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本申请公开了一种静电驱动式MEMS显示屏及其制备方法。所述静电驱动式MEMS显示屏包括多个相互间隔设置的像元，每个所述像元包括：衬底；下极板，位于所述衬底上；上极板，位于下极板的上方；空腔，位于所述上极板和所述下极板之间；其中，所述上极板和...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。

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