一种PVD工具真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PVD工具真空镀膜机，涉及真空镀膜机领域，包括镀膜箱，所述镀膜箱正面转动连接有箱门，且箱门正面底端滑动连接有另一端与镀膜箱正面底端滑动连接的支撑板，所述镀膜箱顶部安装有输入端与镀膜箱连接的真空泵，且镀膜箱背面安装有新风泵组，所述镀膜箱内部地面设置有储液箱，且储液箱内部安装有多根电压发射器。本实用新型专利技术通过在安装板上皆转动连接三角夹具，且其中一个三角夹具由转动电机驱动旋转，在安装板内侧皆设置通过微型气泵与储液箱连接的第二喷头，工作时，三角夹具带动工具旋转，通过第一喷头对工具侧面进行喷涂镀层，第二喷头可通过微型气泵对工具两端进行喷涂，镀层更加均匀。镀层更加均匀。镀层更加均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种PVD工具真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜机领域，具体为一种PVD工具真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]现有的PVD工具真空镀膜机一般通夹具从工具两端对工具进行固定，通过底部的喷头对工具喷雾化镀膜液进行镀膜。
[0004]但通过底面的喷头向固定的工具喷雾化镀膜液，工具所沾染的镀膜液不均匀，且上料时，一些物品不方便放置。

