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一种臭氧分解装置制造方法及图纸
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下载一种臭氧分解装置的技术资料
文档序号:33958104
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本实用新型提供了一种臭氧分解装置,包括:反应模块、温差发电模块及显示模块;其中,所述反应模块包括反应腔及位于所述反应腔内的臭氧催化单元,所述温差发电模块设置于所述反应腔的外壁上并为所述显示模块提供供电电压,当所述反应腔内的温度大于设定值时,...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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