【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体晶圆的光学量测领域，具体涉及一种物镜切换装置。
技术介绍
1、在晶圆量测过程中，最临近待测晶圆的是物镜，这也就直接关系到成像质量。然而，对于不同场景不同需求，如倍率、波段、视野等的不同需求，传统的光学设计方案中，单品物镜不能满足上述需求。因此，在半导体晶圆的纳米级明场检测(bfi-bright fieldinspection)中，面对不同需求，需要开发一种新的物镜方案，以实现多场景的应用。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种物镜切换装置，其能解决上述问题。
2、设计原理：采用多个不同需求参数的物镜，通过切换机构实现对物镜的切换，以此满足不同物镜的需求。具体方案如下。
3、一种物镜切换装置，装置包括驱动模组、物镜移动件、多个不同参数的物镜和多个物镜锁定环；多个所述物镜通过物镜锁定环连接至所述物镜移动件上，所述物镜移动件设置在所述驱动模组上；多个所述物镜在驱动模组的驱动下随物镜移动件移动实现切换。
4、进一步的，在驱动模组处还设置位移监测单元和限位阻尼单元；其中，所述位移监测单元固定设置在所述驱动模组活动部外侧，用于实时监测活动部的位移；所述限位阻尼单元设置在驱动模组的活动部并随之移动，用于对驱动模组的活动部的端部处的阻尼止挡限位。
5、进一步的，所述物镜移动件包括切换转接板和物镜安装板，所述物镜安装板上开设多个直线布置的物镜安装孔，多个不同参数的物镜通过所述物镜锁定环安装至所述物镜安装孔中
6、进一步的，物镜切换装置还包括平衡导轨模块，所述平衡导轨模块包括辅助滑轨、辅助滑块和平衡转接件，所述辅助滑轨与多个物镜的直线布置方向平行，所述辅助滑块通过平衡转接件连接至所述物镜移动件上，以此增强装置的稳定性。
7、相比现有技术，本技术的有益效果在于：通过本申请的物镜切换装置，可以在不增强单个物镜参数或使用范围的情况下，通过切换不同参数的物镜实现晶圆检测的物镜需求范围，降低了成本，提高了两侧范围，便于在半导体晶圆光学检测领域中推广应用。
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1.一种物镜切换装置，其特征在于：装置包括驱动模组、物镜移动件(10)、多个不同参数的物镜(20)和多个物镜锁定环(30)；多个所述物镜(20)通过物镜锁定环(30)连接至所述物镜移动件(10)上，所述物镜移动件(10)设置在所述驱动模组上；多个所述物镜(20)在驱动模组的驱动下随物镜移动件(10)移动实现切换。
2.根据权利要求1所述的物镜切换装置，其特征在于：所述驱动模组采用直线电机或电缸机构，所述物镜移动件(10)安装至直线电机或电缸机构的活动部。
3.根据权利要求1或2所述的物镜切换装置，其特征在于：在驱动模组处还设置位移监测单元(60)和限位阻尼单元(70)；其中，所述位移监测单元(60)固定设置在所述驱动模组活动部外侧，用于实时监测活动部的位移；所述限位阻尼单元(70)设置在驱动模组的活动部并随之移动，用于对驱动模组的活动部的端部处的阻尼止挡限位。
4.根据权利要求3所述的物镜切换装置，其特征在于：
5.根据权利要求3所述的物镜切换装置，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的物镜切换装置，其特征在于：
【技术特征摘要】
1.一种物镜切换装置，其特征在于：装置包括驱动模组、物镜移动件(10)、多个不同参数的物镜(20)和多个物镜锁定环(30)；多个所述物镜(20)通过物镜锁定环(30)连接至所述物镜移动件(10)上，所述物镜移动件(10)设置在所述驱动模组上；多个所述物镜(20)在驱动模组的驱动下随物镜移动件(10)移动实现切换。
2.根据权利要求1所述的物镜切换装置，其特征在于：所述驱动模组采用直线电机或电缸机构，所述物镜移动件(10)安装至直线电机或电缸机构的活动部。
3.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡雄飞，孙川，姜玉涛，朱怡，
申请(专利权)人：苏州矽行半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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