本实用新型专利技术公开了一种条形晶片用抛光装置，旨在保证条形晶片的抛光质量，其技术方案：一种条形晶片用抛光装置，包括用于夹紧外设条形晶片的夹具、用于对外设条形晶片进行抛光的抛光平台、用于向抛光平台加注抛光液的抛光液管，还包括一用于使外设条形晶片贴合抛光平台的第一驱动装置；所述夹具与抛光平台通过一第二驱动装置驱动可做直线往复的相对运动，属于晶片抛光技术领域。晶片抛光技术领域。晶片抛光技术领域。
【技术实现步骤摘要】
一种条形晶片用抛光装置
[0001]本技术属于晶片抛光
，更具体而言，涉及一种条形晶片用抛光装置。
技术介绍
[0002]晶片抛光，是晶片加工的其中一环工序；
[0003]抛光工序如专利技术专利公开号CN110014362A公开的一种晶片抛光装置所示，其包括：表面板，该表面板具有附连在表面板的上表面上的抛光垫；浆液喷嘴，该浆液喷嘴构成为向抛光垫注射浆液；至少一个抛光头部，该抛光头部构成为对晶片进行收容并且在表面板的上部旋转；换位件，该换位件构成为对抛光头部进行支承，从而在该至少一个上述抛光头部的上部与抛光头部相连接；以及颗粒抽吸部，该颗粒抽吸部联接至换位件并且构成为对在抛光晶片的期间产生的颗粒进行抽吸。
[0004]在上述方案中，其通过抛光头部固定收容晶片，表面板可以通过表面板转轴进行旋转，抛光头部可以在与抛光垫紧密接触的状态下通过头部转轴进行旋转。此时，由浆液喷嘴提供的浆液可以在向位于抛光头部上的晶片渗透的同时将晶片抛光成镜面抛光面。
[0005]现有技术中，抛光的晶片为圆形，抛光期间是晶片、抛光垫均转动。
[0006]其中，晶片抛光时的形状与在实际使用时的形状不一定是相同的，如铌酸锂晶片，其在实际使用时一般为条形，而其在抛光时则为圆形；
[0007]铌酸锂晶片的加工过程为；先将圆形晶片进行抛光，在抛光后再将圆形的晶片切割成条形。
[0008]上述的加工过程存在的缺陷在于：在抛光后再切割成条形，其会出现破坏晶片的抛光面、对晶片造成损伤等现象，影响晶片的生产质量。
[0009]为了保证晶片的生产质量，可以先将晶片切割成条形，再对条形晶片进行抛光；
[0010]而现有技术中，均是通过旋转的方式抛光圆形晶片的，暂无对条形晶片进行抛光的装置；
[0011]对于条形晶片的抛光，若通过上述以旋转为基础的方式进行抛光，在旋转抛光的过程中，由于形状的限制，条形晶片的转动会形成旋转刮液结构，同时抛光垫的旋转会产生离心力，所以两者叠加会将大部分的抛光液刮走，使得抛光液难以进入到晶片的中心，从而影响条形晶片的抛光质量。
技术实现思路
[0012]本技术的主要目的在于提供一种条形晶片用抛光装置，旨在保证条形晶片的抛光质量。
[0013]根据本技术的第一方面，提供了一种条形晶片用抛光装置，包括用于夹紧外设条形晶片的夹具、用于对外设条形晶片进行抛光的抛光平台、用于向抛光平台加注抛光液的抛光液管，还包括一用于使外设条形晶片贴合抛光平台的第一驱动装置；所述夹具与抛光平台通过一第二驱动装置驱动可做直线往复的相对运动。
[0014]本技术一个特定的实施例中，所述第一驱动装置用于驱动所述夹具升降使外设条形晶片与抛光平台分离或贴合，所述第二驱动装置用于驱动所述夹具做相对于所述抛光平台的直线往复运动。
[0015]本技术一个特定的实施例中，外设条形晶片的较长侧与运动方向平行。
[0016]本技术一个特定的实施例中，所述抛光液管与所述夹具同步运动。
[0017]本技术一个特定的实施例中，所述抛光液管邻近外设条形晶片的侧边布置。
[0018]本技术一个特定的实施例中，所述抛光液管为分别邻近外设条形晶片的2个较长侧布置的2个。
[0019]本技术一个特定的实施例中，还包括一陶瓷盘，多个外设条形晶片以可拆的方式固定在所述陶瓷盘上；所述夹具夹紧所述陶瓷盘；
[0020]2个所述抛光液管为一组，一组抛光液管与一个外设条形晶片配合；所述陶瓷盘上设有供抛光液管穿过的通孔。
[0021]本技术一个特定的实施例中，所述陶瓷盘上设有与外设条形晶片适配的凹槽，一个外设条形晶片与一个凹槽对应。
[0022]本技术一个特定的实施例中，所述抛光平台包括台体，设置在台体上的用于对外设条形晶片进行抛光的聚氨酯抛光垫；抛光液管向聚氨酯抛光垫输出抛光液。
[0023]本技术上述技术方案中的一个技术方案至少具有如下优点或有益效果之一：
