一种CMP材料生产用打磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及CMP材料打磨技术领域,尤其涉及一种CMP材料生产用打磨装置,包括磨皮机，磨皮机的下方安装有磨锟，磨锟表面包裹有砂纸，磨锟下方设置有安装座，安装座的两侧分别设置有第一气缸和第二气缸，安装座上转动安装有橡胶锟，第一气缸和第二气缸的输出端连接有伸缩杆，且第一气缸和第二气缸通过伸缩杆连接橡胶锟的两侧，橡胶锟硬度为邵氏A35

【技术实现步骤摘要】
一种CMP材料生产用打磨装置


[0001]本技术涉及CMP材料打磨
，尤其涉及一种CMP材料生产用打磨装置。

技术介绍

[0002]传统的磨皮机磨头均是有磨辊包裹砂带进行高速运转，由下方的气缸将橡胶辊抬起，与高速运转的磨皮砂带接触，进行合成革表面的切削，下方的橡胶辊一般是硬度达到邵A80
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85，辊面平行且光滑，从而可以达到合成革磨皮后表面的均一性和平整性，硬度硬也可使磨皮机切削率更高，提高打磨效率；同时磨皮方式一般分为线接触和面接触，线接触的磨皮方式精度高，但是打磨效率低，面接触的磨皮方式精度差，但是打磨效率高；
[0003]CMP抛光材料与传统的合成革结构上有相似的地方，但是抛光材料需要打磨不同的材料，蓝宝石，不锈钢，半导体晶片等等，抛光材料耐磨强度要非常高，才能达到抛光不同材质材料的要求，所以抛光材料中，除了特殊聚氨酯还要加入各类氧化物，以达到抛光材料的要求，所以抛光材料的表面会很光滑，传统的合成革磨皮机设备在打磨抛光材料时，抛光材料表面较为光滑，所以会打滑，同时抛光材料的精度要求高，磨皮方式必须选用线接触磨皮，根本无法将抛光材料闭孔状的致密微孔层完全打开，即使打开也是很不均匀，达不到抛光材料敞开式泡孔的要求；同时传统的合成革对厚度要求不是很高，往往在磨皮后形成两遍薄中间厚的现象。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的以上的缺点，而提出的一种CMP材料生产用打磨装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
>[0006]一种CMP材料生产用打磨装置，包括磨皮机，所述磨皮机的下方安装有磨锟，所述磨锟表面包裹有砂纸，磨锟下方设置有安装座，所述安装座的两侧分别设置有第一气缸和第二气缸，安装座上转动安装有橡胶锟，所述第一气缸和第二气缸的输出端连接有伸缩杆，且第一气缸和第二气缸通过伸缩杆连接橡胶锟的两侧，所述橡胶锟硬度为邵氏A35
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40，将橡胶辊改为硬度邵A35
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40的硬度较软的橡胶辊，磨皮机在打磨抛光材料时，第一气缸和第二气缸带动橡胶锟向上抬升，是橡胶辊略微变形，包裹住高速转动的磨锟，使磨皮时不是一条线接触，而是一小块面接触，增加阻力使抛光材料不易打滑，提高打磨效率，可打磨表面较光滑的抛光材料，橡胶锟的中间位置处设置有凸台，所述凸台高3.5厘米，由于橡胶辊是两边使用气缸顶起接触到磨锟，会造成两边边侧上顶的力量较大，中间没有气缸上顶，中间上顶的力量会小，中间打磨的效果就会较两边侧差，所以本次改进时，将橡胶辊的中间做高3.5厘米凸台，以达到两边和中间打磨一致的效果。
[0007]进一步的，所述砂纸的目数为。
[0008]进一步的，所述安装座底部设置有一圈缓冲垫，缓冲垫能防止安装座抖动，吸收冲击力。
[0009]进一步的，所述缓冲垫材料为橡胶。
[0010]进一步的，所述安装座的两侧开设有空腔，所述第一气缸和第二气缸安装在空腔内，所述空腔的顶部开设有通孔，所述伸缩杆贯穿通孔。
[0011]进一步的，所述安装座两侧设置有支架，所述支架的顶端安装有轴承，所述橡胶锟两侧穿过轴承。
[0012]进一步的，所述伸缩杆连接支架的底部，所述支架位于空腔的上方。
[0013]本技术的有益效果是：通过本方案提出的将橡胶锟改为硬度为A35
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40橡胶锟同时在中间设置凸台，使橡胶锟在打磨过程中略微变形包裹磨锟，增加阻力使抛光材料不易打滑，提高打磨效率，可打磨表面较光滑的抛光材料，同时保证中间与两侧打磨效果一致。
附图说明
