【技术实现步骤摘要】
一种臭氧分解装置
[0001]本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种臭氧分解装置。
技术介绍
[0002]臭氧是一种强氧化剂，也是广谱杀菌消毒剂，广泛应用于各种水质处理、医疗卫生、食品保鲜以及去除难以降解的物质等，在半导体制造领域中，AMAT生产设备的部分反应腔也需要臭氧参与反应。但臭氧具有极强的氧化能力，微量的臭氧即可使人出现头晕、眼涩或咽喉肿痛等症状。世界卫生组织制定的关于臭氧的安全标准为：8小时工作环境下允许的最大浓度应低于0.1ppm。因此，为了保障工作人员的身体健康，臭氧应用后需经过分解等处理，防止未参与反应的臭氧溢出。
[0003]现阶段一般使用臭氧分解装置对未发生反应的臭氧进行进一步的分解，使臭氧分解为氧气，臭氧分解装置中一般使用催化剂对臭氧分解过程进行催化，但在设备的使用过程中，催化剂可能会与进入装置的其它物质发生反应，发生不同程度的催化剂中毒，影响臭氧分解的效果。若不能实时监控臭氧分解装置是否正常工作，可能会导致未分解完全的臭氧流入空气中，对其它设备产生腐蚀，并对工作人员的身体健康产生危害。>
技术实现思路
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种臭氧分解装置，其特征在于，包括：反应模块、温差发电模块及显示模块；其中，所述反应模块包括反应腔及位于所述反应腔内的臭氧催化单元，所述温差发电模块设置于所述反应腔的外壁上并为所述显示模块提供供电电压，当所述反应腔内的温度大于设定值时，所述供电电压大于或等于所述显示模块的额定电压，所述显示模块进行显示。2.如权利要求1所述的一种臭氧分解装置，其特征在于，所述温差发电模块具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面与所述反应腔接触，当所述反应腔内的温度大于所述设定值时，所述第一表面与所述第二表面之间温度的差值大于25℃。3.如权利要求2所述的一种臭氧分解装置，其特征在于，所述温差发电模块的第二表面上设置有散热器。4.如权利要求1所述的一种臭氧分解装置，其特征在于，所述设定值为40℃～100℃。5.如权利要求1所述的一种臭氧分解装置，其特征在于，所述显示模块包括：LED灯，当所述供电电压大于或等...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙雷雷，龚荟卓，龚飞昊，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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