配线异常的检测方法和等离子体处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供配线异常的检测方法和等离子体处理装置，能够恰当地检测等离子体处理装置的直流电源系统中的配线异常。一种等离子体处理装置中的配线异常的检测方法，等离子体处理装置具有腔室、载置台、直流电源系统和电流表，直流电源系统构成直流电源、高频滤波器和直流电压施加部件依次电连接的电路，其中，直流电源用于施加直流电压，高频滤波器用于除去高频成分，直流电压施加部件为直流电压的施加对象，检测方法包括：利用直流电源施加直流电压的步骤；测量在构成直流电源系统的电路中流动的电流的步骤；和将电流的测量值和预先确定的阈值进行比较的步骤，在测量值为阈值以上的情况下，判断为在构成直流电源系统的电路中产生了配线异常。了配线异常。了配线异常。

【技术实现步骤摘要】
配线异常的检测方法和等离子体处理装置


[0001]本专利技术涉及配线异常的检测方法和等离子体处理装置。

技术介绍

[0002]专利文献1公开了一种静电卡盘电路的断线检测方法，在静电卡盘没有载置基片时，从直流电源对静电卡盘施加比吸附保持基片时的电压高的电压。根据专利文献1中公开的方法，通过上述电压的施加来测量在直流电源与静电卡盘之间流动的电流，由此能够根据其大小来进行静电卡盘电路的断线检测。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开平10
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308439号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]本专利技术的技术要解决的技术问题是恰当地检测等离子体处理装置的直流电源系统中的配线异常。
[0008]用于解决技术问题的手段
[0009]本专利技术的一个方式提供一种配线异常的检测方法，其为等离子体处理装置中的配线异常的检测方法，其特征在于，所述等离子体处理装置具有：腔室，能够在该腔室的内部进行基片的等离子本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种配线异常的检测方法，其为等离子体处理装置中的配线异常的检测方法，其特征在于：所述等离子体处理装置具有：腔室，能够在该腔室的内部进行基片的等离子体处理；设置在所述腔室的内部的载置台，其具有用于吸附保持所述基片的静电卡盘；直流电源系统，其用于控制在所述腔室的内部生成的等离子体；和电流表，其用于测量在所述直流电源系统中流动的电流，所述直流电源系统构成电路，在该电路中，直流电源、高频滤波器和直流电压施加部件依次电连接，其中，所述直流电源用于对所述直流电源系统施加直流电压，所述高频滤波器用于除去来自所述直流电源的高频成分，所述直流电压施加部件为所述直流电压的施加对象，所述检测方法包括：利用所述直流电源施加直流电压的步骤；测量在构成所述直流电源系统的电路中流动的电流的步骤；和将所述电流的测量值和预先确定的阈值进行比较的步骤，在所述测量值为所述阈值以上的情况下，判断为在构成所述直流电源系统的电路中产生了配线异常。2.根据权利要求1所述的配线异常的检测方法，其特征在于：所述直流电源利用脉冲波施加所述直流电压。3.根据权利要求1或2所述的配线异常的检测方法，其特征在于：还包括基于所述电流的测量值，确定所述电路中的配线异常的产生部位的步骤。4.根据权利要求1所述的配线异常的检测方法，其特征在于：还包括在施加来自所述直流电源的直流电压之前，在所述腔室的内部生成等离子体的步骤。5.根据权利要求4所述的配线异常的检测方法，其特征在于：所述等离子体的生成在所述腔室的内部压力为1000mTorr以下、且施加电功率为500W以下的条件下进行。6.根据权利要求4或5所述的配线异常的检测方法，其特征在于：所述直流电源利用脉冲波或连续波施加所述直流电压。7.根据权利要求1～6中任一项所述的配线异常的检测方法，其特征在于：所述阈值是通过将第一VI特性和第二VI特性进行比较而预先确定的，其中，所述第一VI特性是在所述直流电源系统中没有产生配线异常的状态下施加所述直流电压而得到的，所述第二VI特性是在所述直流电源系统中产生了配线异常的状态下施加所述直流电压而得到的。8....

【专利技术属性】
技术研发人员：鸟井夏实，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：