[0014]图1为本技术提出的一种CMP材料生产用打磨装置的整体结构示意图；
[0015]图2为本技术提出的一种CMP材料生产用打磨装置的安装座内部结构示意图；
[0016]图3为本技术提出的一种CMP材料生产用打磨装置的橡胶锟结构示意图。
[0017]图中：1磨皮机、2磨锟、21砂纸、3安装座、31缓冲垫、4第一气缸、5第二气缸、6橡胶锟、61凸台、7伸缩杆、8空腔、9支架、10轴承。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0019]本实施例中，参照图1
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3，一种CMP材料生产用打磨装置，包括磨皮机1，磨皮机1的下方安装有磨锟2，磨锟2表面包裹有砂纸21，磨锟2下方设置有安装座3，安装座3的两侧分别设置有第一气缸4和第二气缸5，安装座3上转动安装有橡胶锟6，第一气缸4和第二气缸5的输出端连接有伸缩杆7，且第一气缸4和第二气缸5通过伸缩杆7连接橡胶锟6的两侧，橡胶锟6硬度为邵氏A35
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40，将橡胶辊6改为硬度邵A35
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40的硬度较软的橡胶辊6，磨皮机1在打磨抛光材料时，第一气缸4和第二气缸5带动橡胶锟6向上抬升，使橡胶辊6略微变形，包裹住高速转动的磨锟2，使磨皮时不是一条线接触，而是一小块面接触，增加阻力使抛光材料不易打滑，提高打磨效率，可打磨表面较光滑的抛光材料，橡胶锟6的中间位置处设置有凸台61，凸台61高3.5厘米，由于橡胶辊6是两边使用气缸顶起接触到磨锟2，会造成两边边侧上顶的力量较大，中间没有气缸上顶，中间上顶的力量会小，中间打磨的效果就会较两边侧差，所以本次改进时，将橡胶辊的6中间做高3.5厘米凸台61，以达到两边和中间打磨一致的效果。
[0020]进一步的，砂纸21的目数为60。
[0021]进一步的，安装座3底部设置有一圈缓冲垫31，缓冲垫31材料为橡胶，缓冲垫31能防止安装座3抖动，吸收冲击力。
[0022]进一步的，安装座3的两侧开设有空腔8，第一气缸4和第二气缸5安装在空腔8内，空腔8的顶部开设有通孔，伸缩杆7贯穿通孔，安装座3两侧设置有支架9，支架9的顶端安装
有轴承10，橡胶锟6两侧穿过轴承10，安装座3两侧设置有支架9，支架9的顶端安装有轴承10，橡胶锟6两侧穿过轴承10。
[0023]工作原理：皮机1在打磨抛光材料时，第一气缸4和第二气缸5带动橡胶锟6向上抬升，使橡胶辊6略微变形，包裹住高速转动的磨锟2，使磨皮时不是一条线接触，而是一小块面接触，增加阻力使抛光材料不易打滑，提高打磨效率，可打磨表面较光滑的抛光材料，由于橡胶辊6是两边使用气缸顶起接触到磨锟2，会造成两边边侧上顶的力量较大，中间没有气缸上顶，中间上顶的力量会小，中间打磨的效果就会较两边侧差，所以本次改进时，将橡胶辊的6中间做高3.5厘米凸台61，以达到两边和中间打磨一致的效果。
[0024]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CMP材料生产用打磨装置，其特征在于，包括磨皮机（1），所述磨皮机（1）的下方安装有磨锟（2），所述磨锟（2）表面包裹有砂纸（21），磨锟（2）下方设置有安装座（3），所述安装座（3）的两侧分别设置有第一气缸（4）和第二气缸（5），安装座（3）上转动安装有橡胶锟（6），所述第一气缸（4）和第二气缸（5）的输出端连接有伸缩杆（7），且第一气缸（4）和第二气缸（5）通过伸缩杆（7）连接橡胶锟（6）的两侧，所述橡胶锟（6）硬度为邵氏A35
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40，橡胶锟（6）的中间位置处设置有凸台（61），所述凸台（61）高3.5厘米。2.根据权利要求1所述的一种CMP材料生产用打磨装置，其特征在于，所述砂纸（21）的目数为60。3.根据权利要求1所述的一种CMP材料生产用打磨装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅一非，李良军，何玲芳，陈德伟，李静，苏明，孙迎春，杭永清，
申请(专利权)人：万桦常州新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：