本发明提供了一种基于过压及洁净控制的晶圆检测系统，属于半导体检测的环境控制领域，晶圆检测系统包括EFEM装置、检测装置和过渡腔；所述过渡腔设置在EFEM装置和检测装置之间；其中，在EFEM装置处设置前端风机过滤集成单元和离子棒，形成EF...

本发明涉及一种基于衍射微透镜阵列的晶圆明场光瞳调制方法，包括：收集缺陷信号，收集不同种类的弱关键缺陷的标准图影像和测试图影像，对标准图和测试图进行差分获得缺陷信号；计算光瞳函数，计算增强不同缺陷信号所需要的光瞳函数；记录微透镜阵列的排布...

本发明提供了一种多自由度可调的晶圆聚焦系统，属于晶圆检测中的聚焦领域，晶圆聚焦系统包括X粗动模块、Y粗动模块、Stewart平台、Z向粗动模块和镜头；X粗动模块和Y粗动模块用于实现在X向和Y向的移动粗调；Stewart平台用于X向、Y向...

本发明提供了一种减振机构和晶圆检测设备，属于半导体检测用精密驱控的减振领域，减振机构包括振动组件和阻尼层，所述阻尼层设置在所述振动组件上；晶圆检测设备的驱动装置中采用前述的减振机构。本申请通过在振动组件处设置阻尼层，将振动的能量耗散掉，...

本发明提供了一种调谐质量阻尼器和晶圆检测设备，属于精密光机电系统的减振领域，调谐质量阻尼器包括底座、滑块、板簧、质量块和顶板盖；滑块的底部滑动的设置在底座上，滑块的顶部与板簧位置可调的连接；板簧的一端与质量块固定连接；检测设备采用了基于...

本发明提供了一种镜头阵列和晶圆检测设备，属于半导体检测领域，镜头阵列包括光轴共面的多个镜头，用于实现等效的大数值孔径，每个镜头采用空间上相互独立的相干/非相干光照明；每个镜头对应的照明光斑独立调制以实现相同照明条件或不同照明条件；镜头阵...

本发明涉及一种逻辑芯片掩膜版缺陷检测方法，包括：扫描参照晶圆的影像，作为基准参照图像Ir；扫描待测晶圆的影像，作为待测图像It；对基准参照图像Ir和待测图像It进行配准，消除两次图像空间尺度的位移和扭曲噪声，消除两次图像的图像明暗差异噪...

本发明提供了一种晶圆检测用机柜系统，属于半导体设备用服务器环控领域，机柜系统包括服务器机柜、机柜进风口、排风及监测通道和厂务排风管道；在机柜进风口上设置温湿度传感器、防水顶盖和防尘网罩；在排风及监测通道处设置温度传感器和风速传感器。通过...

本发明提供了一种半导体设备用主动减振器及主动减振方法，属于精密驱控的减振领域，主动减振器包括传感器、控制器、驱动器和可调阻尼减振单元；可调阻尼减振单元包括可调板簧组、可调阻尼组、驱动线圈和永磁铁，其中，可调板簧组和可调阻尼组根据目标频率...

本发明提供了一种紫外成像系统像质检测中点扩散函数的测量方法，属于晶圆检测领域，测量方法包括搭建显微成像系统、构建平面基底上单元纳米结构的暗场散射场分布的数值计算模型、显微成像系统中点扩散函数测量精度和可靠性判断和确定显微成像系统的点扩散...

本发明提供了一种照明系统和检测设备，属于宽光谱照明和半导体检测领域，照明系统包括光源、抛物面反射镜、分束光栅、波长选择器、聚焦镜、合束光栅和宽带反射镜，或者双通道照明时设置有分束镜，通过分束镜的两束出射光通过第一反射镜和第二反射镜按所需...

本发明提供了一种半导体检测用多光源照明成像系统，属于半导体光学检测领域，系统包括多个光源、多个耦合组件、多个方棒、照明组件、物镜、像镜和多个成像传感器；其中，由多个光源、多个耦合组件构成耦合光路，从方棒经照明组件和物镜组成照明光路，从物...

本发明提供了一种基于折返式物镜的检测设备，属于半导体检测领域，检测设备包括成像单元、变倍镜组、半透半反镜、明场光入射镜筒组、折返式物镜组、补偿镜和载台，折返式物镜组包括开孔式、增透膜加补偿镜两种模式，并在暗场光的出射路径设置功率计，本申...

本发明提供了一种激光支持等离子体的宽光谱光源系统，属于半导体量检测领域，涉及等离子体光源技术，宽光谱光源系统包括位于光源灯壳内的高压气体灯、带水冷机构的椭球镜、二向色镜、激光器、激光镜组、冷水机、压缩气源、惰性气体源；在所述椭球镜内表面...

本发明提供了一种物镜切换装置，属于半导体晶圆的光学量测领域，物镜切换装置包括驱动模组、物镜移动件、多个不同参数的物镜、物镜锁定环和平衡导轨模块；多个物镜通过物镜锁定环连接至物镜移动件上，物镜移动件设置在驱动模组上；多个物镜在驱动模组的驱...

本实用新型公开了一种双偏振照明模组，属于半导体光学成像领域，双偏振照明模组包括依次布置的光源、准直透镜、双偏振单元和光瞳组件；其中，双偏振单元用于将光源经准直透镜的出射光偏振调节为两组垂直的偏振光；所述光瞳组件用于将从双偏振单元出射的两...

本发明公开了一种高NA大视场多接口显微物镜及晶圆缺陷检测系统，属于显微成像领域，高NA大视场多接口显微物镜包括集成壳体和内置于集成壳体末端的物镜本体；在集成壳体上设置照明光路接口、成像光路接口、自动对焦出入光路接口和照明能量检测光路接口...

本发明公开了一种有图像晶圆的多模态检测方法，属于半导体检测领域，多模态检测方法包括多模态晶圆扫描、最优模态选取、不同模态图像的配准和多模态融合检测缺陷判定；本申请可以根据不同类型的缺陷选择最合适的扫描方式，提高检测的灵敏度和鲁棒性，检测...

本实用新型提供了一种载台系统，属于高精机台领域，载台系统包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、X轴驱动组、Y轴驱动组和消反力组件；柔性运动台被柔性支撑在机架和两个侧边梁之间；通过本申请的柔性运动台及载台系统，能够精确的柔性...

本实用新型提供一种具有高精度的用于半导体表面检测的运动装置，属于晶圆检测领域，该运动装置包括基台、第一运动模组、第二运动模组、第三运动模组、第四运动模组和载台。载台表面用于放置晶圆，所述载台与所述旋转件连接，所述晶圆在所述第一驱动件、第...