技术实现思路

[0005]基于此，本技术的目的是提供一种PVD工具真空镀膜机，以解决现有的PVD工具真空镀膜机喷涂镀膜液不均匀，且上料时，一些物品不方便放置的技术问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种PVD工具真空镀膜机，包括镀膜箱，所述镀膜箱正面转动连接有箱门，且箱门正面底端滑动连接有另一端与镀膜箱正面底端滑动连接的支撑板，所述镀膜箱顶部安装有输入端与镀膜箱连接的真空泵，且镀膜箱背面安装有新风泵组，所述镀膜箱内部地面设置有储液箱，且储液箱内部安装有多根电压发射器，所述储液箱顶部箱盖顶面安装有多个第一喷头，所述镀膜箱内部上方设置有隔板，且隔板底面滑动连接有一组安装板，所述隔板顶面转动连接有两端分别与两个安装板螺纹连接的正反丝杆，且两块安装板上皆转动连接有相互配合的三角夹具，一块所述安装板外侧面安装有转动电机，且转动电机输出端与一个三角夹具尾端皆连接有相互啮合的锥形齿轮，所述安装板外侧面皆安装有一组微型气泵，且微型气泵输入端皆连接有与储液箱箱盖连接的软管，所述微型气泵输出端皆连接有位于安装板内侧的第二喷头。
[0007]通过采用上述技术方案，箱门可密封镀膜箱，支撑板可支撑箱门，在箱门打开时固定至水平，真空泵可将镀膜箱内抽至趋向真空，新风泵组可对镀膜箱内的空气进行更换以及破真空，储液箱可储存镀膜液，电压发射器可使镀膜液雾化，第一喷头可将雾化的镀膜液喷向工具，正反丝杆转动可通过安装板控制三角夹具夹紧或松开工具，转动电机可通过锥形齿轮带动三角夹具转动，微型气泵可使用软管将雾化液抽取通过第二喷头喷向工具两端。
[0008]本技术进一步设置为，所述镀膜箱正面开口边缘设置有与箱门配合的硅胶垫。
[0009]通过采用上述技术方案，硅胶垫可使箱门的密封性更好，防止镀膜箱漏真空。
[0010]本技术进一步设置为，所述箱门正面两侧皆设置有把手，且镀膜箱正面顶端转动连接有与箱门配合的固定转把。
[0011]通过采用上述技术方案，把手可便于打开箱门，固定转把可固定箱门。
[0012]本技术进一步设置为，所述新风泵组一端皆可拆卸连接有过滤器，安装有所述转动电机的安装板外侧面设置有包裹转动电机与锥形齿轮的保护壳。
[0013]通过采用上述技术方案，过滤器可过滤新风泵组换气时带出的镀膜气体，防止其污染空气，保护壳可防止软管干扰锥形齿轮的转动。
[0014]本技术进一步设置为，所述隔板顶面一侧安装有驱动电机，且驱动电机输出端通过链条与正反丝杆连接。
[0015]通过采用上述技术方案，驱动电机可通过链条控制正反丝杆的转动以带动安装板移动。
[0016]综上所述，本技术主要具有以下有益效果：
[0017]1、本技术通过在安装板上皆转动连接三角夹具，且其中一个三角夹具由转动电机驱动旋转，在安装板内侧皆设置通过微型气泵与储液箱连接的第二喷头，工作时，三角夹具带动工具旋转，通过第一喷头对工具侧面进行喷涂镀层，第二喷头可通过微型气泵对工具两端进行喷涂，镀层更加均匀；
[0018]2、本技术通过在箱门正面底端滑动连接支撑板，且支撑板另一端与镀膜箱底端滑动连接，打开箱门后，支撑板可支撑箱门，使箱门水平，即可使箱门作为临时工作台暂时放置物品。
附图说明
[0019]图1为本技术第一视角的结构示意图；
[0020]图2为本技术第二视角的结构示意图；
[0021]图3为本技术的剖视图；
[0022]图4为本技术图3中A的放大图。
[0023]图中：1、镀膜箱；2、箱门；3、把手；4、支撑板；5、固定转把；6、真空泵；7、新风泵组；8、过滤器；9、隔板；10、安装板；11、正反丝杆；12、驱动电机；13、三角夹具；14、转动电机；15、锥形齿轮；16、保护壳；17、储液箱；18、电压发射器；19、第一喷头；20、软管；21、微型气泵；22、第二喷头。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0025]下面根据本技术的整体结构，对其实施例进行说明。
[0026]一种PVD工具真空镀膜机，如图1
‑
4所示，包括镀膜箱1，镀膜箱1正面转动连接有箱门2，可支撑箱门2，且箱门2正面底端滑动连接有另一端与镀膜箱1正面底端滑动连接的支撑板4，可支撑箱门2，在箱门2打开时固定至水平，镀膜箱1顶部安装有输入端与镀膜箱1连接的真空泵6，可将镀膜箱1内抽至趋向真空，且镀膜箱1背面安装有新风泵组7，可对镀膜箱1内的空气进行更换以及破真空，镀膜箱1内部地面设置有储液箱17，可储存镀膜液，且储液箱17内部安装有多根电压发射器18，可使镀膜液雾化，储液箱17顶部箱盖顶面安装有多个
第一喷头19，可将雾化的镀膜液喷向工具，镀膜箱1内部上方设置有隔板9，且隔板9底面滑动连接有一组安装板10，隔板9顶面转动连接有两端分别与两个安装板10螺纹连接的正反丝杆11，正反丝杆11转动可通过安装板10控制三角夹具13夹紧或松开工具，且两块安装板10上皆转动连接有相互配合的三角夹具13，一块安装板10外侧面安装有转动电机14，且转动电机14输出端与一个三角夹具13尾端皆连接有相互啮合的锥形齿轮15，转动电机14可通过锥形齿轮15带动三角夹具13转动，安装板10外侧面皆安装有一组微型气泵21，且微型气泵21输入端皆连接有与储液箱17箱盖连接的软管20，微型气泵21输出端皆连接有位于安装板10内侧的第二喷头22，微型气泵21可使用软管20将雾化液抽取通过第二喷头22喷向工具两端。
[0027]请参阅图2，镀膜箱1正面开口边缘设置有与箱门2配合的硅胶垫，可使箱门2的密封性更好，防止镀膜箱漏真空。
[0028]请参阅图2，箱门2正面两侧皆设置有把手3，可便于打开箱门2，且镀膜箱1正面顶端转动连接有与箱门2配合的固定转把5，可固定箱门2。
[0029]请参阅图1和图4，新风泵组7一端皆可拆卸连接有过滤器8，可过滤新风泵组7换气时带出的镀膜气体，防止其污染空气，安装有转动电机14的安装板10外侧面设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVD工具真空镀膜机，包括镀膜箱(1)，其特征在于：所述镀膜箱(1)正面转动连接有箱门(2)，且箱门(2)正面底端滑动连接有另一端与镀膜箱(1)正面底端滑动连接的支撑板(4)，所述镀膜箱(1)顶部安装有输入端与镀膜箱(1)连接的真空泵(6)，且镀膜箱(1)背面安装有新风泵组(7)，所述镀膜箱(1)内部地面设置有储液箱(17)，且储液箱(17)内部安装有多根电压发射器(18)，所述储液箱(17)顶部箱盖顶面安装有多个第一喷头(19)，所述镀膜箱(1)内部上方设置有隔板(9)，且隔板(9)底面滑动连接有一组安装板(10)，所述隔板(9)顶面转动连接有两端分别与两个安装板(10)螺纹连接的正反丝杆(11)，且两块安装板(10)上皆转动连接有相互配合的三角夹具(13)，一块所述安装板(10)外侧面安装有转动电机(14)，且转动电机(14)输出端与一个三角夹具(13)尾端皆连接有相互啮合的锥形齿轮(15)，所述安装板(10)外侧面皆安装有一组微...

【专利技术属性】
技术研发人员：王盛基，程永祥，王建忠，陈笑双，
申请(专利权)人：桐庐华亚钛金技术有限公司，
类型：新型
国别省市：