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本发明涉及压阻传感器技术领域，具体涉及一种绝压式压阻传感系统及其自测试方法。该传感系统中，压阻传感模组包括：叠放设置的保护层、薄膜层、硅衬底层和玻璃层；硅衬底层中设置有空腔结构；薄膜层靠近保护层的一侧设有压阻条；保护层远离薄膜层的一侧设有金...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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