一种硅棒切割装置的线切割装置及硅棒切割装置制造方法及图纸

本申请实施例提供了一种硅棒切割装置的线切割装置及硅棒切割装置。线切割装置包括：切割支架；放线机构和收线机构，分别设置在所述切割支架的两侧；所述放线机构用于将储存的单根金刚线放出，所述收线机构用于接收金刚线并储存；线网机构，设置在所述切割支架处；线网张力机构，设置在所述线网机构内；所述金刚线经过所述线网机构和线网张力机构进行走线，在所述切割支架处形成至少一根竖向设置的切割线；其中，所述线网张力机构用于对位于线网机构内的金刚线施加张力，使得切割线保持预设张力。硅棒切割装置包括上述线切割装置。本申请实施例解决了传统的硅棒切割装置的金刚线进行切割时张力不足的技术问题。行切割时张力不足的技术问题。行切割时张力不足的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅棒切割装置的线切割装置及硅棒切割装置


[0001]本申请涉及切割
，具体地，涉及一种硅棒切割装置的线切割装置及硅棒切割装置。

技术介绍

[0002]通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒是圆柱形的单晶硅棒。单晶硅片由单晶硅棒切割而成，一般先将单晶硅棒进行切方，得到用于制备单晶硅片的方棒，再将方棒切片制得单晶硅片。单晶硅棒切方会产生边皮料，而边皮料一般都是回炉或用作高效多晶铸锭籽晶等使用，造成单晶硅棒的利用率较低。传统的硅棒切割装置的金刚线走线复杂且较长，导致金刚线进行切割时张力不足。
[0003]因此，传统的硅棒切割装置的金刚线进行切割时张力不足，是本领域技术人员急需要解决的技术问题。
[0004]在
技术介绍
中公开的上述信息仅用于加强对本申请的背景的理解，因此其可能包含没有形成为本领域普通技术人员所知晓的现有技术的信息。

技术实现思路

[0005]本申请实施例提供了一种硅棒切割装置的线切割装置及硅棒切割装置，以解决传统的硅棒切割装置的金刚线进行切割时张力不足的技术问题。<br/>[0006]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅棒切割装置的线切割装置，其特征在于，包括：切割支架；放线机构和收线机构，分别设置在所述切割支架的两侧；所述放线机构用于将储存的单根金刚线放出，所述收线机构用于接收金刚线并储存；线网机构，设置在所述切割支架处；线网张力机构，设置在所述线网机构内；所述金刚线经过所述线网机构和线网张力机构进行走线，在所述切割支架处形成至少一根竖向设置的切割线；其中，所述线网张力机构用于对位于线网机构内的金刚线施加张力，使得切割线保持预设张力。2.根据权利要求1所述的线切割装置，其特征在于，所述线网机构包括：至少两个上切割线轮，安装在所述切割支架的上侧且能够在竖向方向旋转；与上切割线轮一一对应的下切割线轮，与上切割线轮上下相对设置且能够在竖向方向旋转；两个下切割线轮相对于切割支架固定；所述线网张力机构包括：换向张力轮，设置在两个上切割线轮和/或两个下切割线轮之间且能够在横向方向旋转；所述金刚线绕过所述换向张力轮且两端分别经过两侧的下切割线轮和上切割线轮走线；线网张力电机，用于驱动所述换向张力轮转动对所述金刚线施加张力。3.根据权利要求2所述的线切割装置，其特征在于，所述线网机构还包括：底部换向轮，一个底部换向轮对应两个下切割线轮，所述底部换向轮固定在与之对应的两个下切割线轮的后方且位于两者之间，所述底部换向轮能够在横向方向旋转；底部走线轮，一个底部换向轮和与之对应的一个下切割线轮之间固定一个底部走线轮，所述底部走线轮能够在横向方向旋转；其中，所述金刚线经一个下切割线轮走线到对应的底部换向轮，所述底部走线轮用于调整金刚线的走线方向。4.根据权利要求3所述的线切割装置，其特征在于，所述线网机构还包括：顶部换向轮，一个顶部换向轮对应两个上切割线轮，所述顶部换向轮固定在与之对应的两个上切割线轮的后方且位于两者之间，所述顶部换向轮能够在横向方向旋转；顶部走线轮，一个顶部换向轮和与之对应的一个上切割线轮之间固定一个顶部走线轮，所述顶部走线轮能够在横向方向旋转；其中，所述金刚线经一个上切割线轮走线到对应的顶部换向轮，所述顶部走线轮用于调整金刚线的走线方向。5.根据权利要求4所述的线切割装置，其特征在于，所述切割支架为U型的切割支架且以开口朝下的方式安装在硅棒切割装置的机座上；所述线网机构还包括：前方第一换向轮，固定在所述切割支架靠近放线机构一侧的竖臂后侧面；前方第二换向轮，固定在所述切割支架的横臂的后侧面且靠近第一个上切割线轮的位置；其中，所述前方第一换向轮和前方第二换向轮用于将放线机构放出的金刚线调整方向
以水平的方式进入到第一个上切割线轮的外缘，第一个上切割线轮是最靠近放线机构一侧的上切割线轮。6.根据权利要求5所述的线切割装置，其特征在于，所述线网机构还包括：后方第一换向轮，固定在所述切割支架靠近收线机构一侧的竖臂后侧面；后方第二换向轮，固定在所述切割支架的横臂的后侧面且靠近最后一个上切割线轮的位置；其中，所述后方第二换向轮和前方第一换向轮用于将经最后一个上切割线轮的外缘出线的金刚线调整方向以预设角度进入到放线机构，最后一个上切割线轮是最靠近收线机构一侧的上切割线轮。7.根据权利要求1所述的线切割装置，其特征在于，所述放线机构和收线机构各自采用线收放装置，所述线收放装置包括：线辊、线辊安装座和线收放电机；所述线辊安装在线辊安装座的侧面且所述线收放电机与所述线辊连接；其中，所述线收放电机驱动所述线辊旋转；排线轮，平衡块和排线连接板，所述排线轮和所述平衡块分别安装在所述排线连接板的两侧，所述排线连接板能够带动排线轮沿着所述线辊的长度方向在线辊的长度范围内往复运动；线收放装置张力轮，线辊处的金刚线经排线轮和线收放装置张力轮后从线收放装置收线或放线。8.一种硅棒切割装置，其特征在于，包括：权利要求1至7任一所述的线切割装置；机座；承载装置，安装于所述机座，用于固定硅棒，所述承载装置用于承载硅棒位置的形状与硅棒外表面的形状相配合；线切割装置，安装于所述机座，所述承载装置和所述线切割装置能够相对做直线运动；其中，在所述承载装置和所述线切割装置相对直线运动过程中，所述线切割装置的切割线用于沿硅棒的长度方向切割。9...

【专利技术属性】
技术研发人员：娄和强，薛俊兵，苏赓，
申请(专利权)人：青岛高测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：