6)与载盘固定连接。4.根据权利要求3所述的盘刹机构，其特征在于：所述底座刹车致动单元包括两个盘刹簧片(2)、两个簧片夹(3)和一个盘刹致动件(4)，两个盘刹簧片(2)的外端固定至所述盘刹底座(1)的两端，两个盘刹簧片(2)的内端上表面通过所述簧片夹(3)与所述盘刹致动件(4)连接，所述刹车片(5)穿过所述盘刹致动件(4)底面与盘刹底座(1)中部顶面之间，形成盘刹致动件(4)从下方吸合刹车的空间布置。5.根据权利要求3所述的盘刹机构，其特征在于：所述底座刹车致动单元包括一个盘刹簧片(2)、两个簧片夹(3)和一个盘刹致动件(4)；所述盘刹致动件(4)的顶面两端通过两个所述簧片夹(3)与所述盘刹簧片(2)的中部底面固定连接；所述刹车片(5)穿过所述盘刹簧片(2)中部下表面和所述盘刹致动件(4)的顶面之间，形成盘刹致动件(4)从上方吸合刹车的空间布置。6.根据权利要求4或5所述的盘刹机构，其特征在于：所述盘刹底座(1)呈︺形，所述刹车片(5)和两端的刹车...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：苏州矽行半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：