压力传感阵列及其制备方法技术

本发明专利技术涉及传感技术领域，尤其涉及一种压力传感阵列及其制备方法。所述压力传感阵列包括：传感区，包括薄膜晶体管阵列、位于所述薄膜晶体管阵列表面的压敏薄膜、位于所述压敏薄膜表面的顶电极、以及位于所述薄膜晶体管阵列中间区域的行驱动信号电路，所述薄膜晶体管阵列包括呈阵列排布的多个薄膜晶体管，所述行驱动信号电路用于向所述薄膜晶体管传输行驱动信号；引脚区，位于所述传感区的外部，所述行驱动信号电路自所述薄膜晶体管阵列的中间区域引出至所述引脚区。本发明专利技术提供的压力传感阵列实现按需裁剪的个性化应用，并提高传感阵列的面积利用率和抗干扰性。积利用率和抗干扰性。积利用率和抗干扰性。

【技术实现步骤摘要】
压力传感阵列及其制备方法


[0001]本专利技术涉及传感
，尤其涉及一种压力传感阵列及其制备方法。

技术介绍

[0002]今年来，随着可穿戴产品的迅速发展，柔性传感器组件成为研究人员探索的热点课题之一。其中，柔性压力传感器尤其受到广泛的关注，在包括人工电子皮肤、柔性触屏、智能机器人以及医疗健康领域具有非常广阔的市场前景。
[0003]目前，对柔性压力传感器的研究可基于多种工作原理，主要包括：电容式、电阻式、压电式和薄膜晶体管式。其中，薄膜晶体管技术应用于传感器最大的优势是，能极大的提高传感器的探测密度，即单位面积下能获取到的探测数据点。单位面积获取的数据点提高，能大大提高传感阵列的分辨率。传感器与薄膜晶体管结合的领域包括但不限于：光传感阵列、压力传感阵列、生物传感阵列等。其中，将压力传感器件与薄膜晶体管结合，可以做成大面积高密度柔性压力探测器。这种压力探测器有非常广泛的应用，如运动监测、辅佐训练、医疗器械等。随着医疗技术的发展，将压力探测器置于骨关节处，监控关节处的压力，可以为医生提供关节处压力的数据，便于医生判断手术的效果。考虑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压力传感阵列，其特征在于，包括：传感区，包括薄膜晶体管阵列、位于所述薄膜晶体管阵列表面的压敏薄膜、位于所述压敏薄膜表面的顶电极、以及位于所述薄膜晶体管阵列中间区域的行驱动信号电路，所述薄膜晶体管阵列包括呈阵列排布的多个薄膜晶体管，所述行驱动信号电路用于向所述薄膜晶体管传输行驱动信号；引脚区，位于所述传感区的外部，所述行驱动信号电路自所述薄膜晶体管阵列的中间区域引出至所述引脚区。2.根据权利要求1所述的压力传感阵列，其特征在于，所述行驱动信号电路为行驱动信号线；或者，所述行驱动信号电路为阵列基板行驱动电路，所述阵列基板行驱动电路位于相邻的两个所述薄膜晶体管之间的空隙中。3.根据权利要求1所述的压力传感阵列，其特征在于，所述压敏薄膜为电阻式压敏薄膜或者电容式压敏薄膜。4.根据权利要求1所述的压力传感阵列，其特征在于，所述薄膜晶体管包括衬底、位于所述衬底上的底栅电极、覆盖所述底栅电极和所述衬底的绝缘层、位于所述绝缘层表面的源电极和漏电极、覆盖所述源电极和部分所述漏电极的半导体层、覆盖所述绝缘层和所述半导体层的钝化层、以及位于所述钝化层表面的上电极；所述压敏薄膜为电阻式压敏薄膜，所述上电极通过贯穿所述钝化层的连接结构与所述漏电极电连接。5.根据权利要求4所述的压力传感阵列，其特征在于，所述薄膜晶体管中所述钝化层的等效单位面积电容大于或者等于所述绝缘层的等效单位面积电容。6.根据权利要求1所述的压力传感阵列，其特征在于，所述压敏薄膜朝向所述薄膜晶体管阵列的一侧表面具有微结构；或者，所述压敏薄膜内部具有微孔结构。7.根据权利要求1所述的压力传感阵列，其特征在于，所述薄膜晶体管为有机薄膜晶体管、氧化铟锌薄膜晶体管、氧化铟镓锌薄膜晶体管、非晶硅薄膜晶体管、多晶硅薄膜晶体管、或者碳纳米薄膜晶体管。8.根据权利要求1所述的压力传感阵列，其特征在于，所述压敏薄膜为电阻式压敏薄膜，且流过所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭小军，陈苏杰，李骏，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：