一种绝压式压阻传感系统及其自测试方法技术方案

本发明专利技术涉及压阻传感器技术领域，具体涉及一种绝压式压阻传感系统及其自测试方法。该传感系统中，压阻传感模组包括：叠放设置的保护层、薄膜层、硅衬底层和玻璃层；硅衬底层中设置有空腔结构；薄膜层靠近保护层的一侧设有压阻条；保护层远离薄膜层的一侧设有金属电极；金属电极与压阻条电连接；金属板设置在保护层远离薄膜层的一侧；交变磁场发生装置设置在玻璃层远离硅衬底层的一侧；信号处理电路的信号输入端连接压阻传感模组的信号输出端；信号处理电路分别供电连接交变磁场发生装置和压阻传感模组。本发明专利技术提供了绝压式压阻传感系统能的压力自测试功能，省去了搭建片外测试设备、反复拆卸测试的过程，提高了绝压式压阻传感系统的检测效率。的检测效率。的检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种绝压式压阻传感系统及其自测试方法


[0001]本专利技术涉及压阻传感器
，具体涉及一种绝压式压阻传感系统及其自测试方法。

技术介绍

[0002]MEMS(Micro Electro Mechanical System，微机电系统)技术是在微电子制造工艺基础上吸收融合其它加工工艺技术逐渐发展起来的，目前MEMS技术频繁应用于要求小尺寸、高精度、高可靠性及低功耗的高科技领域中。
[0003]绝压式压阻传感系统属于一种压阻传感器，可以利用半导体材料的压阻效应来实现对外界的气压、应变等压力的测量，将外界的压力值转化为电信号输出，在水利水电、铁路交通、航空航天、石油化工、电力、船舶工业等领域控制系统中得到了广泛的应用。
[0004]绝压式压阻传感系统需要在投入使用后，定时检测，现有通常采用高精度的片外测试设备对绝压式压阻传感系统进行复杂的物理激励，但目前片外测试设备通常是大型昂贵的测试设备，这就导致整个测试过程成本较高，费时费力，效率不高。
[0005]因此，如何提高绝压式压阻传感系统的检测效率，是目前亟需解决的技术问题本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种绝压式压阻传感系统，其特征在于，包括：金属板、压阻传感模组、交变磁场发生装置和信号处理电路；所述压阻传感模组包括：叠放设置的保护层、薄膜层、硅衬底层和玻璃层；所述硅衬底层中设置有空腔结构；所述薄膜层靠近所述保护层的一侧设有压阻条；所述保护层远离所述薄膜层的一侧设有金属电极；所述金属电极与所述压阻条电连接；所述金属板设置在所述保护层远离所述薄膜层的一侧；所述交变磁场发生装置设置在所述玻璃层远离所述硅衬底层的一侧；所述信号处理电路的信号输入端连接所述压阻传感模组的信号输出端；所述信号处理电路分别供电连接所述交变磁场发生装置和所述压阻传感模组。2.根据权利要求1所述的绝压式压阻传感系统，其特征在于，所述金属板为铝制金属盘、金制金属盘或银制金属盘。3.根据权利要求2所述的绝压式压阻传感系统，其特征在于，所述金属板为等厚盘状结构。4.根据权利要求1所述的绝压式压阻传感系统，其特征在于，所述保护层为氮化硅层或二氧化硅层。5.根据权利要求1所述的绝压式压阻传感系统，其特征在于，所述交变磁场发生装置包括固定架和螺线圈；所述螺线圈设置在所述固定架中。6.根据权利要求5所述的绝压式压阻传感系统，其特征在于，所述螺线圈位于所述玻璃层远离所述硅衬底层的一侧的中心位置。7.根据权利要求6所述的绝压式压阻传感系统，其特征在于，所述螺线圈为铜导线螺线圈。8.根据权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱曼红，李佳，王玮冰，陈大鹏，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：