一种盘刹机构及晶圆载台制造技术

本发明专利技术提供了一种盘刹机构及晶圆载台，属于高精机台领域，盘刹机构包括交叠设置的底座刹车致动单元和载盘下接单元，底座刹车致动单元固定至底座上方，载盘下接单元从载盘的下方连接载盘；底座刹车致动单元用于致动吸合或分离载盘下接单元，以此实现载盘的刹车与否；晶圆载台包括载台主轴、载盘、载台底座、载台气浮地脚、载盘刹车组件、主轴弹性支撑组件和回正组件；盘刹机构设置在载台底座和载盘之间，用于载盘的被动刹车定位；通过本发明专利技术，对被动转动的载盘提供刹车定位功能，降低了成本，保证了载台的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。高精加工领域中推广应用。高精加工领域中推广应用。

【技术实现步骤摘要】
一种盘刹机构及晶圆载台


[0001]本专利技术属于高精机台领域，具体涉及一种盘刹机构及晶圆载台。

技术介绍

[0002]在检测、加工技术中，一般需要一个稳定的工作台，而工作台一般通过机架或地脚支撑于底面上，作为物料的承载件的载盘，在非主动驱动的情况下，需要采用辅助机构进行刹车定位。然而现有的载台中，未曾出现被动转动(无转动驱动轴)的情况，因此，面对被动转动的载盘，需要设置刹车定位的辅助机构。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种盘刹机构及晶圆载台，其能解决上述问题。
[0004]一种盘刹机构，所述盘刹机构包括交叠设置的底座刹车致动单元和载盘下接单元，所述底座刹车致动单元固定至底座上方，所述载盘下接单元从载盘的下方连接载盘；所述底座刹车致动单元用于致动吸合或分离所述载盘下接单元，以此实现载盘的刹车与否。
[0005]进一步的，所述底座刹车致动单元包括盘刹底座、盘刹簧片、簧片夹和盘刹致动件；其中，所述盘刹底座呈中间凹两端上凸状，盘刹簧片的外端固定至所述盘刹底座的两端，盘刹簧片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种盘刹机构，其特征在于：所述盘刹机构(100)包括交叠设置的底座刹车致动单元和载盘下接单元，所述底座刹车致动单元固定至底座上方，所述载盘下接单元从载盘的下方连接载盘；所述底座刹车致动单元用于致动吸合或分离所述载盘下接单元，以此实现载盘的刹车与否。2.根据权利要求1所述的盘刹机构，其特征在于：所述底座刹车致动单元包括盘刹底座(1)、盘刹簧片(2)、簧片夹(3)和盘刹致动件(4)；其中，所述盘刹底座(1)呈中间凹两端上凸状，盘刹簧片(2)的外端固定至所述盘刹底座(1)的两端，盘刹簧片(2)通过所述簧片夹(3)与所述盘刹致动件(4)连接，以此将所述盘刹致动件(4)弹性支撑在盘刹底座(1)中部上方。3.根据权利要求2所述的盘刹机构，其特征在于：所述载盘下接单元包括刹车片(5)和刹车片转接件(6)；所述刹车片(5)的两端通过刹车片转接件(6)与载盘固定连接。4.根据权利要求3所述的盘刹机构，其特征在于：所述底座刹车致动单元包括两个盘刹簧片(2)、两个簧片夹(3)和一个盘刹致动件(4)，两个盘刹簧片(2)的外端固定至所述盘刹底座(1)的两端，两个盘刹簧片(2)的内端上表面通过所述簧片夹(3)与所述盘刹致动件(4)连接，所述刹车片(5)穿过所述盘刹致动件(4)底面与盘刹底座(1)中部顶面之间，形成盘刹致动件(4)从下方吸合刹车的空间布置。5.根据权利要求3所述的盘刹机构，其特征在于：所述底座刹车致动单元包括一个盘刹簧片(2)、两个簧片夹(3)和一个盘刹致动件(4)；所述盘刹致动件(4)的顶面两端通过两个所述簧片夹(3)与所述盘刹簧片(2)的中部底面固定连接；所述刹车片(5)穿过所述盘刹簧片(2)中部下表面和所述盘刹致动件(4)的顶面之间，形成盘刹致动件(4)从上方吸合刹车的空间布置。6.根据权利要求4或5所述的盘刹机构，其特征在于：所述盘刹底座(1)呈︺形，所述刹车片(5)和两端的刹车...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：苏州矽行半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：