一种牺牲层辅助的超薄柔性压力传感器制备方法技术

本发明专利技术提供一种牺牲层辅助的超薄柔性压力传感器制备方法，属于微机电系统(MEMS)和微纳米加工技术领域。首先，选择两个相同的施主基片A、B，在施主基片A、B表面均沉积一层牺牲层。其次，在施主基片A的牺牲层表面沉积一层聚对二甲苯，并在聚对二甲苯表面通过光刻工艺制作金叉指电极结构。再次，在施主基片B的牺牲层表面旋涂一层聚二甲基硅氧烷，并在聚二甲基硅氧烷基表面通过喷涂工艺制作碳纳米管导电薄膜。最后，将金叉指电极结构对准碳纳米管导电薄膜贴合并放置在水中，溶解去除牺牲层PAA，得到超薄柔性压力传感器。本发明专利技术具有工艺简单、通用性好的特点，通用性好且制备过程柔和没有应力产生，不会破坏超薄柔性压力传感器。不会破坏超薄柔性压力传感器。不会破坏超薄柔性压力传感器。

【技术实现步骤摘要】
一种牺牲层辅助的超薄柔性压力传感器制备方法


[0001]本专利技术属于微机电系统(MEMS)和微纳米加工
，涉及一种牺牲层辅助的超薄柔性压力传感器制备方法。

技术介绍

[0002]柔性压力传感器(Flexible pressure sensor)在医疗监测、运动检测和人机交互系统中具有潜在应用而被广泛研究。目前，研究人员已经专利技术了多种柔性压力传感器，主要分为电阻型、电容型和压电型。其中，电阻型柔性压力传感器因为其具有结构简单、抗干扰能力强等优点，可被应用于可穿戴设备中用于人体的监测。而在实际应用中，当把柔性压力传感器贴附到人体表面的时候，如具有大曲率的手指尖等结构时，较厚的柔性压力传感器和手指尖并不能实现良好的共形贴附，从而产生滑移、错位等缺陷，导致检测不准确及运动伪影。而超薄柔性压力传感器具有较好的共形贴合能力，能够贴附在手指尖等表面实现精确的压力监测，将会有助于更有效的检测压力，未来在人机交互系统和智能假肢等领域有着潜在应用。
[0003]迄今为止，有几种方法实现了超薄柔性压力传感器的制作。例如，韩国科学技术院的Park教本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种牺牲层辅助的超薄柔性压力传感器制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)选择两个相同的施主基片A、B，在施主基片A、B表面均沉积一层牺牲层；(2)在施主基片A的牺牲层表面沉积一层聚对二甲苯，并在聚对二甲苯表面通过光刻工艺制作金叉指电极结构；(3)在施主基片B的牺牲层表面旋涂一层聚二甲基硅氧烷，并在聚二甲基硅氧烷基表面通过喷涂工艺制作碳纳米管导电薄膜；(4)室温下，将金叉指电极结构对准碳纳米管导电薄膜贴合并放置在水中，利用水溶解去除牺牲层PAA，超薄柔性压力传感器从施主基片表面脱落，得到微米级超薄柔性压力传感器。2.根据权利要求1所述的一种牺牲层辅助的超薄柔性压力传感器制备方法，其特征在于，所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘军山，胡小光，吴梦希，黄健，项晓禹，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：