一种真空镀膜机上料快装结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机上料快装结构，涉及真空镀膜机技术领域，包括箱体与耳箱，所述箱体的两侧皆连通有耳箱，所述箱体内侧设置有与耳箱相互配合的靶源。本实用新型专利技术使用时，将圆形工件放置在固定座内部，并利用固定螺栓事先固定好，且位于固定座的中心位置处，之后启动电磁铁底座，使其产生磁力，之后通过铁柱与电磁铁底座的相互配合，将固定座固定与活动板上，之后启动双向电机，使其分别带动两端的输出轴及斜齿轮组旋转，从而带动对应的螺杆旋转，又因活动板与螺杆螺纹连接，从而将活动板向下移动，直至圆形工件全部进入至箱体的内部，这样是通过固定螺栓来固定圆形工件的，从而可以适应不同直径的圆形工件，扩大设备的加工范围。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机上料快装结构
本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种真空镀膜机上料快装结构。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种。公告号为CN206447938U公开了一种真空镀膜机上料快装结构，其通过将待镀膜工件安装在支撑密封盘的中间固定孔中，调整好工件的位置和长度，再将装好工件的支撑密封盘通过快锁端盖的内纹和端面法兰的外螺纹螺纹旋紧连接，从而将待镀膜工件安装好，但是这样在安装拆卸上极其不便，大大的降低了工作效率，且将圆形工件安插在支撑密封盘内，其不能适应不同直径的工件，从而使其加工范围小。
技术实现思路
本技术的目的在于：为了解决现有技术中安装拆卸上极其不便，大大的降低了工作效率，且将圆形工件安插在支撑密封盘内，其不能适应不同直径的工件，从而使其加工范围小的问题，提供一种真空镀膜机上料快装结构。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜机上料快装结构，包括箱体与耳箱，所述箱体的两侧皆连通有耳箱，所述箱体内侧设置有与耳箱相互配合的靶源，所述箱体的底部中间处安装有双向电机，所述双向电机的双向输出端皆设置有输出轴，且输出轴的末端皆设置有对应的斜齿轮组，所述输出轴通过斜齿轮组皆连接有延伸至耳箱内部的螺杆，两组所述螺杆的外侧螺纹连接有活动板，所述活动板的顶部四角处皆转动连接有电磁铁底座，且电磁铁底座的顶部皆安装有与其相互配合的铁柱，所述铁柱的顶部皆设置有固定座，所述固定座的内部设置有与其相互配合的圆形工件，且固定座的外侧皆均匀通过螺纹连接有与圆形工件相互配合的三组固定螺栓，所述箱体的顶部设置有与其相互配合的箱盖。优选地，所述活动板的底部中间处安装有电机，且电机的输出端设置有齿轮，每组所述电磁铁底座的底部固定连接有且活动贯穿活动板至其底部与齿轮配合的带齿轴。优选地，所述箱体与耳箱之间皆开设有与活动板相互配合的滑槽。优选地，所述箱体的外侧安装有控制面板，且控制面板与双向电机、靶源、电机、电磁铁底座之间皆电性连接。优选地，所述箱体的底部四角处皆设置有支撑腿，且支撑腿的底部皆设置有防滑垫。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术使用时，将圆形工件放置在固定座内部，并利用固定螺栓事先固定好，且位于固定座的中心位置处，之后启动电磁铁底座，使其产生磁力，之后通过铁柱与电磁铁底座的相互配合，将固定座固定与活动板上，之后启动双向电机，使其分别带动两端的输出轴及斜齿轮组旋转，从而带动对应的螺杆旋转，又因活动板与螺杆螺纹连接，从而将活动板向下移动，直至圆形工件全部进入至箱体的内部，这样是通过固定螺栓来固定圆形工件的，从而可以适应不同直径的圆形工件，扩大设备的加工范围；在安装拆卸时，只需通过双向电机将活动板移动出去，再断开电磁铁底座，使其失去磁性，便于将固定座取下，简单快捷。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的外部结构示意图；图3为本技术A处的放大图；图4为本技术B处的放大图；图5为本技术部分结构示意图。图中：1、箱体；2、箱盖；3、耳箱；4、靶源；5、双向电机；6、输出轴；7、斜齿轮组；8、螺杆；9、活动板；10、电机；11、齿轮；12、带齿轴；13、电磁铁底座；14、固定座；15、铁柱；16、固定螺栓；17、圆形工件；18、滑槽；19、控制面板；20、支撑腿。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面根据本技术的整体结构，对其实施例进行说明。