制程废气洗涤装置制造方法及图纸

本发明专利技术为一种制程废气洗涤装置，其利用改变吸收液的供液方式，如此可在相同的用水量下使用较干净的洗涤液来吸附废气中的污染物，有效提升废气中污染物的去除效率。效提升废气中污染物的去除效率。效提升废气中污染物的去除效率。

【技术实现步骤摘要】
制程废气洗涤装置


[0001]本专利技术是关于一种装置，特别是一种用于制程废气洗涤装置，提供第一液体或/及第三液体喷洒至该第一过滤装置或/及该第二过滤装置，利用吸附原理的优化方式，有效提升废气中污染物的去除效率。

技术介绍

[0002]因应工厂制程提升以及制造速度等考虑，目前许多半导体清洗机台逐渐采用单晶圆清洗机(Single wafer cleaner)来取代传统的湿式工作台(Wet Bench)，但单晶圆清洗机伴随而来的问题是混合废气(酸气、碱气、有机气体
…
)难以分离的问题，此混合废气的问题不仅产生于半导体业，在其它产业亦有同样的混合废气问题。
[0003]而挥发性有机气体污染物或称挥发性有机物(Volatile Organic Compounds,VOCs)，指在一大气压下，沸点在250℃以下的有机化合物的空气污染物总称，其所造成的环境污染问题，广泛地存在于各类型工业中。
[0004]在高科技产业中，尤其是半导体制造业及光电业中，因产品制造所产生的挥发性有机物主要来源为光阻剂、显影液与清洗液，而主要有机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制程废气洗涤装置，其特征在于，其设置于一腔体内，该腔体两侧分别设有一进气口及一出气口，其包含：一第一过滤装置，其设置于该腔体内，并位于该进气口的一侧，该壳体的上方及下方分别设有一过滤进气口及一过滤出气口；以及一第一喷洒装置，其设置该腔体内，并位于该第一过滤装置上；一第一管路，其一端连通一第一液体切换阀，该第一管路用以运输一第一液体经由一液体运输管路进入该第一喷洒装置，使该第一喷洒装置喷洒该第一液体于该第一过滤装置；其中，一进气通道两端分别连通该进气口及该过滤进气口，一气体经由该进气口进入该进气通道，并且该气体通过该过滤进气口后进入该第一过滤装置，再者，该第一液体连续进入该出气口并向下流经该第一过滤装置，该气体经该第一液体洗涤后，由该过滤出气口流出并经由该出气口排出该腔体。2.如权利要求1所述的制程废气洗涤装置，其特征在于，其中该第一过滤装置包含一壳体、一第一多孔元件及一离子吸附元件，该第一多孔元件设置于该壳体内，位于该过滤进气口的一侧，该第一多孔元件上设置一第一触媒材料，该离子吸附元件设置于该第一多孔元件与该过滤出气口之间。3.如权利要求2所述的制程废气洗涤装置，其特征在于，其中该第一过滤装置更包含一第二多孔元件，其设置于该离子吸附元件与该过滤出气口之间，该第二多孔元件上设置有一第二触媒材料。4.如权利要求3所述的制程废气洗涤装置，其特征在于，其中该第一多孔元件及该第二多孔元件的材质为不锈钢、钛、铂或铝，进一步，该第一触媒材料及该第二触媒材料...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯安，
申请(专利权)人：奇鼎科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：