[0024]在实际应用中，将待抛光的条形晶片固定在夹具上，第一驱动装置工作使得待抛光的条形晶片与抛光平台贴合，最后由第二驱动装置工作使所述夹具与抛光平台做直线往复的相对运动，从而实现条形晶片的抛光；
[0025]在本技术中，通过直线往复运动实现外设条形晶片的抛光工作，抛光平台不会旋转，外设条形晶片也不会旋转，则抛光平台不会产生离心力，外设条形晶片也不会形成旋转刮液结构，所以抛光液不会被刮走，使得抛光液容易进入到抛光中的外设条形晶片的中心，从而保证了晶片的抛光质量。
附图说明
[0026]下面结合附图和实施例对本技术进一步地说明；
[0027]图1是本技术的实施例1的结构图；
[0028]图2是本技术的实施例1的图1中C的放大视图；
[0029]图3是本技术的实施例1的陶瓷盘的结构图。
具体实施方式
[0030]下面详细描述本技术的实施方式，实施方式的示例在附图中示出，其中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0031]实施例1
[0032]参照图1至图3所示，一种条形晶片用抛光装置，包括用于夹紧外设条形晶片a的夹具1、用于对外设条形晶片a进行抛光的抛光平台2、用于向抛光平台2加注抛光液的抛光液
管3，还包括一用于使外设条形晶片a贴合抛光平台2的第一驱动装置4；所述夹具1与抛光平台2通过一第二驱动装置5驱动可做直线往复的相对运动。
[0033]在实际应用中，将待抛光的条形晶片固定在夹具1上，第一驱动装置4工作使得待抛光的条形晶片与抛光平台2贴合，最后由第二驱动装置5工作使所述夹具1与抛光平台2做直线往复的相对运动，从而实现条形晶片的抛光；
[0034]在本实施例中，通过直线往复运动实现外设条形晶片a的抛光工作，抛光平台2不会旋转，外设条形晶片a也不会旋转，则抛光平台2不会产生离心力，外设条形晶片a也不会形成旋转刮液结构，所以抛光液不会被刮走，使得抛光液容易进入到抛光中的外设条形晶片a的中心，从而保证了晶片的抛光质量。
[0035]作为本实施例的具体实现，所述第一驱动装置4用于驱动所述夹具1升降使外设条形晶片a与抛光平台2分离或贴合，所述第二驱动装置5用于驱动所述夹具1做相对于所述抛光平台2的直线往复运动；
[0036]所述第一驱动装置4固定设置在第二驱动装置5的动力输出端；
[0037]当然，本实施例并不排除所述第一驱动装置4用于驱动所述抛光平台2升降；也不排除所述第二驱动装置5用于驱动所述抛光平台2做相对于所述夹具1的直线往复运动；也不排除所述第二驱动装置5为用于分别驱动夹具1、抛光平台2同时做方向相反的直线往复运动的2个；
[0038]具体来说，所述第一驱动装置4可以为气本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种条形晶片用抛光装置，包括用于夹紧外设条形晶片(a)的夹具(1)、用于对外设条形晶片(a)进行抛光的抛光平台(2)、用于向抛光平台(2)加注抛光液的抛光液管(3)，其特征在于，还包括一用于使外设条形晶片(a)贴合抛光平台(2)的第一驱动装置(4)；所述夹具(1)与抛光平台(2)通过一第二驱动装置(5)驱动可做直线往复的相对运动。2.根据权利要求1所述的条形晶片用抛光装置，其特征在于，所述第一驱动装置(4)用于驱动所述夹具(1)升降使外设条形晶片(a)与抛光平台(2)分离或贴合，所述第二驱动装置(5)用于驱动所述夹具(1)做相对于所述抛光平台(2)的直线往复运动。3.根据权利要求1所述的条形晶片用抛光装置，其特征在于，外设条形晶片(a)的较长侧与运动方向平行。4.根据权利要求3所述的条形晶片用抛光装置，其特征在于，所述抛光液管(3)与所述夹具(1)同步运动。5.根据权利要求4所述的条形晶片用抛光装置，其特征在于，所述抛光液管(3)邻...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖彬，周铁军，曾琦，张昌文，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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