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本发明提供了一种盘刹机构及晶圆载台，属于高精机台领域，盘刹机构包括交叠设置的底座刹车致动单元和载盘下接单元，底座刹车致动单元固定至底座上方，载盘下接单元从载盘的下方连接载盘；底座刹车致动单元用于致动吸合或分离载盘下接单元，以此实现载盘的刹车...
该专利属于苏州矽行半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州矽行半导体技术有限公司授权不得商用。

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