一种静电驱动式MEMS显示屏及其制备方法技术

本申请公开了一种静电驱动式MEMS显示屏及其制备方法。所述静电驱动式MEMS显示屏包括多个相互间隔设置的像元，每个所述像元包括：衬底；下极板，位于所述衬底上；上极板，位于下极板的上方；空腔，位于所述上极板和所述下极板之间；其中，所述上极板和所述下极板配置为通过在所述上极板和所述下极板之间施加不同的电压，以调节所述上极板与所述下极板之间的距离进而调节所述像元显示的颜色。本申请所述静电驱动式MEMS显示屏成本更低，功耗更低。功耗更低。功耗更低。

【技术实现步骤摘要】
一种静电驱动式MEMS显示屏及其制备方法


[0001]本申请涉及MEMS领域，具体而言涉及一种静电驱动式MEMS显示屏及其制备方法。

技术介绍

[0002]现有显示屏为LCD、LED、OLED、AMOLED等；现有的显示技术比较成熟，虽然OLED相对功耗较LCD、LED低，但仍是智能设备耗电的主要部分，占比超过30％；OLED屏幕成本占比约为40～50％。目前显示设备的成本较高，而且功耗较大。
[0003]因此需要对目前所述制备方法进行改进，以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的问题，本申请提供了一种静电驱动式MEMS显示屏，所述静电驱动式MEMS显示屏包括多个相互间隔设置的像元，每个所述像元包括：
[0005]衬底；
[0006]下极板，位于所述衬底上；
[0007]上极板，位于下极板的上方；
[0008]空腔，位于所述上极板和所述下极板之间；
[0009]其中，所述上极板和所述下极板配置为通过在所述上极板和所述下极板之间施加不同的电压，以调节所述上极板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电驱动式MEMS显示屏，其特征在于，所述静电驱动式MEMS显示屏包括多个相互间隔设置的像元，每个所述像元包括：衬底；下极板，位于所述衬底上；上极板，位于下极板的上方；空腔，位于所述上极板和所述下极板之间；其中，所述上极板和所述下极板配置为通过在所述上极板和所述下极板之间施加不同的电压，以调节所述上极板与所述下极板之间的距离进而调节所述像元显示的颜色。2.根据权利要求1所述的静电驱动式MEMS显示屏，其特征在于，所述衬底为读出电路衬底，所述读出电路衬底与所述上极板电连接，配置为在所述上极板和所述下极板之间施加不同的电压。3.根据权利要求1所述的静电驱动式MEMS显示屏，其特征在于，所述上极板和所述下极板之间的距离为1500nm
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2850nm。4.根据权利要求1所述的静电驱动式MEMS显示屏，其特征在于，所述上极板和所述下极板呈方形结构，所述上极板和/或所述下极板边长的有效尺寸为10um～30um。5.根据权利要求1所述的静电驱动式MEMS显示屏，其特征在于，相邻的所述像元之间的间距为1um～10um。6.根据权利要求1所述的静电驱动式MEMS显示屏，其特征在于，所述下极板相对设置的两表面上设置有保护层；和/或所述上极板相对设置的两表面上设置有保护层。7.根据权利要求6所述的静电驱动式MEMS显示屏，其特征在于，所述保护层为绝缘层。8.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨涛，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：