请参阅图1-5，一种真空镀膜机上料快装结构，包括箱体1与耳箱3，箱体1的两侧皆连通有耳箱3，箱体1内侧设置有与耳箱3相互配合的靶源4，箱体1的底部中间处安装有双向电机5，双向电机5的双向输出端皆设置有输出轴6，且输出轴6的末端皆设置有对应的斜齿轮组7，输出轴6通过斜齿轮组7皆连接有延伸至耳箱3内部的螺杆8，两组螺杆8的外侧螺纹连接有活动板9，活动板9的顶部四角处皆转动连接有电磁铁底座13，且电磁铁底座13的顶部皆安装有与其相互配合的铁柱15，铁柱15的顶部皆设置有固定座14，固定座14的内部设置有与其相互配合的圆形工件17，且固定座14的外侧皆均匀通过螺纹连接有与圆形工件17相互配合的三组固定螺栓16，箱体1的顶部设置有与其相互配合的箱盖2。本技术使用时，将圆形工件17放置在固定座14内部，并利用固定螺栓16事先固定好，且位于固定座14的中心位置处，之后启动电磁铁底座13，使其产生磁力，之后通过铁柱15与电磁铁底座13的相互配合，将固定座14固定于活动板9上，之后启动双向电机5，使其分别带动两端的输出轴6及斜齿轮组7旋转，从而带动对应的螺杆8旋转，又因活动板9与螺杆8螺纹连接，从而将活动板9向下移动，直至圆形工件17全部进入至箱体1的内部，这样是通过固定螺栓16来固定圆形工件17的，从而可以适应不同直径的圆形工件17，扩大设备的加工范围。请着重参阅图1、图3与图5，活动板9的底部中间处安装有电机10，且电机10的输出端设置有齿轮11，每组电磁铁底座13的底部固定连接有且活动贯穿活动板9至其底部与齿轮11配合的带齿轴12，本技术通过设置有上述结构，是为了利用电机10将每组电磁铁底座13实现其自转，使得圆形工件17镀膜时更加均匀。请着重参阅图1与图2，箱体1与耳箱3之间皆开设有与活动板9相互配合的滑槽18，本技术通过设置有上述结构，是为了便于活动板9沿着滑槽18来回运动，且起到限位效果。请着重参阅图1、图2与图3，箱体1的外侧安装有控制面板19，且控制面板19与双向电机5、靶源4、电机10、电磁铁底座13之间皆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机上料快装结构，包括箱体(1)与耳箱(3)，其特征在于：所述箱体(1)的两侧皆连通有耳箱(3)，所述箱体(1)内侧设置有与耳箱(3)相互配合的靶源(4)，所述箱体(1)的底部中间处安装有双向电机(5)，所述双向电机(5)的双向输出端皆设置有输出轴(6)，且输出轴(6)的末端皆设置有对应的斜齿轮组(7)，所述输出轴(6)通过斜齿轮组(7)皆连接有延伸至耳箱(3)内部的螺杆(8)，两组所述螺杆(8)的外侧螺纹连接有活动板(9)，所述活动板(9)的顶部四角处皆转动连接有电磁铁底座(13)，且电磁铁底座(13)的顶部皆安装有与其相互配合的铁柱(15)，所述铁柱(15)的顶部皆设置有固定座(14)，所述固定座(14)的内部设置有与其相互配合的圆形工件(17)，且固定座(14)的外侧皆均匀通过螺纹连接有与圆形工件(17)相互配合的三组固定螺栓(16)，所述箱体(1)的顶部设置有与其相互配合的箱盖(2)。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机上料快装结构，包括箱体(1)与耳箱(3)，其特征在于：所述箱体(1)的两侧皆连通有耳箱(3)，所述箱体(1)内侧设置有与耳箱(3)相互配合的靶源(4)，所述箱体(1)的底部中间处安装有双向电机(5)，所述双向电机(5)的双向输出端皆设置有输出轴(6)，且输出轴(6)的末端皆设置有对应的斜齿轮组(7)，所述输出轴(6)通过斜齿轮组(7)皆连接有延伸至耳箱(3)内部的螺杆(8)，两组所述螺杆(8)的外侧螺纹连接有活动板(9)，所述活动板(9)的顶部四角处皆转动连接有电磁铁底座(13)，且电磁铁底座(13)的顶部皆安装有与其相互配合的铁柱(15)，所述铁柱(15)的顶部皆设置有固定座(14)，所述固定座(14)的内部设置有与其相互配合的圆形工件(17)，且固定座(14)的外侧皆均匀通过螺纹连接有与圆形工件(17)相互配合的三组固定螺栓(16)，所述箱体(1)的顶部设置有与其相互配合的箱盖(2)。

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【专利技术属性】
技术研发人员：王盛基，
申请(专利权)人：桐庐华亚钛金技术有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33