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用于SECCM高分辨成像的探针单元和控制方法技术

技术编号:33956890 阅读:90 留言:0更新日期:2022-06-29 23:43
本发明专利技术属于电化学技术领域,公开了一种用于SECCM高分辨成像的探针单元和控制方法,探针单元包括单通道的探针,探针的开孔直径为50

Probe unit and control method for seccm high resolution imaging

【技术实现步骤摘要】
用于SECCM高分辨成像的探针单元和控制方法


[0001]本专利技术属于电化学
,具体的说,是涉及一种用于扫描电化学池显微镜(SECCM)高分辨成像的探针单元和控制方法。

技术介绍

[0002]作为最新一代的扫描电化学探针显微技术,扫描电化学池显微镜(SECCM)可以同时给出样品的形貌学和电化学活性信息,用于直接研究材料结构

活性的关联。它的最大优势是不需要将样品电极浸泡于溶液中,只在局部测量区域实现溶液的短暂接触。此外,探针的制备和表征更加容易,测量过程也更加稳定。同时,SECCM有很好的兼容性,较为容易与其它技术联用。这使得SECCM成为表面和微观尺度电化学测试中强有力的新技术,广泛应用于半导体材料、纳米颗粒、碳基材料、储能材料以及合成制造等领域。
[0003]SECCM的仪器设置包括x

y

z压电定位器、电流追踪器、波形发生器、数据采集系统和探针。SECCM测试过程中,通过探针末端形成的弯月形液滴针尖与目标区域的短暂接触,获取目标区域的表面形貌和电化学活性信息。通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于SECCM高分辨成像的探针单元,包括单通道的探针,其特征在于,所述探针的开孔直径为50

100nm;所述探针由控制模块对其液滴针尖进行控制;所述控制模块用于在进针过程增设最小化的进针电压校正,在进针过程增设最小化的进针速度校正,在电化学测试过程增设最小化的测试电压校正,以及在抬针过程增设最小化的抬起高度校正。2.根据权利要求1所述的一种用于SECCM高分辨成像的探针单元,其特征在于,所述最小化的进针电压校正为:将所述进针的电压值校正为高于阈值电流所需最小电压值0.1

0.4V。3.根据权利要求1所述的一种用于SECCM高分辨成像的探针单元,其特征在于,所述最小化的进针速度校正为:将所述进针的速度校正为0.1

0.3μm s
‑1。4.根据权利要求1所述的一种用于SECCM高分辨成像的探针单元,其特征在于,所述最小化的电化学测试电压校正为:将测试电压校正为高于反应起始电压0.1

0.3V。5.根据权利要求1所述的一种用于SECCM高分辨成像的探针单元,其特征在于,所述最小化的抬起高度校正为:将抬起高度校正为2

4倍的所述探针的直径。6.一种用于SECCM高分辨成像的控制方法,其跳跃模...

【专利技术属性】
技术研发人员:马雷刘根李浩徐宇晨
申请(专利权)人:天津大学
类型:发明
国别省市:

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