一种基座及半导体设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种基座及半导体设备。其中，所述基座具有一台面和位于所述台面外周且凸出所述台面的侧板，以及，在所述侧板的内壁上还设置有保护治具。从而，当基座内设置有石英管时，可利用保护治具作为石英管和基座侧板间的缓冲结构，避免石英管受推力作用而撞击基座的侧板，避免石英管发生破裂。避免石英管发生破裂。避免石英管发生破裂。

【技术实现步骤摘要】
一种基座及半导体设备


[0001]本技术涉及半导体制造领域，特别涉及一种基座及半导体设备。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程中，需要定期对生产设备进行维护保养，以确保设备正常运行。在一些半导体设备中(例如扩散炉)，包括连接有多个气体管道的石英管。如图1所示，连接有多个气体管道410的石英管400被固定安装在一基座100上。对该类设备进行维护保养过程中，需锁紧气体管道410以调节气体管道410的连接牢固度。在锁紧气体管道410的过程中，会产生一个推力将石英管400推向气体管道410的相对侧(推力方向例如为由6点方向指向12点方向)，使得石英管400与基座100间的距离缩短，甚至会与基座100发生碰撞，从而导致石英管400破裂，影响生产。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种基座及半导体设备，以解决在锁紧基座内的石英管上连接的气体管道时，会产生一个推力将石英管推向气体管道的相对侧，使得石英管与基座发生碰撞，从而导致石英管破裂的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种基座，包括：
[0005]所述基座具有一台面和位于所述台面外周且凸出所述台面的侧板；以及，在所述侧板的内壁上还设置有保护治具。
[0006]可选的，所述基座的边缘上设置有气体管道的安装区，与所述安装区相对的一侧上设置有至少一个所述保护治具。
[0007]可选的，与所述安装区相对的一侧上设置有两个所述保护治具。
[0008]可选的，所述保护治具包括垫片。
[0009]可选的，在所述侧板的内壁上还设置有固定件，所述固定件用于将所述保护治具固定在所述侧板上。
[0010]可选的，所述固定件由所述侧板的外侧伸入至所述侧板的内侧，并在内侧固定所述保护治具。
[0011]可选的，所述固定件包括固定顶丝。
[0012]可选的，所述保护治具由所述侧板的外侧伸入至所述侧板的内侧，并从侧板的内壁上延伸出预定距离。
[0013]可选的，所述保护治具采用特氟龙材质。
[0014]本技术还提供了一种半导体设备，包括上述的基座，和固定在所述基座的台面上的石英管，所述石英管上连接有气体管道，所述气体管道安装在所述基座的边缘的安装区上，并且在与所述安装区相对的一侧上设置有至少一个保护治具。
[0015]在本技术提供的基座中，通过在基座的侧板内壁上设置保护治具，用于当基座内设置有石英管时，可作为石英管和基座侧板间的缓冲结构，避免石英管受推力作用而
撞击基座的侧板，避免石英管发生破裂。
附图说明
[0016]图1是现有技术中的基座的结构示意图；
[0017]图2为本技术一实施例提供的基座的结构示意图；
[0018]图3为本技术一实施例提供的基座的俯视图；
[0019]图4为本技术一实施例提供的基座的局部截面示意图；
[0020]图5为本技术一实施例提供的固定件的结构示意图；
[0021]图6为本技术一实施例提供的基座的另一种结构的局部截面示意图；
[0022]图中，
[0023]100
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基座；110
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台面；120
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侧板；200
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保护治具；300
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固定件；310
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第一部分；320
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第二部分；330
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第三部分；400
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石英管；410
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气体管道。
具体实施方式
[0024]以下结合附图和具体实施例对本技术提出的基座及半导体设备作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0025]图2为本技术一实施例提供的基座的结构示意图。图3为本技术一实施例提供的基座的俯视图。图4本技术一实施例提供的基座的局部截面示意图。结合图2
‑
图4所示，本实施例提供的基座，其具有一台面110和位于所述台面110外周且凸出所述台面110的侧板120，以及，在所述侧板120的内壁上设置有保护治具200。
[0026]结合图3和图4所示，所述基座100用于固定石英管400，其中，所述石英管400固定在所述基座100的台面110上，并与所述基座100的侧板120保持一定距离。此时，设置在所述基座100的侧板120的内壁上的保护治具200，则位于所述石英管400与所述侧板120之间，即所述保护治具200的厚度小于所述石英管400与所述侧板120间的距离，从而利用所述保护治具200在所述石英管400与所述侧板120间形成阻挡，避免所述石英管400与基座侧板120发生接触。其中，所述保护治具200采用弹性材质，例如采用耐高温耐腐蚀的特氟龙材质，当所述石英管400与所述保护治具200发生接触时，确保所述石英管400不破裂。
[0027]因此，在本技术提供的基座中，在基座的侧板内壁上设置保护治具，当基座内设置有石英管时，可利用保护治具作为石英管和基座侧板间的缓冲结构，避免石英管受推力作用而撞击基座的侧板，避免石英管发生破裂。
[0028]进一步的，所述基座100的边缘上设置有气体管道410的安装区，与所述安装区相对一侧上设置有至少一个所述保护治具200。如图3所示，所述石英管400依次连接有8个气体管道410，其中，所述气体管道410依次固定在所述基座300的安装区内。在锁紧所述气体管道410时，会产生一个推力将所述石英管400推向所述气体管道410的相对侧(其中一个推力方向例如由6点钟方向指向12点钟方向)。此时，在该区域内设置有所述保护治具200，使得石英管400可以在所述保护治具200的阻挡下，避免与所述基座100的侧板120发生碰撞而破裂。
[0029]如图3所示，本实施例中，与所述安装区相对的一侧上设置有两个所述保护治具200。在基座100内，多个气体管道410依次分布在安装区内，在锁紧不同的气体管道410时，所述石英管400上受到的推力方向不同，使得所述石英管400向安装区的相对区域倾斜，但发生碰撞的位置略有偏离。因此，在所述安装区的相对侧区域内，在中心线的两侧(例如11点钟到12点钟的区域和12点钟到1点钟的区域内)各设有一个所述保护治具200，使得所述石英管400在受到不同方向的推力时均可受到保护，进一步提高所述石英管400的安全性。本实施例中，例如在12点钟的位置其两侧5cm
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30cm的区域内，对称地设置有两个所述保护治具200。具体的示例中，在12点钟位置的两侧10cm位置处，各设置有一个保护治具200。
[0030]其中，所述保护治具200包括垫片。如图2所示，所述保护治具200为一垫片，即可利用保护治具200限定出一片区域，扩大保护范本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基座，其特征在于，所述基座具有一台面和位于所述台面外周且凸出所述台面的侧板；以及，在所述侧板的内壁上还设置有保护治具。2.如权利要求1所述的基座，其特征在于，所述基座的边缘上设置有气体管道的安装区，与所述安装区相对的一侧上设置有至少一个所述保护治具。3.如权利要求2所述的基座，其特征在于，与所述安装区相对的一侧上设置有两个所述保护治具。4.如权利要求1所述的基座，其特征在于，所述保护治具包括垫片。5.如权利要求1所述的基座，其特征在于，在所述侧板的内壁上还设置有固定件，所述固定件用于将所述保护治具固定在所述侧板上。6.如权利要求5所述的基座，其特征在于，所述固定件由所述侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐升，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：