传感器、测量水平度的方法及非暂时性计算机可读介质技术

公开一种基板式传感器、通过使用该基板式传感器来测量水平度的方法以及非暂时性计算机可读介质。在实施例中，该方法可包括步骤(1)将基板式传感器以第一角度定位于支承构件中，步骤(2)将由步骤(1)中一个或多个传感器收集的数据作为第一数据接收，步骤(3)将基板式传感器以不同于第一角度的第二角度定位于支承构件中，步骤(4)将由步骤(3)中一个或多个传感器收集的数据作为第二数据接收，及步骤(5)通过比较第一数据与第二数据判定支承构件是否水平。水平。水平。

【技术实现步骤摘要】
传感器、测量水平度的方法及非暂时性计算机可读介质
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2020年12月31日提交韩国专利局的、申请号为10
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2020
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0189440的韩国专利申请的优先权和权益，其全部内容通过引用结合在本申请中。


[0003]本文所述专利技术概念的实施例是关于用于测量设置于伴随温度改变的气氛中的基板支承构件的水平度的基板式传感器以及通过使用基板式传感器测量水平度的方法。

技术介绍

[0004]通常，半导体装置是通过使用诸如晶圆的基板来制造。具体而言，半导体装置是通过执行沉积工艺、光学光刻工艺、蚀刻工艺、及类似者来制造，以在基板的上表面上形成精细电路图案。
[0005]由于在其上形成电路图案的基板上表面在工艺执行期间可能受到污染，故可执行清洗工艺以移除异物。
[0006]近年来，超临界流体已用于清洗基板或显影基板的工艺中。根据实例，可通过使用异丙醇(下文称为IPA)清洗基板的上表面、并通过供应超临界状态的二氧化碳(CO2)至基板的上表面移除本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板式传感器，设置于伴随温度改变的气氛中，以测量支承基板的支承构件的水平度，所述基板式传感器包括：具有所述基板的形状的基座；设置于所述基座中的一个或多个传感器，所述一个或多个传感器包括3个以上轴加速度传感器或6个以上轴惯性测量单元IMU；接收器，所述接收器经组态以接收由一个或多个所述传感器收集的数据；及电源，所述电源经组态以将电力提供至一个或多个所述传感器及所述接收器。2.根据权利要求1所述的基板式传感器，其中，所述基座具有与所述基板的尺寸实质上相同的实体尺寸。3.根据权利要求1所述的基板式传感器，其中，所述基板式传感器设置有多个传感器，且第二传感器相对于所述基座的中心设置于与第一传感器相对180度的位置处。4.根据权利要求1所述的基板式传感器，所述基板式传感器进一步包含：发射器，所述发射器经组态以将由所述接收器接收的所述数据发送至外部。5.根据权利要求1所述的基板式传感器，其中，所述支承构件包括将所述基板与所述支承构件的平面以特定间隔间隔开的多个支承销，且其中一个或多个所述传感器位于对应于所述支承销中的任意一个或多个的位置处。6.根据权利要求1所述的基板式传感器，其中，一个或多个所述传感器产生根据暴露温度而改变的特有误差。7.一种通过使用根据权利要求1所述的基板式传感器测量水平度的方法，所述方法包含以下步骤：步骤(1)将所述基板式传感器以第一角度定位于所述支承构件中；步骤(2)将由所述步骤(1)中的一个或多个所述传感器收集的数据作为第一数据接收；步骤(3)以不同于所述第一角度的第二角度将所述基板式传感器定位于所述支承构件中；步骤(4)将由所述步骤(3)中的一个或多个所述传感器收集的数据作为第二数据接收；及步骤(5)通过比较所述第一数据与所述第二数据来判定所述支承构件是否水平。8.根据权利要求7所述的方法，其中，一个或多个所述传感器为6个以上轴惯性测量单元IMU，其中所述第一数据及所述第二数据分别包括滚转(位准X)及俯仰(位准Y)的元素，其中所述第一数据与所述第二数据的所述比较是比较所述第一数据的所述元素与所述第二数据的所述元素，其中当所述第一数据的所述元素及所述第二数据的所述元素包括于同一类别中时，判定所述支承构件是水平的，且其中当所述第一数据的所述元素及所述第二数据的所述元素不包括于同一类别中时，判定所述支承构件是倾斜的。9.根据权利要求7所述的方法，其中，一个或多个所述传感器为6个以上轴惯性测量单元IMU，其中所述第一数据及所述第二数据分别包括滚转(位准X)及俯仰(位准Y)的元素，
其中所述第一数据包括(位准X1，位准Y1)的元素，其中所述第二数据包括(位准X2，位准Y2)的元素，其中一个或多个所述传感器产生根据暴露温度而改变的特有误差，其中由所述基板式传感器测量的所述支承构件的倾斜通过存储由处理器执行的程序代码的非暂时性计算机可读介质计算为包括(位准Xa，位准Ya)的元素，其中当所述第一角度为0度且所述第二角度为180度时，位准Xa为(位准X1
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位准X2)/2，且位准Ya为(位准Y1
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位准Y2)/2。10.根据权利要求7所述的方法，其中，所述基板式传感器经组态使得：设置多个传感器，且一个传感器相对于基座中心设置于与另一传感器相对180度的位置处，所述第一数据及所述第二数据分别由所述一个传感器及所述另一传感器接收，通过比较自所述一个传感器接收的所述第一数据与所述第二数据，判定所述支承构件是否水平，且通过比较自所述另一传感器接收的所述第一数据与所述第二数据，验证自所述一个传感器得出的所述判定的有效性。11.根据权利要求7所述的方法，其中，将所述支承构件设置至基板处理设备的高压容器，所述基板处理设备通过使用超临界流体来处理基板，其中所述支承构件包括以特定间隔将所述基板与所述支承构件的平面间隔开的多个支承销，且其中一个或多个所述传感器位于对应于所述第一角度及所述第二角度处的所述支承销中之一或多者的位置处。12.根据权利要求11所述的方法，其中，所述支承构件固定至所述高压容器的上部部分，其中多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔永燮，徐溶晙，孙相睍，李相旼，禹钟贤，金焕彬，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：